SputterGlow Lögun

  • Viðbrögð Sputter útfellingu Si 3 N 4 eða aðrar myndir
  • Útrýma þörf fyrir Silane Gas
  • Auðvelt að greiða í Lab, Engin hættuleg gastegundir þörf
  • Allt að þrjú markmið
  • Innborgun rafeinangrandi eða Málmar
  • 200 mm Wafers (eða minni) eða 156 mm x 156 mm sól frumur
  • Upphitun Valkostir (allt að 400 gráður C)
  • 1200 wött, 13,56 MHz RF Rafall
  • Sjálfvirk Tuning
  • Turbo og stuðningur Pump
  • Vatn kælt segulspætu
  • Stepper Controlled Undirlag Meðhöndlun
  • Tölva eða handstýringu á gauges
  • MFC stjórn lofttegunda
  • LED Diagnostics

Valkostir

  • Hvarfefni Bias
  • RgÃ
  • Endurnýtingarkerfi Target kælingu
  • Viewport Windows

Allt SputterGlow kerfi koma með handbók fyrir 12 mánaða ábyrgð, eigandans, vídeó á rétt sett upp á kerfi og rekstur. Glow Rannsóknir mun einnig veita á staðnum sviði þjónustu stuðning fyrir að byrja upp á kerfi.

Fyrir frekari upplýsingar vinsamlegast hringja Glow Research USA 480-621-8405 eða sendu okkur .