Jellemzők SputterGlow

  • Reaktív Katódporlasztás Si 3 N 4-es vagy más filmek
  • Megszünteti szükség szilán gáz
  • Könnyen, hogy megkönnyítse a laborban, nem veszélyes gázok Needed
  • Akár három célt
  • Befizetési dielektrikumokon vagy fémek
  • 200 mm-es ostya (vagy kisebb) vagy 156 mm x 156 mm Solar Cells
  • Fűtés opciók (akár 400 ° C)
  • 1200 W-os, 13,56 MHz-es rádiófrekvenciás generátor
  • Automatikus hangolás
  • Turbo és háttér Pump
  • Vízhűtéses Magnetron porlasztással
  • Stepper Ellenőrzött Substrate Kezelés
  • Számítógép vagy kézi vezérlés a szelvény
  • MFC ellenőrzése gázok
  • LED Diagnostics

Beállítások

  • Bias Substrate
  • RGA
  • Cél recirkulációs hűtés
  • A Windows nézetablak

Minden SputterGlow rendszer jön egy 12 hónap garancia, használati utasítás, videó megfelelő kialakítása és a rendszer működését. Glow kutatás is ad helyszíni szolgáltatási területen támogatást indítása a rendszer.

További információért kérjük, hívja Glow Research USA 480-621-8405 vagy Email .