AutoGlow Plasma Systems

Sustav AutoGlow plazma je kemija stola plazma reaktora dizajniran za pružanje medicinske, znanstvene, obrazovne i proizvodnja mikroelektronike zajednicu plazma tehnologije na umjerenoj cijeni. Sustav se koristi u proizvodnji, kao i R & D centara. Koristi se za argon plazma, kisik plazme plazma premaza, PDMS, kisik plazma tretman, foto odoljeti raskrivanje Fa aplikacije, Parylene disk, organsko uklanjanje i laboratorijske korištenje.

Sveučilištima i tvrtkama diljem svijeta naći sustav AutoGlow plazme savršeno uklapaju za svoje plazme potrebama.

Sustav AutoGlow plazma je najučinkovitiji sustav te vrste na tržištu zbog svoje promjenjive 10 Watta do 300 Watt, 13,56 MHz čvrstog stanja generatora. Sustav AutoGlow plazma je također dizajnirana da učinkovito kvarovima plinova uvedena u sustav stvaranja reaktivnih vrsta koje brzo će čistiti ili mijenjati uzorak. Automatsko podešavanje i očitavanje tlaka su uključeni. AutoGlow može postići plazmu kao niska kao i 10 Watts!

Automatski / na dugme rad.

Glow Istraživanje je uzeti najbolje dizajne starih sustava, i ažurirati sustav AutoGlow plazme s trenutnom tehnologijom, uključujući i našu vlasnički magnitude faze detektora i SimpleMatch RF mreže koji omogućuje učinkovitu plazma tuning i osigurava brzu obradu bez problema stalno prilagođava različitim uzorku opterećenja. AutoGlow je vrlo pouzdan i ima dvije godine jamstva! Jednostavno replaceble moduli u sustavu su: RF Generator, RF Match mreža, Face Plate modul (vidi dolje), kvarc vijeće i Gas Control Module Za više podataka i informacija, molimo kliknite na "Mogućnosti AutoGlow" pravom na ovoj stranici. .

Evo što je nedavno Korisnička imao za reći o svojoj AutoGlow: "Sve se radi u redu. To samo chugs zajedno kao što bi trebao. Impresioniran sam gotovo možemo u potpunosti pepela AZ4620 oduprijeti na 125W u nekoliko minuta. Imam netko i koristeći ga za predtretman od PDMS prije lijepljenja. Utvrde velik za to. "
 
AutoGlow 200 Sustav je dizajniran za do 200 mm, podloge ili 8 "vafla, a može obavljati Rie ili plazma obrade, ovisno o koju se uzorak prijevoznik koristi. Anodiziranog aluminija komora može accomidate standardni O2, AR ili CF4 tipa plinova za jetkanje aplikacija. I dokazano elektronički, RF generator, odgovaraju mrežu i plin kontrola je isto kao i standardne AutoGlow gore. Molimo kontaktirajte sjaj istraživanja za više informacija o AutoGlow 200.
AutoGlow 200 ima isti status kao dijagnostički karticu AutoGlow što potvrđuje da su svi pod-modula radi ispravno. Sustav na desnoj strani je
prikazani s dodatnom dušika komorne oduška čistke.
AutoGlow 200 se može koristiti za varity aplikacija iz plazme aktivacije, čišćenje, uklanjanje organskih, pre-taloženje čišćenje   kao i graviranje raznih aplikacija.
 
 
 
 
 

MIT ima AutoGlow u Stata Centra koji se koristi za različite biomedicinske i mikrofluidičkim istraživanja. Na slici je Geraldine Paulus, doktorski student zadužen za AutoGlow na MIT zgrade 66 (Landau Građevinska Lab).

 
 
 

"Rice University ima AutoGlow u Halas Research Lab. Sustav se koristi za uklanjanje odolijeva polimera za primjenu u plasmonics i nanophotonics. Na slici je Lisa Brown, doktorski student koji koristi AutoGlow za pripremu uzoraka za površinski poboljšane molekularne spektroskopije. "

Harvard University je AutoGlow sustav u Gordon McKay Lab. Sustav se koristi za organsku uklanjanja, modificiranja i služi potrebama nekoliko istraživača koji rade na istraživanju i DNA sekvenciranja ljudskog genoma. Na slici je Gordon Whitlock, predsjednik sjaj Research.

Na slici je AutoGlow na Microsystems Technology Lab na MIT-u. Ovo AutoGlow se koristi za uklanjanje fotorezist, čišćenje i modifikacija površine. Ovaj laboratorij bavi se istraživanjem u MEMS i BioMEMS, nanotehnologija i Photonics.