Tegal 903e

Kazetta kazetta-to-In-line Single Wafer Plazma rézmetsző. Képesség, hogy etch VIAS és kapcsolatok. A rézkarc szilícium-dioxid, szilícium nitridek, és a poliamid. A rendszer eladott konzultáció során a helyes megkönnyítése és működését. A rendszer működőképes, és be kell mutatni a Ügyfélszolgálatról Mesa, Arizona. Különböző frissítések állnak rendelkezésre, hogy illeszkedjen a speciális igények kielégítésére.

Tudja kezelni ostya 3 hüvelyk 6 hüvelyk beállítva a 4 hüvelyk ostya.

• Mikroprocesszor vezérlés
• Jelenleg konfigurálva 4 hüvelyk (100mm) lapkák.
• Az ENI 1000 Watt 13,56 MHz-es rádiófrekvenciás generátor.
• 20 recept folyamat képesség
• Ipari gázok által vezérelt Tylan MFC
• Nem súrlódási spatula felrakó és beültető ostya közlekedés.
• Leybold D65 oxigén szolgáltatás szivattyú (opcionális száraz szivattyú áll rendelkezésre)
• Két Tegal zárt hőmérsékletszabályozók
• December monitor és billentyűzet
• Nem súrlódási spatula felrakó és beültető ostya közlekedés.
• Kézikönyvek benne, 208 V, 50/60 Hz

(Eladási folyamatban)