प्लाज्मा क्लीनर, प्लाज्मा Etchers के, प्लाज्मा Ashers और बयान प्रणाली (PVD) धूम ग्लो रिसर्च द्वारा प्रदान की जाती हैं. चमक अनुसंधान AutoGlow प्लाज्मा सिस्टम बनाती है, OptiGlow प्लाज्मा सिस्टम SputterGlow के बयान सिस्टम (PVD) की धूम है. चमक अनुसंधान और कई बड़े NORDSON मार्च (Plasmod, सुपर Plasmod PM-600, बृहस्पति आर.आई.ई.) से प्लाज्मा प्रणालियों के लिए दुनिया भर में समर्थन भागों में ले लिया है और विभिन्न आवश्यकताओं और आकार के लिए नए प्लाज्मा रिएक्टरों बनाता है. हम समझते हैं कि ज्यादातर प्रयोगशालाओं और लोगों की है कि प्लाज्मा प्रणालियों की खरीद से पहले और बिक्री के बाद सहायता का एक बड़ा सौदा की आवश्यकता होती है. हम अपने नमूने को चलाने के लिए, और आपके सिस्टम की स्थापना के साथ सहायता करने की क्षमता है. चमक अनुसंधान ग्राहक चाहते हो सकता है कि हमारे सिस्टम की खरीद के लिए नि: शुल्क नमूने पर कार्रवाई करेंगे.

सही प्रणाली का चयन:

प्रक्रिया गैस, 50 वाट, 100 kHz, एल्यूमीनियम कक्ष के रूप में कमरे में हवा OptiGlow का उपयोग करता है. सतह संशोधन के लिए. हमारे $ 11,000 के तहत सबसे कम कीमत प्रणाली (वैक्यूम पंप भी शामिल है).

OptiGlow 75 ऑक्सीजन या argon (और अन्य गैस), 75 वाट, 100 kHz, एल्यूमीनियम कक्ष के साथ प्रयोग के लिए. सतह संशोधन, प्लाज्मा सफाई, prebond उपचार.

OptiGlow ऐस ऑक्सीजन, argon या फ्लोरीन (CF4) प्रकार गैस के साथ प्रयोग के लिए. दो गैस flowmeters, anodized एल्यूमीनियम कक्ष. चर 10 से 150 वाट 13.56 मेगाहर्टज आरएफ जनरेटर, autotune. आर.आई.ई. या प्लाज्मा प्रसंस्करण. सक्रियण के लिए, ashing, सफाई, और नक़्क़ाशी. विफलता विश्लेषण के लिए परतों को हटाने, नक़्क़ाशी फिल्मों की एक किस्म के लिए आदर्श है.

AutoGlow तीन गैसों - ऑक्सीजन, argon या अन्य गैसों, क्वार्ट्ज कक्ष, 6 "substrates के 10 से 300 वाट 13.56 मेगाहर्टज आरएफ जनरेटर, autotune चर. Capacitive युग्मित, पुश बटन स्वत: आपरेशन. प्लाज्मा सफाई, prebond, नक़्क़ाशी फिल्मों को हटाने ऑर्गेनिक्स, photoresist हटाने के लिए इस्तेमाल किया.

AutoGlow 200 200 मिमी substrates (या 8 "वेफर्स) की प्रक्रिया कर सकते हैं. आर.आई.ई. या प्लाज्मा प्रसंस्करण. तीन से गैसों - ऑक्सीजन, argon या फ्लोरीन (CF4) के प्रकार गैस, चर 10 से 300 वाट 13.56 मेगाहर्टज आरएफ जनरेटर, autotune, anodized एल्यूमीनियम कक्ष. प्लाज्मा सफाई, सक्रियण, prebond की लिए प्रयुक्त, नक़्क़ाशी, ऑर्गेनिक्स हटाने photoresist हटाने.

AutoGlow प्लाज्मा सिस्टम

प्लाज्मा क्लीनर. यह टेबल टॉप प्रणाली 10 वाट या 300 वाट, 13.56 मेगाहर्टज ठोस राज्य जनरेटर, स्वत: ट्यूनिंग, पढ़ने के बाहर दबाव, नाइट्रोजन शुद्ध करना, मुलायम निकाल, तीन गैस आदानों और CE चिह्नित है की कम शक्ति पर इस्तेमाल किया जा सकता है. AutoGlow एक 24 महीने की वारंटी के साथ आता है. परफेक्ट इलाज PDMS, जैविक हटाने या तस्वीर विरोध हटाने के लिए. एक क्वार्ट्ज कक्ष है और 6 "(150 मिमी) substrates के लिए प्रक्रिया कर सकते हैं.

उत्पादन कारखानों में AutoGlow प्लाज्मा प्रणाली में प्रयोग किया जाता है के रूप में के रूप में अच्छी तरह से प्लाज्मा तकनीक के साथ एक मध्यम कीमत पर चिकित्सा, वैज्ञानिक, शैक्षिक और माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक समुदाय प्रदान प्रयोगशालाओं डिजाइन एक 2 साल की वारंटी भी शामिल है.

