Caratteristiche AutoGlow

Il sistema AutoGlow plasma ha l'elettronica dello stato solido, aggiornato opzioni di consegna del gas e la tecnologia che ci si aspetta da entrambi gli utenti ed il personale di sicurezza in tutto il mondo. Le dimensioni del più grande può ospitare una 6 "substrato ed è 160mm (ID) di diametro x 186,94 millimetri (ID) di profondità ed è fatto di quarzo alta purezza. Il sistema e la camera sono progettate per aumentare l'uniformità e ripetibilità rispetto ad altri sistemi da tavolo plasma.

Il sistema AutoGlow plasma è stato progettato sia per bassa potenza o il funzionamento ad alta potenza con una variabile 10-300 watt, 13,56 MHz generatore stato solido rendere il sistema AutoGlow plasma il sistema più efficiente del suo genere sul mercato. L'operatore può eseguire un processo a 10 watt o alto come 300 watt per il trattamento più aggressivo. La potenza può essere regolata in incrementi di 1 watt.

  • Piccolo, tavolo di sistema
  • Variabili da 10 a 300 Watt a 13,56 MHz per l'elaborazione dolce o più aggressiva
  • Camera di quarzo ad alta purezza
  • Elettronica-no allo stato solido tubi
  • Proprietary rivelatori a semiconduttori per la regolazione rapida
  • Sintonizzazione automatica per la lavorazione del plasma efficace
  • Pressione lettura per l'elaborazione facile
  • Timer
  • Visualizza potenza diretta e riflessa e set point RF
  • AutoTell scheda diagnostica per uptime migliore
  • Camera di distribuzione del gas per una migliore uniformità
  • Sfiato morbido per evitare di scoppio
  • Optional Modulo di controllo a gas con un massimo di tre ingressi di gas
  • Plasma uniforme per risultati veloci ed efficienti
  • Proprietaria RF generatore e rete partita per ridurre al minimo la potenza riflessa indipendentemente dal livello di potenza
  • SimpleMatch rete di adattamento per la regolazione rapida
  • Protezione UV incorporata la porta vista frontale
  • Sistema completamente caratterizzato per i risultati ripetibili
  • Facile da capire, facile da usare
  • Tutta l'elettronica è su due plug-in schede per la riparazione facile
  • Start-up supporto
  • Start-up il video
  • Manuale completo e documentazione
  • 24 mesi di garanzia

Il disegno della AutoGlow inizia con la lamiera utilizzato nel sistema. Lamiera viene trattata e mascherato per assicurare la corretta progettazione RF.
L'armadio metallico viene mascherato in modo da aumentare il metallo-metallo contatto ... per eliminare le perdite RF. Ciò significa che il AutoGlow colpirà un plasma rapidamente, indipendentemente dal carico campione. La corretta sintonizzazione RF inizia con il design del cabinet.
Il AutoGlow è modulare. Il generatore RF può essere facilmente rimosso dal retro del sistema. La camera può essere facilmente rimosso. Tutta l'elettronica di sistema sono su un bordo sostituibile (attaccato al pannello frontale). Gli unici collegamenti richiesti sono per elettrica, sotto vuoto e gas (tutti mostrato). Basta collegare la spina CA, collegare la pompa per vuoto e il gas ... e si è pronti a trattare i campioni.

La scheda diagnostica conferma che tutti i moduli funzionano correttamente.

 

 

 

 

 

La rete corrispondenza RF è estremamente veloce i condensatori ruotare di 360 gradi, che permette di sintonizzare la AutoGlow estremamente veloce indipendentemente dal carico all'interno della camera di trattamento.

L'elettrodo superiore è alimentato e l'elettrodo inferiore è a terra, che produce un processo chimico. Il AutoGlow può essere eseguito da un minimo di 10 watt per la lavorazione delicata, o come alto 300 watt per l'elaborazione più aggressivo.

Tutta l'elettronica sono su una scheda elettronica. Questa scheda è montato al lato posteriore del pannello di controllo frontale. L'assemblea del pannello frontale può essere facilmente sostituito.