Pulizia al plasma, plasma, incisori Ashers al plasma e deposizione a polverizzazione (PVD) i sistemi sono forniti da Research Glow. La ricerca produce Glow AutoGlow sistemi al plasma, plasma e sistemi OptiGlow SputterGlow deposizione per polverizzazione catodica (PVD) sistemi. La ricerca ha preso Glow sopra le parti e il supporto di tutto il mondo per diversi sistemi al plasma anziani da Nordson MARZO (Plasmod, Super Plasmod, PM-600, Giove, RIE) e costruisce nuovi reattori al plasma per diverse esigenze e dimensioni. Sappiamo che la maggior parte dei laboratori e delle persone che acquistano sistemi al plasma richiedono una grande quantità di assistenza prima e dopo la vendita. Abbiamo la possibilità di eseguire i vostri campioni, e assistere con l'installazione del vostro sistema. La ricerca Glow elaborerà i campioni liberi per i clienti che volessero acquistare i nostri sistemi.

Scegliere il sistema giusto:

OptiGlow-stanza utilizza l'aria come gas di processo, 50 watt, 100 kHz, camera di alluminio. Per la modifica della superficie. Il nostro sistema di prezzo più basso inferiore a $ 11.000 (include la pompa del vuoto).

OptiGlow 75 per l'uso con ossigeno o argon (gas e altro), 75 watt, 100 kHz, camera di alluminio. Per superficie di modifica, pulizia al plasma, il trattamento prebond.

OptiGlow ACE-per l'uso con ossigeno, argon o fluoro (CF4) del tipo di gas. Due misuratori di portata di gas, da camera in alluminio anodizzato. Variabile 10 a 150 Watt 13,56 MHz generatore RF, autotune. RIE o trattamento plasma. Per l'attivazione, incenerimento, pulizia e incisione. Ideale per la rimozione di strati per Failure Analysis, incisione una varietà di film.

AutoGlow-Fino a tre gas-ossigeno, argon o altri gas, camera di quarzo, 6 "substrati, variabile 10 a 300 Watt 13,56 MHz generatore RF, autotune. Capacitivo accoppiato, pulsante funzionamento automatico. Utilizzato per la pulizia plasma, prebond, film incisione, rimozione di sostanze organiche, eliminando photoresist.

AutoGlow 200-substrati in grado di elaborare 200 mm (o 8 "wafer). RIE o trattamento plasma. Fino a tre gas-ossigeno, argon o fluoro (CF4) del tipo di gas, variabile 10 a 300 Watt 13,56 MHz generatore RF, autotune, camera di alluminio anodizzato. Utilizzato per la pulizia plasma, attivazione, prebond, incisione, eliminando sostanze organiche, eliminando photoresist.

AutoGlow Plasma sistema

Plasma Cleaner. Questa tabella-top sistema può essere utilizzato a bassa potenza di 10 watt o fino a 300 watt, generatore di 13,56 MHz stato solido, la sintonizzazione automatica, pressione di read-out di sfiato azoto, ventilazione morbida, tre ingressi di gas ed è marcato CE. Il AutoGlow viene fornito con una garanzia di 24 mesi. Perfetto per il trattamento di PDMS, la rimozione biologica o fotoresistenti rimozione. Ha una camera di quarzo e in grado di elaborare fino a 6 "(150 mm) substrati.

Il sistema AutoGlow plasma viene utilizzato nelle fabbriche di produzione, nonché laboratori, progettati per fornire il medico, scientifico, educativo e microelettronica comunità con tecnologia al plasma ad un costo moderato. Include una garanzia di 2 anni.

Sistemi AutoGlow più grandi sono disponibili con camere in alluminio anodizzato per adattarsi alle esigenze dei Clienti (RIE o Plasma di elaborazione). Nella foto qui sotto è una AutoGlow 200. Ideato per fino a 200 mm (8 ") substrati o placchette CF4, O2 o Ar gas, il sistema può essere utilizzato per RIE o trattamento al plasma a seconda del porta-campioni utilizzato. Essa presenta una camera alluminio anodizzato e può essere utilizzato per modificaiton incisione, incenerimento o superficie.

Per saperne di più su AutoGlow

OptiGlow Plasma Systems  

shing, C leaning or E tching at 13.56 MHz. L'ACE OptiGlow è progettato per effettuare Plasma A TTIVAZIONE, shing A, C o E Tching pendente a 13,56 MHz. Il ACE OptiGlow ha due ingressi di gas e può essere utilizzato con aria, ossigeno, o gas CF4 tipo. Essa presenta una camera alluminio anodizzato e può essere usato sia per RIE o trattamento plasma. Ottimo per un processo lungo e strati di rimozione dei colli o chip semiconduttori. Usato per Failure Analysis, la rimozione photoresist, la pulizia organiche, incisione Parylene, trattamento di superficie e una miriade di altre applicazioni.

Il sistema OptiGlow standard viene utilizzato per la modifica delle superfici al plasma e di trattamento al plasma, attivazione di superficie. Prezzo sotto $ 10.500 (USD), il robusto, tavolo OptiGlow sistema al plasma è perfetto per applicazioni di produzione o di laboratorio. Facile da usare con un display per la pressione da camera e lo stato del modulo.

Il sistema OptiGlow è il primo sistema di plasma a basso costo che può essere usata per aumentare la bagnabilità e la comodità di lenti a contatto. Il sistema OptiGlow plasma è ideale anche per l'uso prima del rivestimento, laminazione e processi di deposizione, ed è altamente efficace nel trattamento di un'ampia gamma di supporti o materiali.

Il 75 OptiGlow sistema al plasma è simile al OptiGlow standard e ha una camera in alluminio più grande, 75 watt di potenza e la possibilità di utilizzare fino a due gas di input, come l'ossigeno o argon. Può essere utilizzato per la rimozione biologica e photoresist stripping.

SputterGlow sistema di deposizione per polverizzazione catodica

Una scelta perfetta per depositare una vasta gamma di dielettrici o metalli, con un massimo di tre obiettivi. Originariamente progettato per depositare Si 3 N 4 rivestimenti anti-riflettenti di celle solari in alternativa all'utilizzo PECVD, poiché il processo non richiede SputterGlow gas pericolosi quali SiH 4 per la deposizione di nitruro. Il sistema ha stepper robotica, stazioni riscaldati, e viene controllato con un lap-top computer.

Il proprietario magnetron planare genera un plasma di potenza bassa o alta, a seconda della necessità. Il SputterGlow è stato progettato per garantire l'integrità del processo di vuoto e di utilizzare una camera in alluminio (per mantenere i costi verso il basso).

Per saperne di più su SputterGlow

Sistemi ricostruiti

La ricerca Glow ha assunto la responsabilità a livello mondiale per il servizio per diverse unità più vecchie di Nordson MARZO (marzo Plasmod marzo Super Plasmod marzo PM-600 e marzo Jupiter sistemi RIE). Rimaniamo con la nostra competenza e offerta ricostruito marzo e Tegal sistemi al plasma. Date un'occhiata a quello ricostruito i sistemi che abbiamo da offrire .