AutoGlow Plasma Systems

Il sistema AutoGlow plasma è un reattore al plasma da tavolo chimica progettato per fornire alla comunità medica, scientifica, didattica e la produzione microelettronica con tecnologia al plasma ad un costo moderato. Il sistema è utilizzato nella produzione, nonché centri R & D. Usato per argon plasma, plasma di ossigeno, plasma coating, PDMS, plasma trattamento con ossigeno, foto resistere sverniciatura, applicazioni FA, rimozione Parylene, rimozione biologica e l'uso di laboratorio.

Università e aziende in tutto il mondo a trovare il sistema plasma AutoGlow la misura perfetta per le loro esigenze al plasma.

Il sistema AutoGlow plasma è il sistema più efficiente del suo genere sul mercato a causa della sua variabile 10 Watt a 300 Watt, 13,56 MHz generatore stato solido. Il sistema AutoGlow plasma è inoltre progettato in modo efficiente i gas di decomposizione introdotte al sistema di creazione di specie reattive che sarà presto pulire o modificare il campione. Sintonizzazione automatica e una lettura della pressione sono inclusi. Il AutoGlow può colpire un plasma a partire da 10 Watt!

Automatico / funzionamento a pulsante.

La ricerca Glow ha preso i migliori disegni dei vecchi sistemi, e aggiornato il sistema al plasma AutoGlow con le attuali tecnologie, compreso il nostro rilevatore di fase e di ampiezza di proprietà SimpleMatch RF di rete che consente una regolazione efficiente plasma e fornisce l'elaborazione veloce, senza la fatica di regolando costantemente a campione diverse carichi. La AutoGlow è molto affidabile e ha una garanzia di due anni! Moduli facilmente sostituibile del sistema sono: RF Generator, Network Partita RF, Plate Module Face (vedi sotto), Camera Quartz and Control Module Gas Per ulteriori dati e informazioni, si prega di cliccare sulle "Caratteristiche AutoGlow" a destra in questa pagina. .

Ecco ciò che un cliente recente aveva da dire sulla loro AutoGlow: "Tutto sta funzionando benissimo. E sbuffa proprio lungo come dovrebbe. Sono impressionato che possiamo quasi completamente cenere AZ4620 resistere a 125W in pochi minuti. Ho qualcuno di utilizzarlo anche per pretrattamento di PDMS prima dell'incollaggio. Funziona alla grande per questo. "
 
Il AutoGlow 200 sistema è progettato per un massimo di 200 mm o substrati wafer da 8 ", e può eseguire RIE o plasma trasformazione-a seconda di quale vettore campione usato. La camera di alluminio anodizzato può accontentare standard di O2, Ar o CF4 gas di tipo per l'incisione delle applicazioni. Il ben dimostrato elettronico, generatore RF, corrispondono rete e il controllo del gas è la stessa della AutoGlow norma sopra. Si prega di contattare la ricerca Glow per ulteriori informazioni sulla AutoGlow 200.
Il AutoGlow 200 ha la stessa carta stato diagnostico il AutoGlow che conferma che tutti i sub-moduli funzionano correttamente. Il sistema a destra sia
mostrato con l'optional spurgo di sfiato camera di azoto.
Il AutoGlow 200 può essere utilizzato per una varity di applicazioni di attivazione al plasma, la pulizia, la rimozione organico, pre-deposizione pulizia   nonché una varietà di applicazioni di incisione.
 
 
 
 
 

MIT ha un AutoGlow nel Centro Stata che viene utilizzato per la ricerca biomedica e vari microfluidica. Nella foto è un Geraldine Paulus, uno studente di dottorato in carica del AutoGlow al MIT Edificio 66 (Edificio Landau Lab).

 
 
 

"Rice University ha un AutoGlow nel Research Lab Halas. Il sistema viene utilizzato per la rimozione di polimero resiste per applicazioni in plasmonica e nanofotonica. Nell'immagine è Lisa Brown, uno studente di dottorato che usa il AutoGlow preparazione di campioni per superficie-enhanced spettroscopia molecolare. "

AutoGlow dell'Università di Harvard sistema nel Lab Gordon McKay. Il sistema viene utilizzato per la rimozione biologica, con modifica della superficie e serve le esigenze di diversi ricercatori che lavorano sulla ricerca del DNA e di sequenziamento del genoma umano. Nella foto è Gordon Whitlock, presidente di Research Glow.

Nella foto: la AutoGlow alla tecnologia dei microsistemi Lab al MIT. Questo AutoGlow viene utilizzato per la rimozione photoresist, la pulizia e la modifica della superficie. Questo laboratorio svolge attività di ricerca in MEMS, BioMEMS, nanotecnologie e fotonica.