SputterGlow תכונות

  • תגובתי גמגום בתצהיר של Si N 3 4 או סרטים אחרים
  • מבטל הצורך גז silane
  • קל להקל במעבדה, אין גזים מסוכנים דרושה
  • עד שלושה יעדים
  • הפקדה דיאלקטריים או מתכות
  • 200 מ"מ ופלים (או יותר) או 156 מ"מ x 156 מ"מ השמש תאים
  • אפשרויות חימום (עד 400 מעלות צלזיוס)
  • 1200 וואט, 13.56 MHz RF גנרטור
  • כוונון אוטומטי
  • טורבו וגיבוי משאבה
  • קירור מים Magnetron יורקת
  • צעד טיפול תשתית מבוקרת
  • מחשב או שליטה ידנית של מחוונים
  • השליטה MFC של גזים
  • אבחון LED

אפשרויות

  • המצע הטיה
  • RGA
  • הסירקולציה המחודשת קירור היעד
  • Viewport Windows

כל מערכות SputterGlow מגיע עם מדריך 12 חודשים, האחריות של הבעלים, וידאו על התקנה נכונה של המערכת ותפעול. מחקר הזוהר תספק גם באתר שירות תמיכה שדה להתחיל של המערכת.

לקבלת מידע נוסף נא להתקשר זוהר המחקר ארה"ב 480-621-8405 או שלח לנו דוא"ל .