ניקוי פלזמה, Etchers פלזמה, Ashers פלזמה ו גמגום (PVD) מערכות הפקדת מסופקים על ידי מחקר זוהר. מחקר זוהר מייצרת AutoGlow פלזמה מערכות, OptiGlow פלזמה מערכות SputterGlow גמגום (PVD) מערכות בתצהיר. מחקר זוהר שהשתלט על החלקים ותמיכה ברחבי העולם עבור מספר מערכות ישנות יותר של פלזמה Nordson מרץ (Plasmod, סופר Plasmod, PM-600, יופיטר ורי) ובונה כורים פלזמה חדשים דרישות וגדלים שונים. אנו מבינים כי רוב מעבדות ואנשים הרוכשים מערכות פלזמה דורשים מידה רבה של סיוע לפני ואחרי המכירה. יש לנו את היכולת להפעיל דגימות שלך, ולעזור עם ההתקנה של המערכת. מחקר זוהר יעבד דוגמאות חינם עבור לקוחות אולי כדאי לרכוש את המערכות שלנו.

בחירת המערכת הנכונה:

OptiGlow-משתמשת באוויר החדר כגז בתהליך, 50 וואט, 100 kHz, חדר אלומיניום. עבור שינוי פני השטח. המערכת שלנו במחיר הנמוך ביותר תחת $ 11,000 (כולל משאבת ואקום).

OptiGlow 75 לשימוש עם חמצן או ארגון (גז אחר), 75 וואט, 100 kHz, חדר אלומיניום. עבור שינוי פני השטח, ניקוי פלזמה, טיפול prebond.

OptiGlow ACE, לשימוש עם חמצן, ארגון או פלואור (CF4) סוג גז. שני גז flowmeters, חדר אלומיניום. 10-150 וואט משתנה 13.56 MHz RF גנרטור, autotune. ורי או פלזמה עיבוד. לצורך ההפעלה, ashing, ניקוי תחריט. אידיאלי להסרת שכבות על ניתוח הכישלון, תחריט מגוון של סרטים.

AutoGlow-עד 3 גזים, חמצן, ארגון או גזים אחרים, תא קוורץ, 6 "מצעים, משתנה 10-300 וואט 13.56 MHz RF גנרטור, autotune. Capacitive מצמידים, הפעלה אוטומטית בלחיצת כפתור. משמש לניקוי פלזמה, prebond, סרטים תחריט, חומרים אורגניים הסרת, הסרת photoresist.

AutoGlow 200-200 יכול לעבד מצעים מ"מ (או 8 "ופלים). ורי או פלזמה עיבוד. עד 3 גזים, חמצן, ארגון או פלואור (CF4) גז מסוג 10-300 וואט משתנה 13.56 MHz RF גנרטור, autotune, חדר אלומיניום. משמש להפעלת ניקוי פלזמה, prebond, תחריט, סילוק חומרים אורגניים, הסרת photoresist.

AutoGlow פלזמה מערכת

פלזמה מנקה. מערכת זו שולחן העליונה ניתן להשתמש ב צריכת חשמל נמוכה של 10 וואט או עד 300 וואט, גנרטור 13.56 MHz מצב מוצק, כוונון אוטומטי, לחץ לקריאה החוצה, טיהור חנקן, אוורור רכה, שלוש כניסות גז הוא CE מסומן. AutoGlow מגיע עם אחריות 24 חודש. מושלמת לטיפול PDMS, הסרת אורגני או צילום להתנגד להסרה. יש תא קוורץ יכול לעבד עד 6 "(150 מ"מ) מצעים.

מערכת פלזמה AutoGlow משמש מפעלים לייצור כמו גם מעבדות, שנועד לספק את הקהילה הרפואית, מדעיים, חינוכיים המיקרואלקטרוניקה עם טכנולוגיית הפלזמה במחיר בינוני. כולל 2 שנות אחריות.

מערכות AutoGlow גדולים יותר זמינים עם חדרי אלומיניום כדי להתאים לדרישות של לקוחות (ורי או פלזמה עיבוד). בתמונה למטה הוא 200 AutoGlow. מיועד עד 200 מ"מ (8 ") מצעים או ופלים, CF4, O2 או אר גז, המערכת יכולה לשמש ורי או עיבוד פלזמה תלוי המוביל המדגם אתה משתמש. יש לו תא אלומיניום וניתן להשתמש בו עבור modificaiton, תחריט ashing או משטח.

למידע נוסף על AutoGlow

OptiGlow פלזמה מערכות  

shing, C leaning or E tching at 13.56 MHz. ACE OptiGlow נועד לבצע פלזמה ctivation, שינג, C או E הנוטה tching ב 13.56 MHz. ACE OptiGlow יש שתי כניסות גז וניתן לשימוש עם חמצן באוויר, או CF4 גזים סוג. יש לו תא אלומיניום והוא יכול לשמש גם ורי או פלזמה עיבוד. מצוין תהליך ארוך הסרת שכבות על חבילות או שבבי מוליכים למחצה. משמש ניתוח הכישלון, הסרת photoresist, ניקוי אורגניים, תחריט Parylene, טיפול פני השטח וכן שורה של יישומים אחרים.

מערכת OptiGlow רגיל משמש שינוי פני פלזמה וטיפול פלזמה, הפעלת פני השטח. במחיר תחת $ 10,500 (דולר), יציב, בטבלה העליונה מערכת OptiGlow פלזמה מושלם עבור יישומים הייצור או במעבדה. קל לשימוש עם תצוגה של תא הלחץ והמעמד מודול.

מערכת OptiGlow היא פלזמה 1 נמוך עלות המערכת, שניתן להשתמש בהם להגברת wettability והנוחות של עדשות מגע. מערכת פלזמה OptiGlow הוא גם אידיאלי לשימוש לפני ציפוי למינציה תהליכים בתצהיר, והיא יעילה מאוד בטיפול בכל מגוון רחב של מצעים או חומר.

מערכת 75 OptiGlow פלזמה דומה OptiGlow רגיל יש חדר אלומיניום גדול יותר, 75 וואט ואת האפשרות להשתמש עד שני גזים קלט, כגון חמצן או ארגון. ניתן להשתמש להסרת אורגני photoresist הפשטת.

SputterGlow גמגום מערכת הפקדת

הבחירה המושלמת להפקיד מגוון רחב של דיאלקטריים או מתכות, עם עד שלושה יעדים. במקור תוכנן להפקיד Si N 3 4 ציפוי אנטי רפלקטיבי על תאים סולריים כחלופה שימוש PECVD, כי תהליך SputterGlow אינו מחייב גזים מסוכנים כגון SIH 4 להפקדה ניטריד. המערכת כוללת צעד רובוטיקה, תחנות מחוממות, והוא נשלט באמצעות המחשב הברכיים העליונה.

קנייני planar magnetron מייצר פלזמה עם צריכת חשמל נמוכה או גבוהה, בהתאם לצרכיך. SputterGlow נועד להבטיח תקינות תהליך ואקום ולנצל קאמרית אלומיניום (כדי לשמור על עלות למטה).

למידע נוסף על SputterGlow

מחדש מערכות

מחקר זוהר לקח על עצמו את האחריות בכל העולם עבור החלקים והשירות עבור יחידות ישנות יותר כמה מן Nordson מרץ (מרץ Plasmod, מרץ סופר Plasmod, מרץ PM-600 ומרץ צדק ורי מערכות). אנחנו נשארים עם המומחיות שלנו ולהציע מחדש מרץ Tegal מערכות פלזמה. תסתכל על מערכות מחדש מה שיש לנו להציע .