प्लाज्मा क्लीनर, प्लाज्मा Etchers के, प्लाज्मा Ashers और बयान प्रणाली (PVD) धूम ग्लो रिसर्च द्वारा प्रदान की जाती हैं. चमक अनुसंधान नए AutoGlow प्लाज्मा / क्लीनर नक़्क़ाश, OptiGlow प्लाज्मा सिस्टम विनिर्माण और SputterGlow के बयान सिस्टम (PVD) धूम है. चमक अनुसंधान भी कई बड़े NORDSON मार्च (Plasmod, सुपर Plasmod PM-600, बृहस्पति आर.आई.ई.) से प्लाज्मा प्रणालियों के लिए और दुनिया भर में समर्थन भागों में ले लिया है और विभिन्न आवश्यकताओं और आकार के लिए नए प्लाज्मा रिएक्टरों बनाता है. हम समझते हैं कि ज्यादातर प्रयोगशालाओं और लोगों की है कि प्लाज्मा प्रणालियों की खरीद से पहले और बिक्री के बाद सहायता का एक बड़ा सौदा की आवश्यकता होती है. हम अपने नमूने को चलाने के लिए, और आपके सिस्टम की स्थापना के साथ सहायता करने की क्षमता है. चमक अनुसंधान ग्राहक चाहते हो सकता है कि हमारे सिस्टम की खरीद के लिए नि: शुल्क नमूने पर कार्रवाई करेंगे.

AutoGlow प्लाज्मा सिस्टम

प्लाज्मा क्लीनर. 10 वाट या 300 वाट, 13.56 मेगाहर्टज ठोस राज्य जनरेटर, स्वत: ट्यूनिंग, पढ़ने के बाहर दबाव, नाइट्रोजन शुद्ध करना, मुलायम निकाल, तीन गैस आदानों और CE चिह्नित है की कम शक्ति पर इस्तेमाल किया जा सकता है. AutoGlow एक 24 महीने की वारंटी के साथ आता है. परफेक्ट इलाज PDMS, जैविक हटाने या तस्वीर विरोध हटाने के लिए.

उत्पादन कारखानों में AutoGlow प्लाज्मा प्रणाली में प्रयोग किया जाता है के रूप में के रूप में अच्छी तरह से प्लाज्मा तकनीक के साथ एक मध्यम कीमत पर चिकित्सा, वैज्ञानिक, शैक्षिक और माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक समुदाय प्रदान प्रयोगशालाओं डिजाइन एक 2 साल की वारंटी भी शामिल है.

बड़ा AutoGlow सिस्टम ग्राहक आवश्यकताओं फिट anodized एल्यूमीनियम कक्षों के साथ उपलब्ध हैं. AutoGlow सिस्टम 200 (8) मिमी wafers की प्रक्रिया कर सकते हैं.

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SputterGlow बयान प्रणाली की धूम

एक सही विकल्प तीन लक्ष्यों के साथ dielectrics या धातु जमा करने के लिए. मूलतः 3 सी एन 4 का उपयोग करने के लिए एक विकल्प के रूप में सौर कोशिकाओं पर विरोधी चिंतनशील कोटिंग्स जमा PECVD क्योंकि SputterGlow प्रक्रिया नाइट्राइड बयान के लिए ऐसे 4 SiH के रूप में खतरनाक गैसों की आवश्यकता नहीं है डिज़ाइन किया गया है. प्रणाली stepper रोबोटिक्स, गर्म स्टेशनों है, और एक गोद टॉप कंप्यूटर के साथ नियंत्रित है.

मालिकाना तलीय मैग्नेट्रान अपनी जरूरत के आधार पर कम या उच्च शक्ति के साथ एक प्लाज्मा उत्पन्न करता है. SputterGlow प्रक्रिया निर्वात अखंडता को सुनिश्चित करने के लिए और एक एल्यूमीनियम चैम्बर (लागत को नीचे रखने के लिए) का उपयोग करने के लिए डिजाइन किया गया था.

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OptiGlow प्लाज्मा सिस्टम

प्लाज्मा भूतल संशोधन और प्लाज्मा उपचार, भूतल सक्रियकरण के लिए इस्तेमाल किया. कीमत $ 10,500 अमरीकी डालर () के तहत, मजबूत, तालिका शीर्ष OptiGlow प्लाज्मा प्रणाली उत्पादन या प्रयोगशाला अनुप्रयोगों के लिए एकदम सही है. का उपयोग करने के लिए आसान है. कक्ष दबाव और मॉड्यूल की स्थिति के लिए प्रदर्शन.

OptiGlow प्रणाली की पहली कम लागत प्लाज्मा प्रणाली है कि और संपर्क लेंस और विभिन्न सामग्रियों की wettability आराम बढ़ाने के लिए इस्तेमाल किया जा सकता है. OptiGlow प्लाज्मा प्रणाली पूर्व कोटिंग के लिए उपयोग के लिए आदर्श है, laminating और बयान प्रक्रियाओं, और substrates के या सामग्री की एक विस्तृत श्रृंखला के इलाज में अत्यधिक प्रभावी है. जैव MEMS और microfluidics में प्रयुक्त.

OptiGlow 75 प्लाज्मा प्रणाली मानक OptiGlow की तरह है, लेकिन साथ शक्ति और ऑक्सीजन या argon के रूप में दो इनपुट गैसों के लिए उपयोग करने के लिए विकल्प के 75 वाट के साथ.

leaning or E tching at 13.56 MHz. OptiGlow ऐस एक शिंग करने के लिए बनाया गया है, सी झुकाव या 13.56 मेगाहर्टज पर tching. OptiGlow ऐस के लिए डिज़ाइन किया गया है दो गैसों जानकारी के लिए और CF4 प्रकार गैसों के साथ प्रयोग किया जा सकता है. Anodized एल्यूमीनियम और या तो आर.आई.ई. या प्लाज्मा की स्थिति के लिए कक्ष. एक लंबे और संकुल या अर्धचालक चिप्स पर प्रक्रिया को हटाने परतों के लिए महान.

OptiGlow ऐस (सफाई, नक़्क़ाशी ashing)

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पुनर्निर्माण सिस्टम

चमक अनुसंधान दुनिया चौड़ा के NORDSON मार्च से कई बड़े इकाइयों (मार्च Plasmod मार्च सुपर Plasmod के, मार्च PM-600 और मार्च बृहस्पति आर.आई.ई. सिस्टम) के लिए भागों और सेवा के लिए जिम्मेदारी पर ले लिया है हम हमारी विशेषज्ञता और प्रस्ताव पुनर्निर्माण मार्च Tegal और प्लाज्मा प्रणालियों के साथ रहते हैं. क्या पुनर्निर्माण प्रणालियों की पेशकश की है पर एक नज़र रखना .