SputterGlow Bhróisiúr
SputterGlow Sputter Córas Teistíocht
OptiGlow Inneall Córas
Phraghas faoi $ 10,500 (USD), is é an sturdy, boird OptiGlow plasma córas foirfe le haghaidh iarratas a tháirgeadh nó saotharlainne. Faigh amach níos mó .AutoGlow Inneall Córas
Is é an plasma AutoGlow córas an córas plasma is éifeachtaí tabletop dá leithéid ar an margadh mar gheall ar a bhata athróg 10-300, 13.56 MHz gineadóir staid sholadach. Faigh amach níos mó .Tástáil agus Samplaí
Beidh Taighde Glow samplaí a reáchtáil ar bhonn conartha nó do chliaint spéis leo a cheannach sa deireadh le córas nua nó atógadh. Déan teagmháil linn le haghaidh tuilleadh eolais.Déan Teagmháil Linn
Seoladh:
12,014 S. Ct 35.
Phoenix, AZ. 85044
Stáit AontaitheFón:
480-621-8405Ríomhphost:
customerservice@glowresearch.orgAistritheoir
Aistritheoir
SputterGlow Sputter Córas Teistíocht
Córas do Scannán Thin, Sputter, PVD, Sil Scannán Thin, Cumhdach Fholúis, Miotalach nó tréleictreach Teistíocht Scannán Thin.
Is é an Taighde SputterGlow Glow córas sil-solúbtha sputter deartha a phróiseáil sliseog 200mm, 156mm x 156mm cealla gréine nó sliseog-áirítear níos lú píosaí sliseog. Is féidir leis an SputterGlow a bheith suas le trí stáisiún próiseas idirmhalartaithe (Is féidir gach stáisiún a chumrú do théamh, sputter teistíochta nó sputter eitseáil). An SputterGlow ceapadh ar dtús a thaisceadh Si 3 N 4 cótaí antireflective ar chealla fótavoltach agus is féidir a úsáid chun sputter taisce raon leathan de dielectrics nó miotal.
Innealtóirí photovoltaic a fuair an SputterGlow a bheith ina rogha eile den scoth Inneall feabhsaithe Cheimiceach Vapor Teistíocht (PECVD) toisc nach bhfuil an próiseas SputterGlow a cheangal ar silane (SiH 4) do sil nitride.
Chomh maith leis an costas ollmhór coigiltis de-ní gá éascú daor nó sábháilteachta remain-leor taighdeoirí bhraitheann go bhfuil buntáistí láidir chun úsáid a bhaint as scannán sputtered don passivation deiridh / anti-fhrithchaiteacha sciath, a eascraíonn i gcill éifeachtacht níos airde photovoltaic. Dearadh an SputterGlow le John Reche. Le cúlra ar John Reche cliceáil ar "Eolas Fúinn" ar an suíomh gréasáin seo.
Solúbthacht
Le trí stáisiún seomra, is féidir leis an SputterGlow a úsáid d'éagsúlacht na riachtanais a phróiseáil. Is féidir leis an stáisiúin aonair a úsáid hidirmhalartaithe do théamh, sputtering nó eitseáil le rogha cuí de roghanna ag a cheannach, nó retrofitted ag dáta níos déanaí. Is é an SputterGlow rogha iontach le haghaidh taighde nó iarratais déantúsaíochta íseal toirte.
Ionracas Cumann / costas
Tástáil Fholúis
Dearadh an SputterGlow chun a chinntiú go sláine bhfolús próiseas agus seomra alúmanam utilize (costas a choinneáil síos). Tá an seomra héiliam sceitheadh a thástáil chun 6.5 x 10 -10 mbar le gach calafort blocked, (4.8 x 10 -10 torr).
Ceadaíonn an seomra alúmanam saincheaptha a ceapadh chun laghdú ar phraghas 3X i gcomparáid le seomra cruach dhosmálta den chaighdeán céanna. Is féidir leis an SputterGlow feidhmiú ó chumhacht an-íseal de 25 vata (do phróiseáil níos lú ionsaitheach), a 1 kW ar feadh níos mó ionsaitheach sputter sil-leagan.
Ceadaíonn an seomra alúmanam saincheaptha a ceapadh chun laghdú ar phraghas 3X i gcomparáid le seomra cruach dhosmálta den chaighdeán céanna. Is é Cumann 34 "ar trastomhas x 11" ard.
Dearadh Dílseánaigh
A dílseánaigh comhphlánacha magnetron úsáidtear a ghiniúint an plasma. Mar thoradh air seo ar feadh an tsaoil i dearadh níos faide le haghaidh an sprioc sputtering, agus comhionannas sil-leagan feabhsaithe ar an tsubstráit. Beidh an Glow Taighde dílseánaigh comhphlánacha magnetron feabhsaithe freisin rátaí sputtering agus aistriú teasa níos ísle chun an tsubstráit.
Rialú Ríomhaireachta PC
Lámhleabhar nó Rialú Ríomhaire Lap-Barr
Rialuithe An microprocessor leabaithe an innill an chórais iompair wafer, seasamh an pedestals wafer, ag oscailt na comhlaí bhfolús agus gáis, etc rialuithe an t-úsáideoir ar an bpróiseas teistíocht a íoslódáil ar oideas as a n-ríomhaire glúine pearsanta (ní ar fáil). Tá an microprocessor leabaithe ceangailte leis an ríomhaire glúine via USB port. Is féidir leis an úsáideoir oiriúint gcuid próiseas féin leis an gclár Glow Taighde seicheamhú dílsithe, nó a roghnú aon phróiseas réamhshocraithe go bhfuil a íoschóipeáil chuig a n-ríomhaire.
Soláthairtí Power
Is féidir leis an SputterGlow a chumrú le RF, DC nó soláthairtí cumhachta pulsed DC. Is féidir leis an SputterGlow a úsáid a thaisceadh ábhair éagsúla ... dielectrics, leathsheoltóirí, miotail agus ábhair maighnéadach. Is féidir pulsed DC a úsáid in ionad soláthar RF leis an leas a bhaint as deireadh a chur leis an líonra tiúnta. Is féidir le soláthar DC sonrú i gcás ina bhfuil miotail nó ábhair maighnéadach a sputtered go heisiach.