Sztrippelése fotoreziszt

A AutoGlow plazma rendszert fel lehet használni sztrippelése fotoreziszt. A legtöbb felhasználó használja oxigén plazma eltávolítani réteggel a különböző típusú ostya (szilícium, GaAs, szilícium-karbid, szilícium-nitrid szubsztrát). A plazma AutoGlow rendszer automatizált tervezés lehetővé teszi a könnyű és a felügyelet nélküli üzemeltetés.

Alacsony hőmérsékletű hamvasztás egyik hatékony eszköze a készít minták sokféle analitikai módszerek. Az oxigén a plazma majd gyengéden oxidálja a szerves anyag szervetlen mögött hagyva. Minták, mint például növényi vagy állati szövetek lehet hamvasztjuk hagyva a három dimenziós szerkezetét érintetlenül mikroszkópos elemzés céljából. Hamvasztás aránya körülbelül 1 gramm per óra, így a plazma AutoGlow rendszer Auto-Tune funkció kiválóan alkalmas a felügyelet nélküli üzemeltetés. A AutoGlow plazma rendszert fel lehet használni a tisztításhoz átviteli sejtek, ablakok és Mikrometszet.