बड़ा AutoGlow सिस्टम ग्राहक आवश्यकताओं (आर.आई.ई. या प्लाज्मा प्रसंस्करण) फिट anodized एल्यूमीनियम कक्षों के साथ उपलब्ध हैं. नीचे चित्र एक AutoGlow 200 है. 200 मिमी (8) substrates या वेफर्स, CF4, O2 या एर गैस सिस्टम को आर.आई.ई. या प्लाज्मा प्रसंस्करण नमूना वाहक आप उपयोग पर निर्भर करता है के लिए इस्तेमाल किया जा सकता है के लिए बनाया है. यह एक anodized एल्यूमीनियम कक्ष है और नक़्क़ाशी ashing या सतह modificaiton के के लिए इस्तेमाल किया जा सकता है.

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OptiGlow प्लाज्मा सिस्टम  

shing, C leaning or E tching at 13.56 MHz. OptiGlow ऐस प्लाज्मा एक ctivation है, एक शिंग, सी झुकाव या ई 13.56 मेगाहर्टज पर tching प्रदर्शन करने के लिए डिज़ाइन किया गया है. OptiGlow ऐस दो गैस निविष्टियाँ है और हवा, ऑक्सीजन, या CF4 प्रकार गैसों के साथ प्रयोग हो सकता है. यह एक anodized एल्यूमीनियम कक्ष है और या तो आर.आई.ई. या प्लाज्मा प्रसंस्करण के लिए इस्तेमाल किया जा सकता है. एक लंबे और संकुल या अर्धचालक चिप्स पर प्रक्रिया को हटाने परतों के लिए महान. विफलता विश्लेषण के लिए इस्तेमाल किया, photoresist हटाने, सफाई ऑर्गेनिक्स, नक़्क़ाशी Parylene, सतह के उपचार और अन्य अनुप्रयोगों का एक मेजबान.

मानक OptiGlow प्रणाली प्लाज्मा भूतल संशोधन और प्लाज्मा उपचार, भूतल सक्रियकरण के लिए प्रयोग किया जाता है. कीमत $ 10,500 अमरीकी डालर () के तहत, मजबूत, तालिका शीर्ष OptiGlow प्लाज्मा प्रणाली उत्पादन या प्रयोगशाला अनुप्रयोगों के लिए एकदम सही है. कक्ष दबाव और मॉड्यूल की स्थिति के लिए एक प्रदर्शन के साथ प्रयोग करने में आसान है.

OptiGlow प्रणाली की पहली कम लागत प्लाज्मा प्रणाली है कि wettability और संपर्क लेंस के आराम को बढ़ाने के लिए इस्तेमाल किया जा सकता है. OptiGlow प्लाज्मा प्रणाली भी कोटिंग का उपयोग करने से पहले, laminating और बयान प्रक्रियाओं के लिए आदर्श है, और अत्यधिक substrates के या सामग्री की एक विस्तृत श्रृंखला के इलाज में प्रभावी है.

OptiGlow 75 प्लाज्मा प्रणाली मानक OptiGlow समान है और एक बड़ा एल्यूमीनियम कक्ष, सत्ता के 75 वाट और ऑक्सीजन या argon के रूप में दो इनपुट गैसों के लिए उपयोग करने के लिए विकल्प है जैविक हटाने और विपठ्ठन photoresist के लिए इस्तेमाल किया जा सकता है.

SputterGlow बयान प्रणाली की धूम

पारद्युतिक या धातु की तीन लक्ष्यों के साथ एक विस्तृत रेंज जमा करने के लिए एक आदर्श विकल्प है. मूलतः 3 सी एन 4 का उपयोग करने के लिए एक विकल्प के रूप में सौर कोशिकाओं पर विरोधी चिंतनशील कोटिंग्स जमा PECVD क्योंकि SputterGlow प्रक्रिया नाइट्राइड बयान के लिए ऐसे 4 SiH के रूप में खतरनाक गैसों की आवश्यकता नहीं है डिज़ाइन किया गया है. प्रणाली stepper रोबोटिक्स, गर्म स्टेशनों है, और एक गोद टॉप कंप्यूटर के साथ नियंत्रित है.

मालिकाना तलीय मैग्नेट्रान कम या उच्च शक्ति के साथ एक प्लाज्मा उत्पन्न करता है, अपनी जरूरत के आधार पर. SputterGlow प्रक्रिया निर्वात अखंडता को सुनिश्चित करने के लिए और एक एल्यूमीनियम चैम्बर (लागत को नीचे रखने के लिए) का उपयोग करने के लिए डिजाइन किया गया था.

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पुनर्निर्माण सिस्टम

चमक अनुसंधान दुनिया चौड़ा के NORDSON मार्च से कई बड़े इकाइयों (मार्च Plasmod मार्च सुपर Plasmod के, मार्च PM-600 और मार्च बृहस्पति आर.आई.ई. सिस्टम) के लिए भागों और सेवा के लिए जिम्मेदारी पर ले लिया है हम हमारी विशेषज्ञता और प्रस्ताव पुनर्निर्माण मार्च Tegal और प्लाज्मा प्रणालियों के साथ रहते हैं. क्या पुनर्निर्माण प्रणालियों की पेशकश की है पर एक नज़र रखना .