Plazma čišćenje, plazma, plazma Etchers Ashers i pršte taloženje (PVD) sustavi pružaju sjaj Research. Glow Istraživanja proizvodi novi AutoGlow plazma čistač / bakropisac, The OptiGlow plazma sustava i SputterGlow pršte taloženje (PVD) sustava. Glow Istraživanje je također preuzela dijelova i svijetu podrške za nekoliko starijih plazma sustava iz Nordson OŽUJAK (Plasmod, Super Plasmod, PM-600, Jupiter Rie) i gradi nova plazma reaktora za različite zahtjeve i veličinama. Mi razumijemo da je većina ljudi koji laboratoriji i kupiti plazma sustavi zahtijevaju mnogo pomoći prije i poslije prodaje. Imamo mogućnost da pokrenete svoje uzorke, i pomoći s instalacijom vašeg sustava. Glow Istraživanje će obraditi uzorke za korisnike koji svibanj želite kupiti naše sustave.

AutoGlow Plazma sustav

Plasma Cleaner. Može se koristiti na male snage od 10 W, odnosno do 300 Watts, 13,56 MHz čvrstog stanja generatora, automatsko tuning, tlaka čitati-outa, propuhivanje dušikom, meko ventilatora, tri ulaza i plina je oznaku CE. AutoGlow dolazi sa 24 mjeseci jamstva. Savršeno za liječenje PDMS, organske uklanjanje ili foto-oduprijeti uklanjanje.

Sustav AutoGlow plazme se koristi u proizvodnim tvornicama, kao i laboratoriji-dizajniran za pružanje medicinske, znanstvene, obrazovne i mikroelektroniku zajednicu plazma tehnologije na umjerenoj cijeni. Uključuje 2 godine jamstva.

Veće AutoGlow sustavi raspoloživi su s aluminijskim komorama da stane kupca. AutoGlow sustav može obraditi 200 mm (8 ") vafla.

Saznajte više o AutoGlow

SputterGlow pršte Deposition sustav

Savršen izbor za polaganje dielektrika ili metala sa do tri mete. Izvorno dizajnirane za polaganje Si ₃ N ₄ anti-reflektirajuće prevlaka na solarnim ćelijama kao alternativa za korištenje PECVD-jer SputterGlow proces ne zahtijeva opasne plinove kao što su SiH ₄ za nitridnih taloženja. Sustav ima stepper robotika, grijana postaja, te je pod kontrolom s lap-top računala.

Vlasničke planarna generira magnetron plazmu s niskim ili velike snage, ovisno o vašim potrebama. SputterGlow je dizajniran kako bi se osigurala cjelovitost procesa vakuum i koristiti aluminijsku komoru (držati troškove dolje).

Saznajte više o SputterGlow

OptiGlow Plasma Systems

Koristi se za plazma modifikacija površine i plazma postupanja, površine za aktivaciju. Po cijeni ispod 10.500 $ (USD), čvrst, stolni OptiGlow plazma sustav je pogodno za proizvodnju ili laboratorij aplikacija. Jednostavan je za korištenje. Prikaz za komorni tlaka i modula status.

OptiGlow sustav je prvi low cost plazma sustav koji se može koristiti za povećanje močenja i udobnost kontaktne leće i različitih materijala. Sustav OptiGlow plazma je idealan za korištenje prije premaza, laminiranje i procesi taloženja, te je vrlo učinkovit u liječenju širok raspon podloga i materijala. Koristi se u Bio MEMS i mikrofluidičkim.

OptiGlow 75 plazma sustav kao i standardni OptiGlow, ali sa 75 W snage i mogućnost korištenja do dva ulaznih plinova, poput kisika i argona.

leaning or E tching at 13.56 MHz. OptiGlow ACE je dizajniran za obavljanje Shing, C ili E tching orijentirane na 13,56 MHz. OptiGlow ACE je dizajniran za do dva ulaza plinova i može se koristiti s CF4 tipa plinova. Anodiziranog aluminija komora i za bilo Rie ili plazma uvjetima. Izvrstan za dugotrajnog procesa i uklanjanje slojeva na poluvodičkim paketa ili čips.

OptiGlow ACE (čistionica, pretvaranje u pepeo, bakropis)

Saznajte više o OptiGlow sustava

Obnovljena sustavi

Glow Istraživanje je preuzeo u svijetu odgovoran za dijelove i uslugu za nekoliko starijih jedinica iz Nordson (OŽUJAK Ožujak Plasmod ožujka Super Plasmod ožujka PM-600 i ožujka Jupiter Rie sustavi). Ostajemo s našim iskustvom i ponudom obnovljena ožujka i Tegal plazma sustava. Bacite pogled na ono što obnovljena sustavima koje nudimo .