Plazma čišćenje, plazma, plazma Etchers Ashers i pršte taloženje (PVD) sustavi pružaju sjaj Research. Glow Istraživanja proizvodi AutoGlow plazma sustava, OptiGlow plazma sustavi i SputterGlow pršte taloženje (PVD) sustava. Glow Istraživanje je preuzelo dijelove i svijetu podrške za nekoliko starijih plazma sustava iz Nordson OŽUJAK (Plasmod, Super Plasmod, PM-600, Jupiter Rie) i gradi nova plazma reaktora za različite zahtjeve i veličinama. Mi razumijemo da je većina ljudi koji laboratoriji i kupiti plazma sustavi zahtijevaju mnogo pomoći prije i poslije prodaje. Imamo mogućnost da pokrenete svoje uzorke, i pomoći s instalacijom vašeg sustava. Glow Istraživanje će obraditi uzorke za korisnike koji svibanj želite kupiti naše sustave.

Biranje pravog sustava:

OptiGlow-koristi soba zrak kao procesa plina, 50 vata, 100 kHz, aluminija komore. Za površinsku promjenu. Naš najmanji cijeni sustav ispod $ 11.000 (uključuje vakuum pumpa).

75-OptiGlow za korištenje s kisikom ili argona (i ostale plin), 75 W, 100 kHz, aluminija komore. Za modifikacija površine, plazma čišćenje, prebond tretman.

OptiGlow ACE-za uporabu s kisika, argona ili fluora (CF4) tip plina. Dva mjerača protoka plina, anodizirani aluminij komora. Varijabilni 10 - 150 W 13,56 MHz RF generator, samopodešavanje. Rie ili plazma obradu. Za aktivaciju, pretvaranje u pepeo, čišćenje i jetkanje. Idealno za uklanjanje slojeva za neuspjeh analize, bakropis niz filmova.

AutoGlow-do tri plinova-kisika, argon ili drugi plinovi, kvarc komora, 6 "podloge, varijabla 10 - 300 W 13,56 MHz RF generator, samopodešavanje. Kapacitivni spregnuti, tipka automatski rad. Koristi se za čišćenje, plazma prebond, bakropis filmova, uklanjanje organskih, uklanjanje fotorezist.

AutoGlow 200-može obraditi 200 mm podloge (ili 8 "vafli). Rie ili plazma obradu. Do tri plinova-kisika, argona ili fluor (CF4) tip plin, varijabla 10 - 300 W 13,56 MHz RF generator, samopodešavanje, anodizirani aluminij komora. Koristi se za čišćenje plazma, aktiviranje, prebond, bakropis, uklanjanje organske tvari, uklanjanje fotorezist.

AutoGlow Plazma sustav

Plasma Cleaner. Ovaj stolni sustav se može koristiti na male snage od 10 W, odnosno do 300 Watts, 13,56 MHz čvrstog stanja generatora, automatsko tuning, tlaka čitati-outa, propuhivanje dušikom, meko ventilatora, tri ulaza i plina je oznaku CE. AutoGlow dolazi sa 24 mjeseci jamstvo. Savršeno za liječenje PDMS, organske uklanjanje ili foto-oduprijeti uklanjanje. Ima kvarcni komoru i može obraditi do 6 "(150 mm) podloge.

Sustav AutoGlow plazme se koristi u proizvodnim tvornicama, kao i laboratoriji-dizajniran za pružanje medicinske, znanstvene, obrazovne i mikroelektroniku zajednicu s plazma tehnologijom umjereno cijenu. Uključuje 2 godine jamstva.

Veće AutoGlow sustavi raspoloživi su s aluminijskim komorama da stane zahtjevima kupca (Rie ili plazma obrada). Na slici ispod je AutoGlow 200. Dizajniran za do 200 mm (8 ") podloge ili oblatne, CF4, O2 ili Ar plin, sustav se može koristiti za Rie ili plazma obrade, ovisno o uzorku prijevoznika koji koristite. To je od anodiziranog aluminija komoru i može se koristiti za jetkanje, pretvaranje u pepeo ili površinske modificaiton.

Saznajte više o AutoGlow

OptiGlow Plasma Systems  

shing, C leaning or E tching at 13.56 MHz. OptiGlow ACE je dizajniran za obavljanje plazma A ctivation Shing, A, C ili E provenijencije tching na 13,56 MHz. OptiGlow ACE ima dva ulaza plina i može se koristiti sa zrakom, kisikom ili CF4 tipa plinova. To je od anodiziranog aluminija komoru i može se koristiti za bilo Rie ili plazma obradu. Izvrstan za dugotrajnog procesa i uklanjanje slojeva na poluvodičkim paketa ili čips. Koristi se za analizu kvarova, uklanjanje fotorezist, čišćenje organskih, bakropis Parylene, površinska obrada i niz drugih aplikacija.

Standardni OptiGlow Sustav se koristi za plazma modifikacija površine i plazma postupanja, površine aktivaciju. Po cijeni ispod 10.500 $ (USD), čvrst, stolni OptiGlow plazma sustav je pogodno za proizvodnju ili laboratorij aplikacija. Jednostavno korištenje uz zaslon za komorne tlaka i modula status.

OptiGlow sustav je prvi low cost plazma sustav koji se može koristiti za povećanje močenja i udobnost kontaktne leće. Sustav OptiGlow plazma je također idealan za korištenje prije premaza, laminiranje i procesi taloženja, te je vrlo učinkovit u liječenju širok raspon podloga i materijala.

OptiGlow 75 plazma sustav je sličan standardnim OptiGlow i ima veći aluminijsku komoru, 75 W električne energije i mogućnost korištenja do dva ulaznih plinova, poput kisika i argona. Može se koristiti za ekološku uklanjanja i uklanjanje fotorezist.

SputterGlow pršte Deposition sustav

Savršen izbor za polaganje širok spektar dielektrika ili metala, s do tri mete. Izvorno dizajnirane za polaganje Si ₃ N ₄ anti-reflektirajuće prevlaka na solarnim ćelijama kao alternativa za korištenje PECVD-jer SputterGlow proces ne zahtijeva opasne plinove kao što su SiH ₄ za nitridnih taloženja. Sustav ima stepper robotika, grijana postaja, te je pod kontrolom s lap-top računala.

Vlasničke planarna generira magnetron plazmu s niskim ili visokim moći, ovisno o vašim potrebama. SputterGlow je dizajniran kako bi se osigurala cjelovitost procesa vakuum i koristiti aluminijsku komoru (držati troškove dolje).

Saznajte više o SputterGlow

Obnovljena sustavi

Glow Istraživanje je preuzeo u svijetu odgovoran za dijelove i uslugu za nekoliko starijih jedinica iz Nordson (OŽUJAK Ožujak Plasmod ožujka Super Plasmod ožujka PM-600 i ožujka Jupiter Rie sustavi). Ostajemo s našim iskustvom i ponudom obnovljena ožujka i Tegal plazma sustava. Bacite pogled na ono što obnovljena sustavima koje nudimo .