Tegal 903e

Kaset ke Kaset In-line Wafer penggores Plasma Tunggal. Kemampuan untuk etch vias dan kontak. Untuk etsa silikon dioksida, nitrida silikon, dan poliamida. Sistem ini dijual dengan konsultasi dari pada fasilitasi yang tepat dan operasi. Sistem operasional dan dapat dibuktikan di Pusat Dukungan Pelanggan kami di Mesa, Arizona. Berbagai upgrade yang tersedia untuk memenuhi kebutuhan spesifik Anda.

Dapat menangani wafer dari 3 sampai 6 masuk masuk Saat ini dikonfigurasi untuk 4 in wafer.

  • Mikroprosesor kontrol
  • Saat ini dikonfigurasi untuk 4 in (100mm) wafer.
  • ENI 1.000 Watt 13,56 MHz RF Generator.
  • 20 Proses resep kemampuan
  • Proses gas dikontrol oleh Tylan di MFC
  • Non-gesekan spatula memilih dan transportasi tempat wafer.
  • Leybold D65 oksigen layanan pompa (pompa kering opsional tersedia)
  • Dua kontroler lingkaran suhu Tegal tertutup
  • Desember Monitor dan Keyboard
  • Non-gesekan spatula memilih dan transportasi tempat wafer.
  • Manual disertakan, 208 V, 50/60 Hz

(Penjualan pending)