Tegal 903e

कैसेट के लिए - कैसेट लाइन एकल वेफर प्लाज्मा नक़्क़ाश. खोदना विअस और संपर्क करने के लिए क्षमता. सिलिकॉन डाइऑक्साइड, सिलिकॉन nitrides, और polyamides नक़्क़ाशी के लिए. सिस्टम उचित सुविधा और ऑपरेशन पर से परामर्श के साथ बेचा जाता है. प्रणाली काम कर रही है और Mesa, एरिजोना में हमारे ग्राहक समर्थन केंद्र पर प्रदर्शन किया जा सकता है. विभिन्न उन्नयन करने के लिए अपने विशिष्ट जरूरतों फिट करने के लिए उपलब्ध हैं.

3 इंच से 6 अंदर वर्तमान में में वेफर्स अंदर 4 के लिए कॉन्फ़िगर वेफर्स संभाल कर सकते हैं.

• माइक्रोप्रोसेसर नियंत्रण
• वर्तमान में अंदर 4 वेफर्स (100mm) के लिए कॉन्फ़िगर किया गया है.
• ENI १,००० वाट 13.56 मेगाहर्टज आरएफ जेनरेटर.
• 20 प्रक्रिया नुस्खा क्षमता
• Tylan MFC के द्वारा नियंत्रित प्रक्रिया गैसों
• गैर घर्षण रंग लेने और जगह वफ़र परिवहन.
• Leybold D65 ऑक्सीजन सेवा पंप (वैकल्पिक शुष्क पंप उपलब्ध)
• दो Tegal बंद लूप तापमान नियंत्रक
• दिसम्बर मॉनिटर और कीबोर्ड
• गैर घर्षण रंग लेने और जगह वफ़र परिवहन.
• नियमावली भी शामिल हैं, 208 वी, 50/60 हर्ट्ज

(बिक्री लंबित)