Plasma hreinsiefni, Plasma Etchers, Plasma Ashers og Sputter brottvikning (PVD) kerfi er veitt af Research Glow. Ljóma Rannsóknir framleiðir nýja AutoGlow plasma hreinni / etcher er OptiGlow plasma kerfi og SputterGlow sputter úrkomu (PVD) kerfi. Glow Rannsóknir einnig hefur tekið yfir hluta og stuðnings fyrir nokkrum eldri plasma kerfi frá Nordson mars (Plasmod, Super Plasmod, PM-600, Jupiter Rie) og byggir nýja reactors plasma fyrir ýmsum kröfum og gerðum. Við skiljum að flest Labs og fólk sem kaupa plasma þarfnast mikils aðstoð fyrir og eftir sölu. Við höfum getu til að hlaupa sýni þínum, og aðstoða við uppsetningu á kerfinu þínu. Glow Rannsóknir vinnur frían prufupakka fyrir viðskiptavini sem kunna að vilja að kaupa kerfi okkar.

AutoGlow Plasma System

Plasma Cleaner. Hægt að nota með litlum krafti 10 wött eða allt að 300 wött, 13,56 MHz storkuhamur rafall, sjálfvirkur Tuning, þrýsting lesa út, köfnunarefni hreinsa, mjúkur loftun, þrír gas aðföngum og er CE merkt. The AutoGlow kemur með 24 mánaða ábyrgð. Perfect fyrir meðferð PDMS, lífræn flutningur eða ljósmynd-staðist flutningur.

The AutoGlow plasma er notað í verksmiðjum framleiðslu og Labs hönnuð til að veita læknisþjónustu, vísinda, mennta og Microelectronics samfélag með plasma tækni með hæfilegum tilkostnaði. Inniheldur 2 ára ábyrgð.

Stærri AutoGlow kerfi eru í boði með anodized hólf ál til að passa kröfur viðskiptavinarins. AutoGlow kerfi getum afgreitt 200 mm (8 ") flatbrauð.

Finna út fleiri óður í AutoGlow

SputterGlow Sputter brottvikning System

Fullkomið val að leggja rafeinangrandi eða málma með allt að þremur markmiðum. Upphaflega hannað til að leggja Si ₃ N ₄ andstæðingur-hugsandi húðun á sól frumur í stað þess að nota PECVD-vegna þess að SputterGlow aðferð hjartarskinn ekki þurfa hættulegar lofttegundir, svo sem SiH ₄ fyrir brottvikning nitride. Kerfið hefur stepper vélmenni, hituð stöðvar, og er stjórnað með hring-toppur tölva.

Eigin planar magnetron býr plasma með litla eða mikil völd eftir þörf þína. The SputterGlow var ætlað að tryggja ferli tómarúm heiðarleika og nýta úr áli hólfa (til að halda kostnaði niðri).

Finna út fleiri óður í SputterGlow

OptiGlow Plasma Systems

Notað fyrir Plasma Surface breytingar og Plasma Meðhöndlun, Surface örvun. Verð undir $ 10.500 (USD), the traustur, borð-toppur OptiGlow plasma kerfi er fullkomið fyrir framleiðslu eða Lab forrit. Auðvelt að nota. Sýna fyrir þrýsting kammertónlist og mát stöðu.

The OptiGlow er fyrsta litlum tilkostnaði plasma kerfi þessi geta vera notaður fyrir auka wettability og þægindi af augnlinsur og ýmsum efnum. The OptiGlow plasma kerfi er tilvalið til notkunar fyrir húðun, laminating og útfellingu ferli, og er mjög árangursríkt að meðhöndla margs konar undirlag eða efni. Notað í Bio MEMS og MicroFluidics.

The OptiGlow 75 plasma kerfi er eins og staðall OptiGlow, en með 75 vött af orku og möguleika á að nota allt að tvær inntak lofttegundir, svo sem súrefni eða argon.

leaning or E tching at 13.56 MHz. The OptiGlow ACE er ætlað að framkvæma shing, C halla eða E tching á 13,56 MHz. The OptiGlow ACE er hannað fyrir allt að tvo lofttegundir aðföngum og hægt er að nota með CF4 gerð gasi. Anodized ál kammertónlist og fyrir annaðhvort Rie eða Plasma aðstæður. Frábært fyrir löngu ferli og fjarlægja lög á umbúðum eða hálfleiðara spilapeninga.

OptiGlow ACE (Cleaning, Ashing, ætingu)

Finna út fleiri óður í OptiGlow kerfi

Endurbyggð Systems

Glow Rannsóknir hafa tekið yfir heiminum ábyrgð á hlutum og þjónustu fyrir nokkrum eldri einingar úr Nordson MARS (mars Plasmod, mars Super Plasmod mars PM-600 og mars Jupiter Rie kerfi). Við vera með þekkingu okkar og bjóða upp endurbyggður mars og Tegal plasma kerfi. Taka a líta á það endurreist kerfi sem við höfum uppá að bjóða .