OptiGlow Plasma Systems

La ricerca Glow fornisce tre diversi tipi di sistemi OptiGlow plasma:

  • OptiGlow: Prezzo più basso. Per modificazione superficiale, utilizzando aria come gas di processo, un flussimetro, 100 kHz, 50 watt, camera di alluminio, senza necessità di sintonizzazione, timer automatico. Include una pompa interna vuoto. Pulsante, il funzionamento automatico.
  • OptiGlow 75:. Per la pulizia al plasma, il trattamento PDMS, l'attivazione, la modifica della superficie con aria, ossigeno, argon o azoto per l'elaborazione Ha due misuratori di portata, 100 kHz, 75 watt, senza necessità di sintonizzazione, timer automatico e camera di alluminio. Pompa per vuoto esterno (consigliamo l'olio Fomblin per l'elaborazione di ossigeno). Pulsante, il funzionamento automatico.
  • leaning, E tching (ACE). OptiGlow ACE: For A shing / attivazione, pendente C, E Tching (ACE). Camera di alluminio anodizzato, da 10 a 150 watt, sintonizzazione automatica a 13,56 MHz, due misuratori di portata, al plasma o stile di elaborazione RIE con l'ossigeno, argon o chimica CF4. Ideale per incisione pacchetti IC o altri applicaitons incisione / pulizia. Ha supporto del campione con due ripiani ... ripiano superiore per il RIE, ripiano di fondo per il trattamento al plasma. Progettato per lungo tempo di elaborazione-pulsante, il funzionamento automatico.

L'ACE OptiGlow può essere usato per rimuovere residui di plastica da IC per Failure Analysis. Ecco alcuni dati dal nostro cliente, JHT Instruments, LLC.

Commenti dei JHT Instruments, LLC: dopo 1,5 ore di tempo di elaborazione alle seguenti condizioni: Unità in primo piano "scaffale" del supporto del campione, pressione in camera di 100mt, 100W di potenza in avanti. Un LSO rimosso dalla superficie dell'unità con IPA. Le immagini che seguono illustrano il processo dall'unità confezionato fino alla superficie desiderata cancellato morire. L'ACE sembra essere abbastanza "user friendly" ed efficace.

A sinistra: post-polacco (morto poco visibile)
A destra: Post incenerimento 1,5 ore, 100 watt,
sulla parte superiore (RIE) scaffale.
 
OptiGlow:

Progettato per Air Plasma, trattamento al plasma, Contattare trattamento Lens, Bagnabilità Increase, Trattamento delle superfici e il sistema Plasma generale. Il robusto tavolo OptiGlow sistema al plasma è perfetto per applicazioni di produzione o di laboratorio. Il sistema OptiGlow plasma è il primo sistema di basso costo plasma progettato per aumentare il livello di bagnabilità e la comodità di lenti a contatto. Il OptiGlow viene anche usato per trattare materiale prima del rivestimento, laminazione o deposizione, ed è altamente efficace nel trattamento di un'ampia gamma di substrati o materiale. Maggiore energia superficiale di un materiale migliora le sue caratteristiche di adesione, consentendo così una migliore bonding, incollaggio, markability, verniciabilità, e rivestibilità.

  • Trattamento superficiale idrofilo
  • Aumentare gli effetti di adesione e capillare
  • Trattamento idrofilo di microcanali
  • Utilizzato in Bio MEMS e microfluidica
  • Controllo delle proprietà superficiali
  • Migliora il flusso elettroosmotico (EOF) di materiale vario
  • Trattamento di PDMS
  • Conferire caratteristiche di proteine ​​e cellule-repellente per alcuni materiali
  • Ideale per l'uso prima del rivestimento, i processi di laminazione o la deposizione
  • Pulisce, attiva prima della stampa o incollaggio

Idrofobo: Contatto materiale della lente senza trattamento OptiGlow plasma.

Il sistema OptiGlow plasma dotato di una camera in alluminio e un affidabile 100KHz, generatore a bassa frequenza RF. La pompa è incorporata nel sistema. Basta collegare il sistema al plasma OptiGlow e si è pronti da elaborare. Il sistema OptiGlow plasma è progettato per utilizzare l'aria ambiente come gas di processo.

Prezzo sotto $ 10.500 (USD), il sistema OptiGlow plasma è adatto per i laboratori di ottica, contattare i produttori di lenti e le università che lo trovano una misura perfetta per le loro esigenze al plasma, così come il loro budget.

Idrofilo: webabilty migliorata con il trattamento OptiGlow plasma.

Gas trattamento al plasma fornisce un metodo rapido, efficiente per la modificazione superficiale di lenti a contatto o polimeri e materiali diversi. OptiGlow trattamento al plasma può aumentare bagnabilità, migliora la lubrificazione, e consente la deposizione di materiali biocompatibili. Lenti a contatto trattamento al plasma è un'applicazione comune in cui viene ossidato la superficie della lente per creare una superficie idrofila lente che è resistente alla deposizione di proteine. Il processo al plasma permette di migliorare il comfort e più usura.

Camera

La camera di plasma, costruito con alto grado di alluminio 6061-T, è resistente agli agenti chimici e facile da pulire. L'alimentazione viene fornita al elettrodo superiore tramite un feed RF attraverso, e la camera di alluminio agisce come il terreno consentendo-trattamento al plasma uniforme.

Il sistema di controllo del modulo di monitor pressione della camera, pre-set di alimentazione e potenza effettiva. Per qualsiasi processo al plasma, è importante conoscere la pressione della camera di garantire un adeguato processo e ripetibile. Una pressione relativa camera viene visualizzato sulla parte anteriore del sistema.

Controllo di processo

Un misuratore è montato sulla parte anteriore del sistema di regolazione plasma OptiGlow gas facile e visualizzazione. Un solenoide interno si spegne il gas fuori dopo il processo è scaduta. Ciò consentirà di elaborazione di produzione ripetibile senza dover regolare continuamente il flusso di gas per successivi trattamenti al plasma. Pressione della camera è controllato dal flusso del gas nella camera. Come una protezione di sicurezza, gas di processo viene fatta fluire solo in alla camera di reazione, se tutti i dispositivi di blocco sono confermate.

Potenza e di rete di corrispondenza

Il sistema OptiGlow plasma è dotato di 100 KHz, 50 Watt Generatore di bassa frequenza e un armadio in corrispondenza dell'unità. No messa a punto è necessario e un forte bagliore plasma robusto viene generato automaticamente ad ogni run.

Sicurezza

Le caratteristiche standard includono un pulsante che termina di potenza RF e gas flow.Safety interblocchi impedire l'attivazione della potenza RF e il flusso del gas quando la porta della camera è aperta o se vengano rimossi. Il sistema OptiGlow plasma ha superato rigorosi test ed è marcato CE. Progettato per gli Stati Uniti o di International Power (110 o 230 VAC).