OptiGlow פלזמה מערכות

מחקר זוהר מספק שלושה סוגים שונים של OptiGlow פלזמה מערכות:

  • OptiGlow: המחיר הנמוך ביותר. עבור שינוי פני השטח, תוך שימוש באוויר כגז את התהליך, flowmeter 1, 100 kHz, 50 וואט, חדר אלומיניום, לא נדרש כוונון, טיימר אוטומטי. כולל משאבת ואקום פנימי. בלחיצת כפתור, פעולה אוטומטית.
  • OptiGlow 75:. לניקוי פלזמה, טיפול PDMS, הפעלה באמצעות שינוי פני השטח, אוויר וחמצן, ארגון או חנקן לעיבוד יש שני flowmeters, 100 kHz, 75 וואט, ללא כוונון הנדרש, טיימר אוטומטי תא אלומיניום. משאבת ואקום חיצוני (מומלץ שמן Fomblin לעיבוד חמצן). בלחיצת כפתור, פעולה אוטומטית.
  • leaning, E tching (ACE). OptiGlow ACE: עבור שינג / הפעלה, C סומך, E tching (ACE). אלומיניום קאמרית Anodized, 10 עד 150 וואט, אוטומטית MHz 13.56 כוונון, שני flowmeters, פלזמה או עיבוד ורי בסגנון עם חמצן, ארגון או כימיה CF4. אידיאלי תחריט חבילות משולבים או אחרים applicaitons תחריט / ניקוי. יש בעל המדגם עם שני מדפים ... המדף העליון של ורי, המדף התחתון לעיבוד פלסמה. מיועד כפתור זמן עיבוד בזמן הדחיפה, הפעלה אוטומטית.

ACE OptiGlow ניתן להשתמש כדי להסיר שאריות פלסטיק מזה של IC על ניתוח הכישלון. הנה כמה נתונים של לקוחות שלנו, JHT מכשירים, LLC.

הערות של מכשירים JHT, LLC: לאחר 1.5 שעות של זמן עיבוד על התנאים הבאים: היחידה על "המדף" בראש של בעל המדגם, הלחץ תא 100mT, הכוח קדימה 100W. Lso לנקות את פני השטח של היחידה עם IPA. התמונות הבאות ממחישות את התהליך מיחידת ארוז דרך אל פני השטח הרצוי פינה למות. ACE נראה די "ידידותית למשתמש" ויעיל.

משמאל: אחרי פולין (למות גלוי קלות)
מימין: הודעה על 1.5 שעות ashing, 100 וואט,
על המדף (ורי) למעלה.
 
OptiGlow:

מיועד האוויר פלזמה, טיפול פלזמה, צור טיפול עדשה, Wettability גידול, טיפול פני השטח מערכת פלזמה כללי. יציב, בטבלה העליונה מערכת OptiGlow פלזמה מושלם עבור יישומים הייצור או במעבדה. מערכת פלזמה OptiGlow היא פלזמה 1 נמוך עלות המערכת מיועדת להגדיל את רמת wetability והנוחות של עדשות מגע. OptiGlow משמש גם לטיפול החומר לפני ציפוי למינציה, או בתצהיר, והיא יעילה מאוד בטיפול בכל מגוון רחב של מצעים או חומר. אנרגיה פני מוגבר של החומר משפר את תכונות ההידבקות שלו, ובכך לאפשר מליטה הדבקה משופרת,, markability, paintability, ו coatability.

  • משטח הידרופילי טיפול
  • הגדל את תופעות הדבקה ו נימי
  • טיפול הידרופילי של ערוצים מיקרו
  • משמש ביו MEMS ו מיקרופלואידיקה
  • שליטה על מאפייני פני השטח
  • משפר את זרימת electroosmotic (EOF) של חומר שונים
  • טיפול PDMS
  • להקנות חלבון של התא דוחה תכונות של חומרים מסוימים
  • אידיאלי לשימוש שקדמו ציפוי למינציה, תהליכים או בתצהיר
  • מנקה, מפעיל לפני ההדפסה או התקשרות

הידרופובי: צור קשר עם חומר העדשה ללא טיפול פלזמה OptiGlow.

מערכת פלזמה OptiGlow כולל חדר אלומיניום אמין 100KHz, מחולל RF בתדר נמוך. משאבת מובנה בתוך המערכת. כל שעליך לעשות הוא לחבר את מערכת פלזמה OptiGlow ואתה מוכן לעבד. מערכת פלזמה OptiGlow תוכנן להשתמש באוויר החדר כגז את התהליך.

במחיר תחת $ 10,500 (דולר), מערכת פלזמה OptiGlow מתאים מעבדות אופטיות, פנה ליצרני עדשות ואוניברסיטאות אשר ימצאו אותה התאמה מושלמת לצרכי פלזמה שלהם, כמו גם התקציב שלהם.

הידרופילי: webabilty משופרת עם טיפול פלזמה OptiGlow.

טיפול בגז פלזמה מספק שיטה מהירה, יעילה לשינוי פני השטח של עדשות מגע או פולימרים שונים וחומרים. OptiGlow פלזמה עיבוד יכול להגדיל wetability, משפר lubricity, ומאפשר בתצהיר של ביו חומרים תואמים. צור קשר עם טיפול העדשה פלזמה הוא יישום נפוץ שבו משטח העדשה הוא מתחמצן, כדי ליצור משטח העדשה הידרופילי כי הוא עמיד בפני בתצהיר חלבון. תהליך הפלזמה מאפשר נוחות משופרת ללבוש יותר.

תא

תא פלזמה, בנוי כיתה אלומיניום גבוהה 6061-T, הוא עמיד בפני כימיקלים וקל לניקוי. הכוח מסופק האלקטרודה העליונה באמצעות הזנה דרך RF, וחדר אלומיניום משמש קרקע המאפשר עיבוד פלזמה אחיד.

מודול בקרת המערכת של צגים לתא הלחץ, שנקבע מראש כוח ועוצמה בפועל. לכל תהליך פלזמה, חשוב לדעת את הלחץ בתא כדי להבטיח הליך תקין זה הדיר. הלחץ בתא יחסית מוצגת על החלק הקדמי של המערכת.

בקרת תהליכים

Flowmeter הוא רכוב על החלק הקדמי של מערכת פלזמה OptiGlow להתאמת גז צפייה נוחים. סולנואיד הפנימי יהיה לסגור את הגז לאחר תהליך יש שהוקצב. זה יאפשר עיבוד הייצור הדיר בלי הרף להתאים את זרימת הגז טיפולים פלזמה הבאים. בלחץ לשכת נשלטת על ידי זרימה של גז לתוך החדר. כמו הגנה על ביטחון, גז תהליך מותרת רק לזרום אל חדר התגובה אם כל משתלב יאושרו.

כוח התאמת רשת

מערכת פלזמה OptiGlow מצויד 100 kHz, 50 וואט מחולל בתדר נמוך וכן מובנים בהתאמת היחידה. כוונון לא הכרחי זוהר חזק, פלזמה חזקים נוצר באופן אוטומטי על כל הריצה.

בטיחות

תכונות סטנדרטיות כוללות כפתור מסתיימת הספק RF ו flow.Safety גז משתלב למנוע הפעלה של כוח ה-RF ואת זרימת הגז כאשר דלת החדר פתוחה או אם מכסה יוסרו. מערכת פלזמה OptiGlow עבר בדיקות מחמירות והוא CE מסומן. עוצב עבור ארה"ב או כוח בינלאומי (110 או 230 וולט).