Jellemzők AutoGlow

A plazma AutoGlow rendszer szilárdtest elektronika, frissített gáz szállítási lehetőségek és a technológia, amely várhatóan a felhasználók és a biztonsági személyzet az egész világon. A nagyobb méretű kamra elhelyezésére egy 6 "szubsztrát és 160mm (ID) átmérő x 186,94 mm (ID) mély és nagy tisztaságú kvarc. A rendszer és a kamrát úgy tervezték, hogy növelje homogenitás és reprodukálhatóság, mint más asztali rendszerek plazma.

A AutoGlow plazma rendszert úgy tervezték, akár kis teljesítményű, vagy nagy teljesítményű működés változó 10-300 watt, 13,56 MHz-es szilárdtest generátor így a plazma AutoGlow rendszer a leghatékonyabb rendszer, a maga nemében a piacon. Az üzemeltető futhat egy folyamat 10 watt vagy olyan magas, mint 300 watt agresszívebb feldolgozásra. A teljesítmény állítható 1 W-os lépésekben.

  • Kicsi, asztali rendszer
  • Változó 10-300 Watt a 13,56 MHz-es vagy a kíméletes feldolgozás agresszívebb
  • Kamara nagy tisztaságú kvarc
  • Szilárdtest-elektronika nem csövek
  • Egyedi félvezető detektorok a gyors hangolás
  • Az automatikus hangolás hatékony plazma feldolgozása
  • Nyomás felolvasta a könnyű feldolgozás
  • Időzítő
  • Megjeleníti haladó és visszavert teljesítmény és RF munkapont
  • AutoTell diagnosztikai kártya a jobb üzemidő
  • Kamara gázelosztó jobb egységesség
  • Puha szellőző megelőzésére nyomás sorozatban
  • Opcionális Gas Control Module akár három gáz bemenetek
  • Egységes plazma gyors és hatékony eredmények
  • Egyedi RF generátor és a mérkőzés hálózat minimális visszavert teljesítmény, függetlenül a hálózati beállítás
  • SimpleMatch megfelelő hálózati gyors tuning
  • UV-védelem épített elölnézet ajtó
  • Teljesen jellemezte rendszer a mérési eredmények reprodukálhatók
  • Könnyen érthető, könnyen kezelhető
  • Minden elektronika két plug in táblák egyszerű javítás
  • Start-up támogatás
  • Start-up video
  • Teljes manuális és dokumentáció
  • 24 hónap garancia

A design a AutoGlow kezdődik a fémlemez használják a rendszert. Fémlemez kezelik, és elfedi, hogy megfelelő RF tervezés.
A fém ház elfedi oly módon, hogy növelje a fém-fém kapcsolat ... megszüntetésére RF szivárgás. Ez azt jelenti, hogy a AutoGlow fog teremteni a plazma gyors, függetlenül a minta terhelés. Megfelelő RF tuning kezdődik a kabinet kialakítása.
A moduláris AutoGlow. A rádiófrekvenciás generátor könnyen el lehet távolítani a hátsó a rendszer. A kamara könnyen eltávolítható. Valamennyi elektronikai rendszer egy cserélhető fedélzeten (csatolva az első kijelzőpanelen). Az egyetlen kapcsolat szükséges az elektromos, gáz-és vákuum (az összes látható). Egyszerűen csatlakoztassa a hálózati csatlakozót, csatlakoztassa a vákuumszivattyú és a gáz ... és készen áll, hogy a minták feldolgozására.

A diagnosztikai kártya megerősíti, hogy az összes modul jól működik.

 

 

 

 

 

Az RF Match hálózat rendkívül gyors a kondenzátorok viszont 360 fokos, ami lehetővé teszi, hogy beállítsa a AutoGlow rendkívül gyors, függetlenül a rakomány belsejében a feldolgozást kamra.

A felső elektróda van kapcsolva és az alsó elektród földelt-előállító vegyi folyamat. A AutoGlow futhat olyan alacsony, mint 10 watt a kíméletes feldolgozás, vagy magas, mint 300 watt agresszívebb feldolgozásra.

Minden elektronika egy elektronikus kártya. Ez a tábla van felszerelve, hogy a hátoldalon a levehető előlapot. A Front panel összeszerelő könnyen cserélhető.