Plasma hreinsiefni, Plasma Etchers og Plasma Ashers og Sputter brottvikning (PVD) kerfi eru af Research ljóma. Glow Rannsóknir framleiðir AutoGlow plasma kerfi, sputter OptiGlow plasma kerfi og SputterGlow brottvikning (PVD) kerfi. Glow Rannsóknir hafa tekið yfir hluta og stuðnings fyrir nokkrum eldri plasma kerfi frá Nordson mars (Plasmod, Super Plasmod, PM-600, Júpíter Rie) og byggir nýja reactors plasma fyrir ýmsum kröfum og gerðum. Við skiljum að flestir Labs og fólk sem kaupa plasma kerfi þurfa mikla aðstoð fyrir og eftir sölu. Við höfum getu til að keyra sýni þínum, og aðstoða við uppsetningu á kerfinu þínu. Glow Rannsóknir mun vinna frían prufupakka fyrir viðskiptavini sem kunna að vilja að kaupa kerfi okkar.

Velja the Réttur System:

OptiGlow-notar herbergi loft sem ferli gas, 50 Watts, 100 kHz, áli stofu. Um breytingu á yfirborði. Lægsta verð kerfi okkar undir $ 11.000 (felur í sér tómarúm dælu).

OptiGlow 75-til notkunar við súrefni eða argon (og annað gas), 75 Watts, 100 kHz, áli stofu. Fyrir yfirborð breytingar, plasma þrif, prebond meðferð.

OptiGlow ACE-til notkunar við súrefni, argon eða flúor (CF4) gerð gas. Tveir gas flowmeters og anodized ál kammerverk. Variable 10-150 watta 13,56 MHz RF rafall, autotune. Rie eða plasma vinnslu. Fyrir virkjun, ashing, þrífa og æting. Tilvalið til að fjarlægja lög til greiningar Bilun, æting ýmsum myndum.

AutoGlow-Allt að þremur gas-súrefni, argon eða aðrar lofttegundir, kvars kammertónlist, 6 "hvarfefni, breyta 10-300 watta 13,56 MHz RF rafall, autotune. Rafrýmd par, ýta á hnappinn sjálfvirk aðgerð. Notað fyrir plasma þrif, prebond, æting kvikmyndir, fjarlægja Organics, fjarlægja photoresist.

AutoGlow 200-getum afgreitt 200 mm undirlag (eða 8 "flatbrauð). Rie eða plasma vinnslu. Allt að þrjár lofttegundir-súrefni, argon eða flúor (CF4) gerð gas, breyta 10-300 watta 13,56 MHz RF rafall, autotune, anodized ál kammertónlist. Notað fyrir plasma þrif, örvun og prebond, æting, fjarlægja Organics, fjarlægja photoresist.

AutoGlow Plasma Kerfi

Plasma Cleaner. Þessi tafla-toppur kerfi er hægt að nota með litlum krafti 10 wött eða allt að 300 wött og 13.56 MHz storkuhamur rafall, sjálfvirka leit er þrýstingi lesa út, köfnunarefni hreinsa og mjúk venting, þremur gas aðföngum og er CE merkt. The AutoGlow kemur með 24 mánaða ábyrgð. Perfect fyrir ritgerð PDMS og lífræn flutningur eða ljósmynd-staðist flutningur. Hefur kvars klefa og getum afgreitt allt að 6 "(150 mm) hvarfefni.

The AutoGlow plasma kerfi er notað í verksmiðjum framleiðslu og Labs hönnuð til að veita læknis-, vísinda-, mennta-og Microelectronics samfélag með plasma tækni með hæfilegum tilkostnaði. Inniheldur 2 ára ábyrgð.

Stærri AutoGlow kerfi eru í boði með anodized hólf áli til að passa kröfur viðskiptavinarins (Rie eða Plasma vinnslu). Myndinni hér að neðan er AutoGlow 200. Hannað fyrir allt að 200 mm 8 ") hvarfefni eða kexþynnur og CF4, O2 eða Ar gas, er hægt að kerfið er notað fyrir Rie eða plasma vinnslu eftir sýnishorn flytjanda sem þú notar. Það hefur anodized ál kammertónlist og geta vera notaður fyrir æting, ashing eða yfirborð modificaiton.

Finna út fleiri óður í AutoGlow

OptiGlow Plasma Systems  

shing, C leaning or E tching at 13.56 MHz. The OptiGlow ACE er hannað til að framkvæma Plasma A ctivation, A Shing, C skakka eða E tching á 13.56 MHz. The OptiGlow ACE tvö gas inntak og má nota með lofti, súrefni eða CF4 tegund lofttegundum. Það hefur anodized ál kammertónlist og geta vera notaður fyrir annaðhvort Rie eða Plasma vinnslu. Great fyrir löngu ferli og fjarlægja lag á pakka eða hálfleiðara flögum. Notað til greiningar Bilun, fjarlægja photoresist, þrífa Organics, æting Parylene og yfirborðsmeðferð og fjölda annarra forrita.

Staðallinn OptiGlow kerfið er notað fyrir Plasma Surface breytingu á og Plasma meðferð, yfirborð Örvun. Verð undir $ 10.500 (USD), sem traustur, borð-toppur OptiGlow plasma kerfi er fullkomið fyrir framleiðslu eða Lab forrit. Auðvelt að nota með skjá fyrir þrýstingi hólfa og mát stöðu.

The OptiGlow er fyrsta lágmark kostnaður plasma kerfi sem hægt er að nota til að auka wettability og þægindi af augnlinsur. The OptiGlow plasma kerfi er einnig tilvalin til notkunar fyrir húðun, laminating og útfellingu ferli, og er mjög árangursríkt að meðhöndla margs konar undirlag eða efni.

The OptiGlow 75 plasma kerfi er svipað og venjulegt OptiGlow og hefur a stór ál kammertónlist, 75 vött af orku og möguleika til að nota allt að tveimur inntak lofttegundum, svo sem súrefni eða argon. Hægt að nota fyrir lífræna flutningur og nektardansmær photoresist.

SputterGlow Sputter úrkomu System

Fullkomið val til að leggja mikið úrval af rafeinangrandi eða málma, með allt að þremur markmiðum. Upphaflega hannað til að leggja Si ₃ N ₄ andstæðingur-hugsandi húðun á sól frumur sem valkost við að nota PECVD-vegna þess að SputterGlow aðferð hjartarskinn ekki þurfa hættulegar lofttegundir eins og SiH ₄ fyrir útfellingu nitride. Kerfið hefur stepper vélmenni, upphitaðar stöðvar, og er stjórnað með hring-toppur tölvunni.

Eigin planar segulspætu býr í plasma með litla eða hár máttur, eftir þörf þína. The SputterGlow var ætlað að tryggja ferli tómarúm heilindum og nýta ál klefa (til að halda kostnaði niðri).

Finna út fleiri óður í SputterGlow

Endursmíðuð Systems

Glow Rannsóknir hafa tekið yfir allan heim ábyrgð á varahlutum og þjónustu fyrir nokkrum eldri einingar frá Nordson mars (Mars Plasmod, mars Super Plasmod, mars PM-600 og mars Júpíter Rie kerfi). Við vera með þekkingu okkar og bjóða endursmíðuð mars og Tegal plasma kerfi. Taka a líta á það sem endursmíðuð kerfi sem við höfum uppá að bjóða .