ניקוי פלזמה, Etchers פלזמה, Ashers פלזמה ו גמגום (PVD) מערכות הפקדת מסופקים על ידי מחקר זוהר. מחקר זוהר מייצרת החדש AutoGlow מנקה / חרט פלזמה, פלזמה מערכות OptiGlow ו SputterGlow גמגום (PVD) מערכות בתצהיר. מחקר זוהר גם השתלט על חלקים ותמיכה ברחבי העולם עבור מספר מערכות פלזמה מבוגר מ Nordson מרץ (Plasmod, סופר Plasmod, PM-600, יופיטר ורי) ובונה כורים פלסמה חדשה עבור דרישות וגדלים שונים. אנו מבינים כי רוב מעבדות לאנשים לרכוש מערכות פלזמה דורשים מידה רבה של סיוע לפני ואחרי המכירה. יש לנו את היכולת לרוץ דגימות שלך, ולסייע עם ההתקנה של המערכת שלך. מחקר זוהר יעבד דוגמיות חינם עבור לקוחות עשויים לרצות לרכוש את המערכות שלנו.

AutoGlow פלזמה מערכת

פלזמה מנקה. ניתן להשתמש ב חשמל נמוכה של 10 וואט או עד 300 וואט, גנרטור 13.56 MHz מצב מוצק, כוונון אוטומטי, לחץ לקריאה החוצה, לטהר חנקן, אוורור רך, שלוש כניסות גז הוא CE מסומן. AutoGlow מגיע עם אחריות 24 חודש. Perfect לטיפול PDMS, הסרת אורגני או צילום להתנגד ההסרה.

המערכת פלזמה AutoGlow משמש מפעלים לייצור כמו גם מעבדות תוכנן כדי לספק את הקהילה הרפואית, מדעית, חינוכית המיקרואלקטרוניקה עם טכנולוגיית הפלזמה במחיר בינוני. כולל אחריות לשנה 2.

מערכות AutoGlow מוגדלת זמינים עם חדרי אלומיניום כדי להתאים לדרישות של הלקוח. מערכות AutoGlow יכול לעבד 200 מ"מ (8 "), ופלים.

גלה עוד על AutoGlow

SputterGlow גמגום מערכת הפקדת

הבחירה המושלמת להפקיד דיאלקטריים או מתכות עם עד שלושה יעדים. במקור תוכנן להפקיד Si N 3 4 ציפוי אנטי רפלקטיבי על תאים סולריים כחלופה באמצעות PECVD, כי תהליך SputterGlow אינו מחייב גזים מסוכנים כגון SiH 4 בתצהיר ניטריד. המערכת כוללת צעד ברובוטיקה, תחנות מחוממת, והוא נשלט באמצעות המחשב הברכיים העליונה.

קנייני planar magnetron יוצר פלזמה עם צריכת חשמל נמוכה או גבוהה, בהתאם לצורך שלך. SputterGlow נועדה להבטיח תקינות תהליך ואקום ולנצל תא אלומיניום (כדי לשמור על עלות למטה).

גלה עוד על SputterGlow

OptiGlow פלזמה מערכות

משמש עבור שינוי פני פלזמה וטיפול פלזמה, הפעלת Surface. במחיר תחת $ 10,500 (דולר אמריקאי), יציב, שולחן בראש מערכת OptiGlow פלזמה מושלם עבור יישומים הייצור או במעבדה. קל לשימוש. הצגת ללחץ קאמרית מעמד מודול.

מערכת OptiGlow היא פלזמה first בעלות נמוכה המערכת יכולה לשמש להגדלת wettability והנוחות של עדשות מגע וחומרים שונים. מערכת פלזמה OptiGlow הוא אידיאלי לשימוש לפני ציפוי למינציה תהליכים בתצהיר, והיא יעילה מאוד בטיפול בכל מגוון רחב של מצעים או חומר. משמש ביו MEMS ו מיקרופלואידיקה.

מערכת 75 OptiGlow פלזמה היא כמו OptiGlow תקן, אבל עם עם 75 וואט ואת האפשרות להשתמש עד שני גזים קלט, כגון חמצן או ארגון.

leaning or E tching at 13.56 MHz. ACE OptiGlow נועד לבצע שינג, נשען C או E tching בשעה 13.56 מגהרץ. ACE OptiGlow מיועד עד שתי כניסות גזים ניתן להשתמש עם CF4 גזים סוג. אלומיניום קאמרית Anodized ועבור או התנאים ורי או פלזמה. נהדר עבור תהליך ארוך הסרת שכבות על חבילות או שבבי מוליכים למחצה.

OptiGlow ACE (, ניקוי ashing, תחריט)

גלה עוד על OptiGlow מערכות

הבנויה מערכות

מחקר זוהר לקח על עצמו את האחריות בכל רחבי העולם עבור החלקים והשירות ביחידות מבוגר בכמה מן Nordson מארס (מרץ Plasmod, מרץ סופר Plasmod, מרץ PM-600 ו - מרס יופיטר ורי מערכות). אנחנו נשארים עם המומחיות שלנו ולהציע מחדש במרץ Tegal מערכות פלזמה. תסתכל על מערכות מחדש מה שיש לנו להציע .