Características AutoGlow

O sistema plasma ten AutoGlow electrónica de estado sólido, opcións de entrega de gas e tecnoloxía actualizada que se espera tanto por usuarios e persoal de seguridade en todo o mundo. O tamaño máis grande de cámara pode acomodar un substrato 6 "e diámetro (ID) 160mm x mm 186,94 (ID) de profundidade e está feito de cuarzo de alta pureza. O sistema de cámara e son deseñados para aumentar a uniformidade e repetibilidade en comparación con outros sistemas de mesado de mesa de plasma.

O sistema AutoGlow plasma foi deseñado tanto para baixa potencia ou operación de alta potencia con unha variable de 10-300 watts, xerador de 13,56 MHz de estado sólido facendo o AutoGlow plasma sistema o sistema máis eficiente do seu tipo no mercado. O operador pode executar un proceso menos 10 watts ou tan elevado como 300 vatios para o procesamento máis agresivo. A alimentación pode ser axustada en incrementos de 1 watt.

  • Pequeno, sistema de mesa
  • Variables de 10 a 300 Watts en 13,56 MHz para o procesamento suave ou máis agresivo
  • Sección de cuarzo de alta pureza
  • Electrónicos de estado sólido sen tubos
  • Detector de estado sólido de propiedade para axuste rápido
  • Sintonização automática para procesamento de plasma eficiente
  • Presión ler para procesamento fácil
  • Cronómetro
  • Amosa a prazos e reflicte poder e RF set point
  • AutoTell tarxeta de diagnóstico para mellor uptime
  • Distribución cámara de gas para a uniformidade mellorada
  • Ventilación suave para evitar presión de ruptura
  • Módulo de Control opcional de gas con ata tres entradas de gas
  • Plasma uniforme para resultados rápidos e eficientes
  • Xerador de RF e de propiedade da rede xogo de poder reflicte mínimo, con independencia da potencia
  • Rede SimpleMatch correspondente para axuste rápido
  • Protección UV incorporado na porta vista de fronte
  • Sistema totalmente caracterizada para resultados reproduzíveis
  • Doado de entender-fácil de operar
  • Todos os electrónicos están en dous plug en placas para facilitar o reparo
  • Start-up de apoio
  • Start-up de vídeo
  • Manual completo e documentación
  • Garantía de 24 meses

A concepción do AutoGlow comeza coa folla de metal utilizado no sistema. De chapas de metal é tratada e enmascarados para garantir que o deseño de RF axeitada.
O gabinete de metal é enmascarado por forma a aumentar o contacto de metal-con-metal ... para eliminar a fuga de RF. Isto significa que o AutoGlow vai atacar un plasma rapidamente, independentemente da carga de mostra. Axuste RF correcta comeza co deseño do despacho.
O AutoGlow é modular. O xerador de RF pode ser facilmente eliminado da parte de atrás do sistema. A cámara pode ser facilmente eliminado. Todos os sistemas electrónicos están nunha placa substituível (adxunto ó panel frontal). As conexións só requiridos son para baleiro, eléctricos e de gas (todos presentados). Só ten que conectar o plug AC, acceder a bomba de baleiro eo seu gas ... e está preparado para procesar as mostras.

A tarxeta de diagnóstico pode confirmar que todos os módulos están funcionando correctamente.

 

 

 

 

 

A rede corresponden RF é moi rápido de transformar os condensadores 360 graos, o que permite a AutoGlow para sintonizar moi rápido, con independencia da carga no interior da cámara de procesamento.

O electrodo de arriba é alimento eo electrodo de fondo é motivada, que produce un proceso químico. O AutoGlow pode ser executado a partir de tan reducido como 10 watts para o procesamento suave, ou como alto como 300 vatios para o procesamento máis agresivo.

Todos os electrónicos están nunha placa electrónica. Esta tarxeta é montado na parte posterior do panel de control da fronte. A montaxe do panel frontal pode ser facilmente substituído.