Plazma tisztító, Plazma Etchers, plazma Ashers és katódporlasztásos (PVD) rendszerek által nyújtott Glow Research. Glow Research gyártja az új AutoGlow plazma tisztító / rézmetsző, a OptiGlow plazma rendszerek és a SputterGlow katódporlasztásos (PVD) rendszerek. Glow A kutatások azt is átvette az alkatrészek és világszerte támogatja a több régebbi plazma rendszerek Nordson MÁRCIUS (Plasmod, Super Plasmod, PM-600, Jupiter RIE) és épít új plazma reaktorok különböző követelmények és méretben. Megértjük, hogy a legtöbb labor és az emberek a vásárlás plazma rendszereknél nagy segítséget előtt és után eladó. Mi képesek futtatni a mintákat, és segíti a telepítést a rendszer. Glow kutatás folyamatát Csom. az ügyfelek számára, hogy érdemes vásárolni a rendszereket.

AutoGlow Plazma Rendszer

Plazma tisztító. Használható alacsony teljesítménye 10 watt, vagy akár 300 watt, 13,56 MHz-es szilárdtest generátor, automatikus hangolás, nyomás olvasható ki, nitrogén öblítés, puha szellőztető, három gáz-bemenet és a CE jelöléssel. A AutoGlow jön a 24 hónap garancia. Tökéletes kezelésére PDMS, szerves eltávolítása vagy fotó-ellenállni eltávolítása.

A AutoGlow plazma rendszert használnak a gyártás gyárak, valamint a labs-célja, hogy az orvosi, tudományos, oktatási és mikroelektronikai közösség plazma technológiával mérsékelt áron. Tartalmaz egy 2 év garancia.

Nagyobb AutoGlow rendszerek állnak rendelkezésre eloxált alumínium kamarákkal, hogy illeszkedjen az Ügyfél igényeinek. AutoGlow rendszer képes feldolgozni 200 mm (8 ") ostya.

Tudjon meg többet AutoGlow

SputterGlow katódporlasztásos rendszer

A tökéletes választás befizetni dielektrikum és fémek akár három célokat. Eredetileg befizetni Si 3 N 4 anti-reflektív bevonatok napelemek alternatívájaként a PECVD-, mert a SputterGlow folyamat nem teljes, veszélyes gázok, mint a SiH 4-nitrid lerakódás. A rendszer taposógép robotika, fűtött állomások, és vezérelhető a lap-top számítógépet.

A saját fejlesztésű sík magnetron generál a plazma alacsony vagy magas teljesítmény függően szükség. A SputterGlow volt a célja annak biztosítása folyamat vákuum integritását és hasznosítani alumínium kamra (hogy olcsóbbá).

Tudjon meg többet SputterGlow

OptiGlow Plasma Systems

Használt plazma felület módosítása és plazma kezelés, felület aktiválása. Ára alatt $ 10,500 (USD), a stabil, asztali OptiGlow plazma rendszer tökéletes termelési vagy laboratóriumi alkalmazásokhoz. Könnyen használható. Kijelző kamra nyomás és modul állapotát.

A OptiGlow rendszer az első olcsó plazma rendszert lehet használni növelése nedvesítés és kényelem a kontaktlencsék és különböző anyagok. A OptiGlow plazma rendszer ideális a bevonat felhordása előtt kasírozás és lerakódás folyamatait, és nagyon hatékony kezelésére számos szubsztrátok vagy anyagi. Használt Bio MEMS és MicroFluidics.

A OptiGlow 75 plazma rendszert, mint a standard OptiGlow, de a 75 W teljesítmény, és a lehetőség, hogy használja fel, hogy két bemeneti gázok, mint az oxigén vagy argon.

leaning or E tching at 13.56 MHz. A OptiGlow ACE célja, hogy végezze el a Shing, C és E támaszkodva tching a 13,56 MHz-en. A OptiGlow ACE célja, akár két gáz bemenet és lehet használni a CF4 típusú gázok. Eloxált alumínium kamra, és akár RIE vagy plazma körülmények között. Nagy hosszú folyamat, és eltávolítja rétegek a csomagoláson, vagy félvezető chipek.

OptiGlow ACE (tisztítása, Hamvasztás, maratás)

Tudjon meg többet OptiGlow rendszerek

Újjáépített Systems

Glow Research átvette az egész világra kiterjedő felelősséget alkatrészek és szolgáltatások, több régebbi egységek Nordson MÁRCIUS (március Plasmod március Super Plasmod, március PM-600 és március Jupiter RIE rendszerek). Mi marad a szakértelem és ajánlatot átépítették március Tegal plazma rendszert. Vessen egy pillantást, amit újjá rendszerek is kínálnak .