Pulitori plasma, Incisori Plasma, Plasma e Ashers Sputter Deposition (PVD) i sistemi sono forniti da Research Glow. La ricerca bagliore produce il nuovo AutoGlow plasma pulito / incisore, il OptiGlow sistemi plasma e la SputterGlow deposizione per polverizzazione catodica (PVD) sistemi. La ricerca ha anche tenuto bagliore sopra le parti e il supporto in tutto il mondo per diversi sistemi al plasma anziani da Nordson MARZO (Plasmod, Super Plasmod, PM-600, Giove RIE) e costruisce reattori al plasma per diverse esigenze e dimensioni. Sappiamo che la maggior parte dei laboratori e le persone che acquistano sistemi al plasma richiedono una grande quantità di assistenza prima e dopo la vendita. Abbiamo la possibilità di eseguire i vostri campioni, e assistere con l'installazione del vostro sistema. La ricerca bagliore elaborerà CAMPIONI gratuito per i clienti che potrebbero voler acquistare i nostri sistemi.

AutoGlow Plasma sistema

Plasma Cleaner. Può essere usato a bassa potenza di 10 watt o fino a 300 watt, 13,56 MHz generatore stato solido, la sintonizzazione automatica, pressione lettura, eliminazione di azoto, ventilazione morbido, tre ingressi del gas ed è il marchio CE. Il AutoGlow viene fornito con una garanzia di 24 mesi. Perfetto per il trattamento di PDMS, la rimozione biologica o fotoresistenti rimozione.

Il sistema AutoGlow plasma viene utilizzato nelle fabbriche di produzione e laboratori progettati per fornire il medico, scientifico, educativo e microelettronica comunità con tecnologia al plasma ad un costo moderato. Include una garanzia di 2 anni.

Sistemi AutoGlow più grandi sono disponibili con camere di alluminio anodizzato per adattarsi alle esigenze dei Clienti. AutoGlow sistemi in grado di elaborare 200 mm (8 ") wafer.

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SputterGlow Sputter sistema di deposizione

Una scelta perfetta per depositare dielettrici o metalli con un massimo di tre obiettivi. Originariamente progettato per depositare Si 3 N 4 rivestimenti anti-riflesso sulle celle solari come alternativa all'uso PECVD-perché il processo SputterGlow non necessita di gas pericolosi come SiH 4 per la deposizione di nitruro. Il sistema ha stepper robotica, stazioni riscaldata, ed è controllata con un computer portatile.

La proprietaria magnetron planare genera un plasma con potenza bassa o alta a seconda delle necessità. Il SputterGlow è stato progettato per garantire l'integrità dei processi a vuoto e utilizzare una camera in alluminio (per mantenere i costi verso il basso).

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OptiGlow Plasma Systems

Utilizzato per la modifica della superficie al plasma e trattamento al plasma, l'attivazione di superficie. Prezzi inferiori ai 10.500 $ (USD), il robusto tavolo OptiGlow impianto al plasma è perfetto per applicazioni di produzione o di laboratorio. Facile da usare. Visualizzazione per la pressione della camera e lo stato del modulo.

Il sistema OptiGlow è il primo sistema al plasma a basso costo che può essere utilizzato per aumentare la bagnabilità e il comfort delle lenti a contatto e vari materiali. Il sistema al plasma OptiGlow è ideale per l'uso prima del rivestimento, laminazione e processi di deposizione, ed è altamente efficace nel trattamento di un'ampia gamma di supporti o materiali. Utilizzato in Bio MEMS e microfluidica.

Le 75 impianto al plasma OptiGlow è come il OptiGlow standard, ma con con 75 watt di potenza e la possibilità di utilizzare fino a due gas in ingresso, come l'ossigeno o argon.

leaning or E tching at 13.56 MHz. L'ACE OptiGlow è progettato per eseguire shing A, C o appoggiandosi tching E a 13,56 Mhz. L'ACE OptiGlow è progettato per un massimo di due ingressi gas e può essere utilizzato con i gas di tipo CF4. Camera di alluminio anodizzato e sia per le condizioni RIE o Plasma. Grande per un processo lungo e rimuovere gli strati dei colli o chip di semiconduttori.

OptiGlow ACE (pulizia, incenerimento, Acquaforte)

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Sistemi ricostruito

La ricerca bagliore ha preso le parti del mondo a livello di responsabilità per il servizio di più unità anziani da Nordson MARZO (marzo Plasmod marzo Super Plasmod marzo PM-600 e marzo Giove sistemi RIE). Rimaniamo con la nostra esperienza e offrire ricostruito marzo e Tegal sistemi al plasma. Date un'occhiata a quello ricostruito i sistemi che abbiamo da offrire .