הפשטה של ​​photoresist

מערכת פלזמה AutoGlow יכול לשמש הפשטה של ​​photoresist. רוב המשתמשים להשתמש פלזמה חמצן להסיר photoresist מתוך מגוון של סוגי ופלים (סיליקון, GaAs, סיליקון קרביד, מצעים סיליקון ניטריד). עיצוב אוטומטי פלזמה AutoGlow של המערכת יאפשר הפעלה קלה ללא השגחה.

Ashing בטמפרטורה נמוכה הוא אמצעי יעיל של הכנת דוגמאות למגוון רחב של שיטות אנליטיות. פלזמה חמצן יהיה בעדינות לחמצן חומר אורגני משאיר inorganics מאחור. דוגמאות כגון רקמת צמח או בעל חיים ניתן ashed לעזוב את מבנה תלת מימדי שלם של מיקרוסקופ ניתוח. שיעורי Ashing כ 1 גרם לשעה, כך מערכת פלזמה AutoGlow אוטומטי המנגינה תכונה הוא גם מתאים פעולה ללא השגחה. מערכת פלזמה AutoGlow ניתן להשתמש לניקוי תאים הילוכים, חלונות שקופיות מיקרוסקופ.