SputterGlow Bæklingur
SputterGlow Sputter úrkomu System
OptiGlow Plasma Kerfi
Verð undir $ 10.500 (USD), sem traustur, borð-toppur OptiGlow plasma kerfi er fullkomið fyrir framleiðslu eða Lab forrit. Finna út fleiri .AutoGlow Plasma Kerfi
The AutoGlow plasma kerfi er duglegur tabletop plasma kerfi sinnar tegundar á markaðnum vegna mismunandi 10-300 watta þess, 13,56 MHz storkuhamur rafall. Finna út fleiri .Prófanir og sýni
Glow Rannsóknir mun keyra sýnishorn á samningi eða fyrir viðskiptavini sem hafa áhuga á að lokum að kaupa nýtt eða endurbyggt kerfi. Hafðu samband við okkur til að fá meiri upplýsingar.Hafðu samband
Heimilisfang:
12014 S. 35 Ct.
Phoenix, Az. 85044
BandaríkinSími:
480-621-8405Netfang:
customerservice@glowresearch.orgÞýðandi
Þýðandi
SputterGlow Sputter úrkomu System
Kerfi fyrir þunn filma, Sputter, PVD og þunn filma úrkomu Vacuum húðun, málmi eða dielectric þunn filma úrkomu.
Greiningardeild Glow SputterGlow er sveigjanlegt sputter brottvikning kerfi hannað til að vinna 200mm wafers og 156mm x 156mm sól frumur eða minni kexþynnum-þar á meðal stykki af wafers. The SputterGlow getur haft allt að þremur víxlanlegur stöðvar ferli (hver stöð er hægt að stilla til hitunar, sputter úrkomu eða sputter æting). The SputterGlow var upphaflega ætlað að leggja Si 3 N 4 antireflective húðun á photovoltaic frumur og má nota til að sputter innborgun upp á breitt úrval af rafeinangrandi eða málma.
Photovoltaic verkfræðingar hafa fundið SputterGlow að vera framúrskarandi val til Plasma Auka Efnafræðifélags gufu úrkomu gr PECVD) vegna þess að SputterGlow aðferð hjartarskinn ekki þurfa Silane (SiH 4) fyrir útfellingu nitride.
Ásamt gríðarlega kostnað sparnaðar-á ekki að krefjast dýr greiða eða öryggi hindranir-margir vísindamenn telja að það eru sterk kostir við að nota sputtered kvikmynd fyrir endanlegri passivation / andstæðingur-hugsandi húðun, sem leiðir til meiri skilvirkni photovoltaic klefi. The SputterGlow var hannaður af John Reche. Fyrir bakgrunn á John Reche vinsamlegast smelltu á "Um okkur" á þessum vef.
Sveigjanleiki
Með þriggja hólfa stöðvar, hægt að SputterGlow vera notaður fyrir a fjölbreytni af þörfum vinnslu. Í einstökum stöðvum má jöfnum höndum nota til hita, sputtering eða ætingu með viðeigandi vali á valkostum á kaup, eða retrofitted síðar. The SputterGlow er fullkomið val fyrir rannsóknir eða lágu magni framleiðslu forrit.
Kammerkór Heiðarleiki / kostnaður
Vacuum Eista
The SputterGlow var ætlað að tryggja ferli tómarúm heilindum og nýta ál klefa (til að halda kostnaði niðri). Í deild hefur verið helíum leka prófa að 6,5 x 10 -10 mbar með öllum höfnum lokað, (4,8 x 10 -10 Torr).
The siðvenja hannað ál deild gerir ráð fyrir 3X verð lækkun samanborið við ryðfríu stáli hólfa af sömu gæðum. The SputterGlow getur starfað frá afar lágu valdi 25 wött (fyrir minna árásargjarn vinnslu), að 1 kW fyrir fleiri árásargjarn sputter úrkomu.
The siðvenja hannað ál deild gerir ráð fyrir 3X verð lækkun samanborið við ryðfríu stáli hólfa af sömu gæðum. Chamber er 34 "í þvermál x 11" hæð.
Eigin hönnun
A sér planar segulspætu er notað til að búa til plasma. Þetta hönnun niðurstöður í lengri ævi fyrir sputtering miða, og bæta útfellingu einsleitni á undirlagið. Greiningardeild Glow sér planar segulspætu mun einnig auka sputtering herbergi og lægri hita flytja til undirlag.
PC Tölva Control
Handbók eða Lap-Top Computer Control
Embed örgjörvi stjórnar mótora í flutningi obláta kerfi, staða obláta pedestals, opnun á tómarúm og gas lokar osfrv Notandinn stjórnar úrkomu ferli með því að sækja uppskrift af persónulegum fartölvu þeirra (fylgir ekki). The embed örgjörvi er tengdur við fartölvu gegnum USB tengið. Notandinn getur sérsniðið eigin ferli sínum með Research Glow sér raðgreiningu program, eða velja hvaða tiltekinn aðferð sem hefur verið hlaðið niður í tölvuna sína.
Power Birgðasali
The SputterGlow er hægt að stilla með RF, DC eða ríður DC orkuveitu. The SputterGlow hægt að nota til að leggja ýmsum efnum ... rafeinangrandi og hálfleiðarar, málma og segulmagnaðir efni. Ríður DC er hægt að nota í stað RF framboð með the kostur af útrýming the Tuning net. A DC framboð getur tilgreint ef málmar eða segulmagnaðir efni eru til að sputtered eingöngu.