SputterGlow Brošura
SputterGlow pršte Deposition sustav
OptiGlow Plazma sustav
Po cijeni ispod 10.500 $ (USD), čvrst, stolni OptiGlow plazma sustav je pogodno za proizvodnju ili laboratorij aplikacija. Saznajte više .AutoGlow Plazma sustav
Sustav AutoGlow plazma je najučinkovitiji stola plazma sustav te vrste na tržištu zbog svoje promjenjive 10-300 Watt, 13,56 MHz čvrstog stanja generatora. Saznajte više .Ispitivanje i uzorci
Glow Istraživanja će se izvoditi uzoraka na temelju ugovora ili za klijente zainteresirane za eventualnu kupnju nove ili obnovljene sustava. Kontaktirajte nas za više informacija.Kontaktirajte nas
Adresa:
12014 35. S. Ct.
Phoenix, AZ. 85044
Sjedinjene DržaveTelefon:
480-621-8405E-mail:
customerservice@glowresearch.orgPrevoditelj
Prevoditelj
SputterGlow pršte Deposition sustav
Sustav za Thin Film, prštanje, PVD, tanku Film taloženja Vacuum premaza, metalik ili dielektričnog Thin Film polaganje.
Glow Istraživanje SputterGlow je fleksibilan pršte taloženje sustav dizajniran za obradu 200mm x 156mm oblatne, 156mm solarnih ćelija ili manjih pločica, uključujući komada vafla. SputterGlow može imati do tri međusobno procesnih stanica (svaka stanica može biti konfiguriran za grijanje, pršte taloženja ili pršte jetkanje). SputterGlow je izvorno dizajniran za polaganje Si 3 N 4 antireflective prevlaka na fotonaponskih ćelija i može se koristiti za pršte depozita širok spektar dielektrika ili metala.
Fotonaponski inženjeri su pronašli SputterGlow biti izvrsna alternativa za Plasma Enhanced postupak kemijske parne depozicije (PECVD) jer SputterGlow proces ne zahtijeva Silanski (SiH 4) za nitridnih taloženja.
Uz ogroman trošak štednje da ne zahtijeva skupu osiguravanje sigurnosti ili preponama, mnogi istraživači osjećaju postoje jake prednosti korištenja sputtered film za konačni pasivizacija / antirefleksnim slojem, što je rezultiralo visokom učinkovitosti fotonaponskih ćelija. SputterGlow je dizajnirao John Reche. Za pozadinu na Ivana Reche kliknite na "O nama" na ovoj web stranici.
Fleksibilnost
S tri komornih postaja, SputterGlow se može koristiti za razne obrade potrebama. Pojedine stanice mogu naizmjenično koristiti za grijanje, raspršivanjem ili jetkanje uz to i pravilan odabir opcija prilikom kupnje ili nadograditi na neki kasniji datum. SputterGlow je savršen izbor za istraživanja ili niskim obujma proizvodnje aplikacija.
Vijeće Integritet / troškova
Vakuum Testiranje
SputterGlow je dizajniran kako bi se osigurala cjelovitost procesa vakuum i koristiti aluminijsku komoru (držati troškove dolje). Komora je helij curenja testirani na 6,5 x 10 -10 mbar sa svi priključci blokiran, (4,8 x 10 -10 Torr).
Prilagođeni dizajniran aluminij komora omogućuje 3x smanjenje cijene u odnosu na od nehrđajućeg čelika komore istog kalibra. SputterGlow može raditi s iznimno niskom potrošnjom od 25 W (za manje agresivne obrade), do 1 kW za agresivniji pršte taloženja.
Prilagođeni dizajniran aluminij komora omogućuje 3x smanjenje cijene u odnosu na od nehrđajućeg čelika komore istog kalibra. Komora je 34 "u promjeru x 11" visok.
Vlasnički dizajn
Vlasničke planarna magnetron koristi za generiranje plazmu. Ovaj dizajn ima za posljedicu duži životni vijek za rasprašenje cilj i poboljšanje taloženja uniformnosti na podlogu. Glow istraživanje proprietary planarna magnetron će također poboljšana raspršivanjem realnom vremenu stope i niža prijenos topline na podlogu.
PC računalo kontrola
Ručno ili krug-Top upravljanje računalom
Ugrađeni mikroprocesor kontrolira motore sustava nevjerojatno prijevoza, položaj vafl postolja i otvaranja ventila vakuum i plin, itd. Korisnik kontrolira proces taloženja preuzimanjem recept od svog osobnog laptopa (nije isporučen). Ugrađeni mikroprocesor je spojen na laptop preko USB priključka. Korisnik može prilagoditi svoj vlastiti proces s sjaj istraživanje proprietary sekvenciranja programa ili odaberite bilo koji unaprijed proces koji je skinuti na svoje računalo.
Uređaji za napajanje
SputterGlow mogu biti podešeni da imaju RF, DC ili impulsnih DC napajanja. SputterGlow se može koristiti za odlaganje raznih materijala KB dielektrika i poluvodiča, metalima i magnetskih materijala. Spektralna DC može se koristiti umjesto RF opskrbe s prednošću eliminira tuning mrežu. DC struju može navedeno, ako metala ili magnetski materijali moraju biti isključivo sputtered.