リビルトシステム
テストとサンプル
グローの研究は、契約ベースで新規または再構築システムの最終的な購入に興味を持ってクライアントのサンプルを実行します。 お問い合わせ詳細については、。お問い合わせ
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12014 S.第三十五のCt。
フェニックス、アリゾナ州。 85044
米国電話番号：
480-621-8405メールアドレス：
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すべてプラズマのニーズに
グローの研究は、我々の新しいプラズマシステムに古い月のプラズマシステムと世界中のお客様のために私たちの長期的なサポートの支援を大きな誇りを持っています。
我々は、様々な要件やサイズについては、原子炉を提供する当社の能力に誇りを持っています。
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AutoGlowとOptiGlowはグロー研究所の登録商標です。
プラズマクリーナー、プラズマエッチャ、プラズマAshersと蒸着（PVD）システムをスパッタは、グローの研究によって提供されています。 グロー研究はAutoGlowプラズマシステムを製造し、OptiGlowプラズマシステムとSputterGlowは、蒸着（PVD）システムをスパッタ。 グローの研究はノードソンMARCH（Plasmod、スーパーPlasmod、PM-600、木星RIE）からいくつかの古いプラズマシステム用の部品と世界的なサポートを引き継ぎ、様々な要件や大きさのための新しいプラズマ反応器を構築しています。 我々は、ほとんどのラボやプラズマシステムを購入する人は販売前と後の支援を大いに必要とすることを理解しています。 私達はあなたのサンプルを実行すると、お使いのシステムのインストールを支援する能力を持っています。 グローの研究は私たちのシステムを購入することができますお客様のために無料サンプルを処理します。
適切なシステムを選択：
プロセスガスとして室内の空気、50ワット、100 kHzの、アルミチャンバーをOptiGlow利用します。 表面改質のために。 11000ドルの下で私たちの最低価格のシステム（真空ポンプを含む）。
OptiGlow 75の酸素またはアルゴン（および他のガス）、75ワット、100 kHzの、アルミチャンバーで使用する。 表面改質、プラズマ洗浄、prebond治療のために。
OptiGlow ACE-の酸素、アルゴン又はフッ素（CF4）タイプのガスを使用。 二つのガス流量計、陽極酸化アルミニウムチャンバー。 変数10〜150ワット13.56MHzのRF信号発生器、自動チューニング。 RIEまたはプラズマ処理。 活性化のため、洗浄やエッチング、アッシング。 映画の様々なエッチング、故障解析のために層を除去するのに理想的です。
AutoGlowアップ3ガス、酸素、アルゴンまたは他のガス、石英チャンバー、6 "基板、変数10〜300ワット13.56MHzのRF信号発生器、オートチューンへ。 容量結合、プッシュボタン自動運転。 フォトレジストを除去し、有機物を除去し、膜をエッチング、プラズマクリーニング、prebondに使用されます。
AutoGlowは200缶200ミリメートル基板（または8 "ウェーハ）を処理します。 RIEまたはプラズマ処理。 最大3つのガス、酸素、アルゴン又はフッ素（CF4）タイプのガス、変数10〜300ワット13.56MHzのRF信号発生器、オートチューン、アルマイト室。 、エッチング有機物を除去し、フォトレジストを除去する、プラズマ洗浄、活性化、prebondに使用されます。
AutoGlowプラズマシステム
プラズマクリーナー 。 このテーブルトップシステムは、10ワットまたは最大300ワット、13.56MHzのソリッド·ステート·ジェネレータ、自動調整、圧力読み出し、窒素パージ、柔らかい通気、3つのガス入力とCEマーキングの低消費電力で使用することができます。 AutoGlowは24ヶ月の保証が付属しています。 PDMS、有機物除去やフォトレジスト除去の治療に最適です。 石英チャンバーを持っており、6 "（150 mm）の基板に処理することができます。
AutoGlowプラズマシステムは、 生産工場で使用されているだけでなく、適度なコストでプラズマ技術で、医療、科学、教育、マイクロコミュニティを提供するために、ラボは設計された。2年間の保証が含まれています 。
大きいAutoGlowシステムがお客様の要件（RIEまたはプラズマ処理）に合うように陽極酸化アルミチャンバーを用意しています。 下図AutoGlow 200です。 最大200 mm（8 "）基板やウェーハに 、CF4用に設計され、O2またはArガスは、システムが使用するサンプルのキャリアに応じて、RIEまたはプラズマ処理に使用することができます。 それは陽極酸化アルミニウムチャンバを有し、エッチング、アッシング又は表面modificaitonに使用することができます。
AutoGlowについての詳細を調べる
OptiGlowプラズマシステム
shing, C leaning or E tching at 13.56 MHz. OptiGlow ACEは、プラズマ13.56 MHzでtching ctivation、誠、C寄りかEを実行するように設計されています。 OptiGlow ACEは2つのガス入力があり、空気、酸素、またはCF4型ガスで使用することができます。 それは陽極酸化アルミニウムチャンバを有し、RIEまたはプラズマ処理のいずれかに使用することができます。 パッケージや半導体チップ上で長いプロセスと除去層に最適です。 パリレン、表面処理や他のアプリケーションのホストをエッチング、有機物を洗浄、フォトレジストを除去し、故障解析に使用されます。
標準OptiGlowシステムは、 プラズマ表面改質、プラズマ処理、表面活性化のために使用されます。 10500ドル（USD）で価格は、頑丈な、テーブルトップOptiGlowプラズマシステムは、生産やラボ·アプリケーションに最適です。 チャンバ圧力とモジュールのステータスの表示と使いやすい。
OptiGlowシステムは、コンタクトレンズの濡れ性と快適性を高めるために使用できる最初の低コストのプラズマ·システムです。 OptiGlowプラズマシステムは、ラミネートと堆積プロセス、コーティングする前に、使用に適しており、基板や材料の広い範囲の治療に非常に効果的です。
OptiGlow 75プラズマシステムは、標準のOptiGlowに似ており、大規模なアルミニウムチャンバを有し、例えば、 酸素やアルゴンなどの電源、2つの入力ガスまで使用するオプションの75ワット、有機物除去およびストリッピングフォトレジストに使用できます。
SputterGlowは、蒸着システムをスパッタ
最大3つのターゲットと、誘電体または金属の広い範囲を堆積するのに最適な選択肢。 もともとSputterGlowプロセスが窒化物堆積のためのそのようなSiH 4のように危険なガスを必要としないプラズマCVD-ために使用する代わりに、太陽電池のSi 3 N 4の反射防止膜を堆積させるために設計されています。 システムは、ステッピングロボット、加熱ステーションを持っており、ラップトップコンピュータで制御されます。
独自のプレーナマグネトロンはあなたの必要性に応じて、ローまたはハイパワーでプラズマを生成します。 SputterGlowは、プロセス真空の整合性を確保して（コストを抑えるために）アルミチャンバーを利用するために設計されています。
SputterGlowについての詳細を調べる
リビルトシステム
グローの研究はノードソンMARCH（3月Plasmod月スーパーPlasmod月PM-600と月木星RIEシステム）からいくつかの古いユニットの部品およびサービスの世界的な責任を引き継ぎました。 我々は、3月とテガルプラズマシステム再構築のノウハウとオファーをご利用いただけます。 私たちが提供しなければならないシステムを再構築するかを見てみましょう 。