Tegal 903e

Kazeta za Kazeta in-line Jednokrevetna Hostija Plazma bakropisac. Sposobnost samojetkajući vias i kontakata. Za jetkanje silicij dioksid, silicijski nitrides i poliamida. Sustav se prodaje sa savjetovanja iz olakšicama i na pravilan rad. Sustav je operativan i može se pokazati na našoj servisnoj podršku u Mesa, Arizona. Različiti su dostupne nadogradnje kako bi odgovarao vašim specifičnim potrebama.

Može nositi vafli od 3. do 6. u. u. Trenutno konfiguriran za 4 in vafla.

• Mikroprocesorsko upravljanje
• Trenutno konfiguriran za 4 in (100mm) vafla.
• ENI 1.000 Watt 13,56 MHz RF Generator.
• 20 Proces recept sposobnost
• Procesni plinovi pod kontrolom Tylan MFC
• Non-trenje lopaticom pokupiti i mjesto prijevoz vafla.
• Leybold D65 kisika usluga pumpa (neobavezno suho pumpa dostupna)
• Dvije zatvorene petlje Tegal kontroleri temperature
• Prosinca Monitor i tipkovnica
• Non-trenje lopaticom pokupiti i mjesto prijevoz vafla.
• Upute uključeni, 208 V, 50/60 Hz

(Prodaja u tijeku)