Plazma tisztító, Plazma Etchers, plazma és Ashers Katódporlasztás (PVD) rendszer által nyújtott Glow Research. Glow Kutatási gyárt AutoGlow Plasma Systems, OptiGlow plazma rendszerek és SputterGlow katódporlasztásra (PVD) rendszerek. Glow Research átvette az alkatrészek és világszerte támogatja a több régebbi plazma rendszerek Nordson MÁRCIUS (Plasmod, Super Plasmod, PM-600, Jupiter RIE) és épít új plazma reaktorok különböző követelmények és méretben. Megértjük, hogy a legtöbb laborban, és az emberek vásárolni, hogy a plazma rendszereknél nagy segítséget előtt és után az eladás. Megvan a képessége, hogy futtassa a mintákat, és segíti a telepítő a rendszer. Glow kutatás feldolgozni Csom. az ügyfelek számára, hogy lehet, hogy megvásárolják a rendszereket.

Válasszuk ki a megfelelő rendszert:

OptiGlow-szoba levegőjét használja, mint a gázzal, 50 W, 100 kHz-es, alumínium kamrában. Felszíni alakításához. A legalacsonyabb árú rendszer alatt 11.000 $ (beleértve a vákuum-szivattyú).

OptiGlow 75-oxigénes használatra vagy argon (és más gáz), 75 W, 100 kHz-es, alumínium kamrában. Felszíni alakításához, plazma tisztító, prebond kezelés.

OptiGlow ACE-használatra oxigénnel, argon vagy fluor (CF4) típusú gáz. Két gáz áramlásmérők, eloxált alumínium kamrában. Változó 10-150 watt 13,56 MHz-es rádiófrekvenciás generátor, AutoTune. RIE vagy plazma feldolgozása. Az aktiválás, hamvasztás, tisztító-és maratás. Ideális rétegek eltávolítása Failure Analysis, rézkarc különböző filmeket.

AutoGlow-Akár három gáz-oxigén, argon vagy más gáz, kvarc kamra, 6 "-alapon, változó 10-300 Watt 13,56 MHz-es rádiófrekvenciás generátor, AutoTune. Kapacitív csatolású, nyomógombos automatikus működés. Használt plazma tisztító, prebond, maratás filmek, eltávolítása szerves, eltávolítása réteggel.

AutoGlow 200 képes feldolgozni 200 mm aljzatok (vagy 8 "ostya). RIE vagy plazma feldolgozása. Akár három gáz-oxigén, argon vagy fluor (CF4) típusú gáz, változó 10-300 Watt 13,56 MHz-es rádiófrekvenciás generátor, AutoTune, eloxált alumínium kamrában. Használt plazma tisztítás, aktivizálás, prebond, maratás, eltávolítása szerves, eltávolítása réteggel.

AutoGlow Plazma Rendszer

Plazma tisztító. Ez az asztali rendszer használható alacsony teljesítménye 10 watt, vagy akár 300 watt, 13,56 MHz-es szilárdtest generátor, automatikus hangolás, nyomás kiolvasását, a nitrogén öblítés, puha szellőzés, 3 gáz be-és CE jelöléssel rendelkezik. A AutoGlow jön-val egy 24 hónapos garancia. Tökéletes kezelésére PDMS, organikus eltávolítása vagy fotoreziszt eltávolítását. Van egy kvarc kamra és képes feldolgozni 6 "-ig (150 mm) aljzatokon.

A AutoGlow plazma rendszert használják gyárak, valamint Labs célja, hogy az orvosi, tudományos, oktatási és mikroelektronika közösség plazma technológiával mérsékelt áron. Tartalmaz egy 2 év garancia.

Nagyobb AutoGlow rendszerek állnak rendelkezésre, eloxált alumínium kamarák illeszkedjen az ügyfél igényei (RIE vagy plazma feldolgozás). Lenti képen egy 200 AutoGlow. Úgy tervezték, hogy akár 200 mm (8 ") szubsztrátok vagy szeletek, CF4, O2 vagy Ar gáz, a rendszer használható RIE vagy plazma feldolgozása attól függően, hogy a mintát hordozó, amit használsz. Meg van egy alumínium kamrában, és lehet használni a rézkarc, hamvasztás vagy felületi modificaiton.

Tudjon meg többet AutoGlow

OptiGlow Plasma Systems  

shing, C leaning or E tching at 13.56 MHz. Az ACE OptiGlow úgy tervezték, hogy végre egy plazma ctivation, Shing A, C és E hajló tching 13.56 MHz. Az ACE OptiGlow két gáz-bemenet, és lehet használható levegő, oxigén, vagy CF4 típusú gázok. Meg van egy alumínium kamrában, és fel lehet használni akár RIE vagy plazma feldolgozása. Nagy hosszú folyamat és rétegek eltávolítása a csomagoláson, vagy félvezető chipek. Használt Failure Analysis, fotoreziszt eltávolítása, tisztítás szerves, maratás Parylene, felületkezelés és számos más alkalmazás.

A standard OptiGlow rendszert használják a Plazma és Plazma Felületmódosítás kezelés, felület aktiválása. Ára alatt 10.500 $ (USD), a stabil, asztali OptiGlow plazma rendszer sem tökéletes a termelési vagy laboratóriumi alkalmazáshoz. Könnyen használható a kijelző a kamra nyomás és a modul állapotának.

A OptiGlow rendszer az első olcsó plazma rendszert, hogy lehet használni növelésére nedvesítés és kényelem a kontaktlencse. A plazma OptiGlow rendszer is ideálisan használható a bevonat felhordása előtt, lamináló és leválasztási folyamatok, és nagyon hatékony kezelésére sokféle szubsztrátok vagy anyag.

A 75 plazma OptiGlow rendszer hasonló a standard OptiGlow és egy nagyobb alumínium kamra, 75 W teljesítmény, és a lehetőséget, hogy használja fel a két bemeneti gázok, mint az oxigén vagy argon. Használható szerves eltávolítására és annak lebontását réteggel.

SputterGlow Katódporlasztás rendszer

Egy tökéletes választás befizetni számos dielektrikumokon vagy fémek, akár három célokat. Eredetileg letétbe Si 3 N 4 tükröződésmentes bevonatot napelemek alternatívájaként használja PECVD-SputterGlow, mert a folyamat nem igényel veszélyes gázok, mint a SiH 4-nitrid lerakódás. A rendszer taposógép robotika, fűtött állomások, és vezérli a lap-top számítógépet.

A saját planáris magnetron generál a plazma alacsony vagy magas teljesítményű, attól függően, hogy a szükség. A SputterGlow annak biztosítására tervezték folyamat vákuum integritását és hasznosítani alumínium kamra (hogy olcsóbbá).

Tudjon meg többet SputterGlow

Átépítve Systems

Glow Research átvette a világ, széles körű felelősséget alkatrész és szerviz több régebbi egységek Nordson March (Március Plasmod március Super Plasmod, március PM-600 és Jupiter március RIE rendszerek). Mi maradjunk a mi ajánlatunkat szakértelemmel és átépítették márciusban és Tegal Plasma Systems. Vessen egy pillantást, amit újjá rendszerek is kínálnak .