SputterGlow Značajke

• Reaktivni pršte Nanošenje Si ₃ N ₄ ili drugi filmovi
• Eliminira potrebu za Silanski plina
• Lako bi se olakšalo u laboratoriju, nema štetnih gasova Potrebne
• Do tri ciljeva
• Depozit dielektrici ili Metali
• Vafli 200 mm (ili manje) ili 156 mm x 156 mm solarne ćelije
• Grijanje Mogućnosti (do 400 stupnjeva C)
• 1200 W, 13,56 MHz RF Generator
• Automatic Tuning
• Turbo i podloga crpke
• Voda hlađenje magnetronskim rasprašenjem
• Stepper Kontrolirano podloge Rukovanje
• Računalo ili Ručno Kontrola mjerila
• MFC kontrola plinova
• LED dijagnostika

Mogućnosti

• Podloge Bias
• RGA
• Cirkulacija Ciljana rač
• Pogledu Windows

Sve SputterGlow sustava dolazi sa 12 mjeseci jamstvo, upute za uporabu, video na pravilno postavljanje sustava i rad. Glow Istraživanje će također pružiti podršku na licu mjesta, usluga polje za pokretanje sustava.

Za više informacija molimo nazovite sjaj Research USA 480-621-8405 ili nam e-poštu .