Limpadores de plasma, plasma, Etchers Ashers plasma e deposición por pulverización catódica (PVD) sistemas son proporcionados pola Busca Glow. Busca brillo fabrica sistemas AutoGlow plasma, plasma OptiGlow sistemas e SputterGlow deposición por pulverización catódica (PVD) sistemas. Busca brillo asumiu as pezas e soporte de todo o mundo para varios sistemas máis antigos de plasma de Nordson MARZO (Plasmod, Super Plasmod, AM-600, Júpiter Rie) e constrúe reactores de plasma novos requisitos para varios tipos e tamaños. Entendemos que a maioría dos laboratorios e as persoas que compran sistemas de plasma esixen unha gran cantidade de asistencia antes e despois da venda. Temos a capacidade de executar as súas mostras, e axudar a instalación do seu sistema. Busca brillo pode procesar mostras gratis para clientes que queiran mercar os nosos sistemas.

Escolla o sistema de dereito:

OptiGlow-utiliza aire ambiente como o gas de proceso, 50 watts, 100 kHz, a cámara de aluminio. Para modificación da superficie. O noso sistema de menor prezo baixo de US $ 11.000 (inclúe a bomba de baleiro).

OptiGlow 75-para o seu uso co osíxeno ou argón (e outro gas), 75 watts, 100 kHz, a cámara de aluminio. Para modificación da superficie, a limpeza de plasma, tratamento prebond.

OptiGlow ACE-para o seu uso con osíxeno, argon ou flúor (CF4) o gas do tipo. Dous metros de caudal de gas, cámara de aluminio anodizado. Watt Variable 10-150 de 13,56 MHz RF xerador, autotune. Rie ou plasma de procesamento. Para a activación, incineración, limpeza e limpeza. Ideal para eliminar capas de análise de fallos, gravando unha variedade de filmes.

AutoGlow-Up para tres gases de osíxeno, argón ou doutros gases, a cámara de cuarzo, 6 "substratos, variable 10-300 Watt 13,56 MHz RF xerador, autotune. Capacitado axustado, push operación do botón automático. Usado para limpeza de plasma, prebond, películas de augas-fortes, compostos orgánicos eliminación, eliminación de fotorresiste.

AutoGlow 200-200 pode procesar substrato mm (ou 8 "wafers). Rie ou plasma de procesamento. Ata tres gases osíxeno, argon ou flúor (CF4) de gas, tipo Watt variable de 10-300 de 13,56 MHz RF xerador, autotune, cámara de aluminio anodizado. Usado para limpeza de plasma de activación, prebond, gravado, retirada de orgánicos, eliminando fotorresiste.

AutoGlow Plasma Sistema

Limpador de Plasma. Este sistema de mesa pode ser usado en baixa potencia de 10 vatios ou ata 300 vatios, xerador de 13,56 MHz de estado sólido, de axuste automático, presión ler-out, purgar nitróxeno, ventilación suave, tres entradas de gas e é a marca CE. O AutoGlow ven cunha garantía de 24 meses. Perfecto para o tratamento de PDMS, retirada orgánica ou foto-resisten á eliminación. Ten unha cámara de cuarzo e pode procesar ata 6 "(150 mm) substratos.

O sistema AutoGlow plasma se usa en plantas de produción, así como laboratorios deseñados para ofrecer á comunidade médica, científica, educativa e microelectrónica, con tecnoloxía de plasma a un custo moderado. Inclúe unha garantía de 2 anos.

Sistemas maiores AutoGlow están dispoñibles con cámaras de aluminio anodizado para axeitado ás esixencias do cliente (Rie ou Plasma de procesamento). Na foto de abaixo é de 200 AutoGlow. Deseñados para ata 200 mm (8 ") substratos ou hostias, CF4, O2 ou Aire gas, o sistema pode ser utilizado para Rie ou de procesamento de plasma de acordo co cargador da mostra utilizada. Ten unha cámara de aluminio anodizado e pode ser usado para a incineración modificaiton gravado, ou de superficie.

Máis información sobre AutoGlow

OptiGlow Plasma Sistemas  

shing, C leaning or E tching at 13.56 MHz. A ACE OptiGlow está deseñado para realizar Plasma ctivation A, A shing, C ou E tching inclinada a 13,56 MHz O ACE OptiGlow ten dúas entradas de gas e pode ser usado co osíxeno do aire, ou CF4 gases de tipo. Ten unha cámara de aluminio anodizado e pode ser usada para calquera Rie ou de procesamento de plasma. Grande para un proceso longo e capas de eliminación de paquetes ou chips semicondutores. Utilizado para a análise de erros, eliminar fotorresiste, limpeza orgánica, gravando Parileno, tratamento de superficie e unha serie de outras aplicacións.

O sistema OptiGlow estándar é usado para Plasma Modificación de superficie e tratamento de plasma, activación da superficie. Con prezo baixo de $ 10.500 (USD), o robusto, de mesa OptiGlow sistema de plasma é perfecto para aplicacións de produción ou de laboratorio. Doado de usar cun monitor de presión da cámara e estado do módulo.

O sistema é o sistema de OptiGlow plasma primeiro baixo custo que pode ser empregado para aumentar a molhabilidade e confort de lentes de contacto. O sistema de plasma OptiGlow tamén é ideal para utilizar antes do revestimento, laminación e procesos de deposición, e é altamente eficaz no tratamento dunha ampla gama de substratos ou materiais.

O sistema de plasma OptiGlow 75 é semellante ao estándar OptiGlow e ten unha cámara grande de aluminio, 75 vatios de potencia ea opción de utilizar ata dous gases de entrada, como osíxeno ou argón. Pode ser usado para a eliminación biolóxica e fotorresiste de extracción.

SputterGlow sistema de deposición por pulverización catódica

Unha opción perfecta para depositar unha gran variedade de dieléctricos ou metais, con ata tres obxectivos. Orixinalmente deseñado para depositar Si 3 N 4 revestimentos anti-reflexo sobre as células solares como unha alternativa ao uso de PECVD-porque o proceso non require SputterGlow gases perigosos, tales como SiH 4 para a deposición de nitruro. O sistema ten que paso robótica, as estacións cálidas, e é controlada cun ordenador lap-top.

O dono planar magnetron xera un plasma con enerxía baixa ou alta, dependendo da súa necesidade. O SputterGlow foi deseñado para garantir a integridade do proceso de baleiro e utilizar unha cámara de aluminio (para manter o custo baixo).

Máis información sobre SputterGlow

Sistemas reconstruídos

Busca brillo asumiu a responsabilidade mundial para pezas e servizos para varias unidades máis antigas da Nordson marzo (marzo Plasmod, de marzo de Super Plasmod, Marzo AM-600 e marzo de Xúpiter Rie sistemas). Nós estivemos coa nosa experiencia e oferta reconstruída marzo e sistemas Tegal plasma. Bótalle un ollo a sistemas que reconstruíron que temos para ofrecer .