AutoGlow פלזמה מערכות

מערכת פלזמה AutoGlow היא פלזמה השולחן כימיה הכור נועד לספק את הקהילה הרפואית, מדעי, חינוכי ייצור מיקרואלקטרוניקה עם טכנולוגיית הפלזמה במחיר בינוני. המערכת משמשת בייצור, כמו גם מרכזי מו"פ. משמש ארגון פלזמה, פלזמה חמצן, ציפוי פלזמה, PDMS, פלזמה טיפול בחמצן, צילום להתנגד הפשטה, יישומי ה-FA, הסרת Parylene, הסרת אורגני ושימוש במעבדה.

אוניברסיטאות וחברות ברחבי העולם למצוא את מערכת פלזמה AutoGlow התאמה מושלמת לצרכי פלזמה שלהם.

מערכת פלזמה AutoGlow היא המערכת היעילה ביותר מסוגו בשוק בגלל ואט המשתנה שלה 10 עד 300 ואט, 13.56 גנרטור MHz מצב מוצק. מערכת פלזמה AutoGlow נועד גם ביעילות גזים פירוט שהוכנסו למערכת יצירת מינים תגובתי כי מהר מאוד לנקות או לשנות את המדגם. כוונון אוטומטי readout לחץ כלולים. AutoGlow יכול להכות פלזמה נמוך כמו 10 וואט!

אוטומטית / בלחיצת כפתור הפעולה.

מחקר זוהר לקח את העיצובים הטובים ביותר של המערכות הישנות, ומעודכן במערכת פלזמה AutoGlow עם הטכנולוגיה הנוכחית, כולל קניינית גלאי שלנו בשלב העוצמה SimpleMatch RF רשת המאפשר כוונון פלזמה יעיל מספק עיבוד מהיר בלי בעיות כל הזמן להסתגל מדגם שונות המון. AutoGlow הוא אמין מאוד ויש לו אחריות של שנתיים י מודולים replaceble בקלות במערכת הם: RF גנרטור, רשת RF התאמה, צלחת מודול פנים (ראו להלן), לשכת קוורץ ובקרה מודול גז יותר נתונים ומידע, אנא לחץ על "תכונות AutoGlow" מימין בדף זה. .

הנה מה הלקוח האחרון היה לומר על AutoGlow שלהם: "הכל עובד בסדר. זה פשוט מטרטרת ומתקדמת כמו שצריך. אני מתרשם שאנחנו יכולים כמעט באופן מלא אפר AZ4620 להתנגד בכל 125W בעוד כמה דקות. יש לי מישהו גם משתמש בו עבור טיפול מקדים של PDMS לפני מליטה. עובד נהדר בשביל זה. "
 
מערכת 200 AutoGlow מיועד עד 200 מצעים מ"מ או 8 "ופלים, והוא יכול לבצע ורי או פלזמה עיבוד בהתאם המוביל המדגם. חדר אלומיניום יכול accomidate רגיל O2, AR או CF4 גזים סוג של תחריט יישומים. גנרטור הוכח גם אלקטרוניים, RF, שיתאים לרשת ושליטה הגז זהה AutoGlow תקן לעיל. אנא צור קשר מחקר זוהר לקבלת מידע נוסף על AutoGlow 200.
AutoGlow 200 יש כרטיס באותו מצב כמו אבחון AutoGlow אשר מאשר כי כל תתי המודולים עובדים כראוי. המערכת מימין היא
מוצג עם טיהור חנקן אופציונלי תא האוורור.
AutoGlow 200 יכול לשמש עם מבחר של יישומים מ ההפעלה פלזמה, ניקוי, הסרת אורגני, בתצהיר לפני ניקוי   כמו גם מגוון של יישומים תחריט.
 
 
 
 
 

MIT יש AutoGlow במרכז Stata המשמש ביו שונים מחקר מיקרופלואידיקה. בתמונה הוא פאולוס ג'רלדין, דוקטורנט אחראי על AutoGlow ב-MIT בניין 66 (בניין לנדאו מעבדה).

 
 
 

"אוניברסיטת רייס יש AutoGlow ב חלס מחקר מעבדה. המערכת משמשת להסרת פולימר מתנגד עבור יישומים plasmonics ו nanophotonics. בתמונה היא ליסה בראון, דוקטורנטית מי שמשתמש AutoGlow להכין דוגמאות של ספקטרוסקופיה משטח משופרת מולקולרית. "

AutoGlow מערכת של אוניברסיטת הרווארד ב מקיי גורדון מעבדה. המערכת משמשת להסרת אורגני, שינוי פני ומשרתת את הצרכים של מספר חוקרים עובדים על מחקר ה-DNA ואת רצף הגנום האנושי. בתמונה הוא גורדון ויטלוק, נשיא מחקר זוהר.

בתמונה הוא AutoGlow ב Microsystems טכנולוגיה מעבדה ב-MIT. AutoGlow זה משמש להסרת ניקוי photoresist, ושינוי פני השטח. מעבדה זו עושה מחקר MEMS, BioMEMS, ננוטכנולוגיה Photonics.