SputterGlow גמגום מערכת הפקדת

מערכת סרט דק, גמגום, PVD, בתצהיר סרט דק, ציפוי ואקום, מתכתי או הפקדת דיאלקטרי סרט דק. מחקר זוהר SputterGlow היא מערכת גמישה גמגום בתצהיר שנועד לעיבוד פרוסות 200 מ"מ, 156mm צילומי 156mm תאים סולריים או ופלים, ובכלל קטנים פיסות ופלים. SputterGlow יכול להכיל עד שלוש תחנות תהליך להחלפה (בכל תחנה ניתן להגדיר עבור חימום, גמגום בתצהיר או גמגום תחריט). SputterGlow תוכנן במקור להפקיד Si N 3 4 ציפויים antireflective על תאים פוטו וניתן להשתמש בו כדי גמגום ההפקדה מגוון רחב של דיאלקטריים או מתכות.

מהנדסים פוטו מצאו SputterGlow להיות אלטרנטיבה מצוינת הפקדת פלזמה משופרת אדים כימיים (PECVD) כי תהליך SputterGlow אינו מחייב silane (SIH 4) בתצהיר ניטריד.

יחד עם עלות עצומה חיסכון של לא לדרוש סיוע הבטיחות יקר או מכשולים, הרבה חוקרים חשים יש יתרונות חזקים באמצעות הסרט גמגם עבור פסיבציה הסופית / ציפוי אנטי רפלקטיבי, וכתוצאה מכך תא פוטו יעילות גבוהה יותר. SputterGlow תוכנן על ידי ג'ון Reche. רקע על ג'ון Reche אנא לחץ על "מי אנחנו" באתר זה.

גמישות

עם שלוש תחנות קאמריים, SputterGlow יכול לשמש למגוון צרכים עיבוד. תחנות בודדות ניתן להשתמש לסירוגין על, חימום המקרטעת או חריטה עם בחירה נכונה של אופציות רכישה, או שערכנו ושיפצו אותה במועד מאוחר יותר. SputterGlow הוא הבחירה המושלמת עבור מחקר או נמוכות ייצור יישומים נפח.

לשכת Integrity / עלות

אבק בדיקה

SputterGlow נועד להבטיח תקינות תהליך ואקום ולנצל קאמרית אלומיניום (כדי לשמור על עלות למטה). החדר היה דליפת הליום נבדקו כדי 6.5 x 10 -10 mbar עם כל היציאות חסומות, (4.8 x 10 -10 Torr).

חדר מותאם אישית אלומיניום מעוצב המאפשר הפחתת מחיר 3X בהשוואה חדר נירוסטה ברמה זהה. SputterGlow יכול לפעול מכוח נמוך ביותר של 25 וואט (עיבוד פחות אגרסיבי), עד 1 כ"ס עבור אגרסיבית יותר גמגום בתצהיר.

חדר מותאם אישית אלומיניום מעוצב המאפשר הפחתת מחיר 3X בהשוואה חדר נירוסטה ברמה זהה. לשכת הוא 34 "בקוטר x 11" גבוה.

קנייני עיצוב

קנייני planar magnetron משמש להפקת פלזמה. זה עיצוב התוצאות לכל החיים זמן רב יותר מהיעד המקרטעת, ואחידות בתצהיר משופרת על פני המצע. מחקר זוהר קנייני planar magnetron יהיה גם משופר שיעורי המקרטעת והעברת חום נמוך למצע.

מחשב מחשב בקרה

ידני או Lap-Top שליטה במחשב

מעבד מוטבע שולטת מנועים של מערכת התחבורה רקיק, עמדת כנים רקיק, פתיחת השסתומים אבק וגז, וכו המשתמש שולט על תהליך הדחה על ידי הורדת מתכון מהמחשב הנייד האישי שלהם (לא מצורף). מעבד מוטבע מחוברת למחשב הנייד דרך יציאת USB. המשתמש יכול להתאים את תהליך משלהם עם תוכנית מחקר זוהר רצף קניינית, או לבחור כל התהליך מראש, כי כבר הורדו למחשב שלהם.

ספקי כוח

SputterGlow יכול להיות מוגדר עם RF, DC או פעמו ספקי כוח DC. SputterGlow ניתן להפקיד מגוון של חומרים דיאלקטריים ..., מוליכים למחצה, מתכות וחומרים מגנטיים. פעמו DC ניתן להשתמש במקום אספקת RF עם יתרון של ביטול רשת כוונון. אספקת DC יכול לציין אם מתכות או חומרים מגנטיים יש גמגם בלבד.