プラズマクリーナー、プラズマエッチャ、プラズマAshersと蒸着（PVD）システムをスパッタは、グローの研究によって提供されます。 グローの研究は、新しいAutoGlowのプラズマクリーナー/エッチャー、OptiGlowプラズマシステムを製造し、SputterGlowは堆積（PVD）システムをスパッタ。 グローの研究はまた、ノードソンMARCH（Plasmod、スーパーPlasmod、PM - 600、木星RIE）からいくつかの古いプラズマシステム用の部品と世界的なサポートを引き継ぎ、様々な要件や大きさのための新しいプラズマ反応器を構築しています。 我々は、プラズマのシステムを購入するほとんどのラボと人々は販売する前と後の援助の多くを必要とすることを理解しています。 私達はあなたのサンプルを実行する能力を持って、そしてあなたのシステムのインストールを支援する。 グローの研究では、当社のシステムを購入したい場合がありますお客様のために無料サンプルを処理します。
プラズマクリーナー 。 低10ワットの電力または最大300ワット、13.56MHzのソリッドステートジェネレータ、自動チューニング、圧力読み出し、窒素パージ、柔らかいベント、3つのガスの入力で使用することができ、CEがマークされます。 AutoGlowは24ヶ月保証が付属しています。 PDMS、有機物除去やフォトレジストの除去を治療するための完璧な。
AutoGlowプラズマシステムは、 生産工場では同様に中程度のコストでプラズマ技術と、医学、科学、教育、マイクロエレクトロニクスのコミュニティを提供するために、ラボ設計のように使用されます。2年間の保証を含む 。
大きなAutoGlowシステムは、お客様の要件に合うように陽極酸化アルミのチャンバーで使用可能です。 AutoGlowシステムは200mm（8"）ウェハを処理することができます。
AutoGlowの詳細をご覧ください
最大3つのターゲットへと誘電体または金属を堆積させるために最適。 もともと使用する代わりに、太陽電池のSi 3 N 4反射防止膜を堆積するように設計さPECVDを-ためSputterGlowプロセスは窒化物の析出のためのそのようなSiH 4のような危険なガスを必要としない 。 システムは、ステッピングロボット、加熱ステーションを持っており、ラップトップコンピュータで制御されます。
独自のプレーナマグネトロンは、あなたの必要性に応じて、低または高電力でプラズマを生成します。 SputterGlowは、プロセス真空の整合性を確保し、（コストを抑えるために）アルミチャンバーを利用するように設計されました。
SputterGlowの詳細をご覧ください
プラズマ表面改質とプラズマ処理、表面活性化のために使用。 10500ドル（USD）で価格、頑丈な、テーブルトップOptiGlowプラズマシステムは、生産や研究室のアプリケーションに最適です。 使いやすい。 チャンバ圧力とモジュールのステータスを表示します。
OptiGlowシステムは、コンタクトレンズと様々な材料の濡れ性と快適性を高めるために使用することができる初の低価格プラズマシステムです。 OptiGlowプラズマシステムは、コーティング前に使用するために理想的です、ラミネートや蒸着プロセス、および基板や材料の広い範囲の治療で非常に効果的です。 バイオMEMSとマイクロ流体に使用する。
OptiGlow 75プラズマシステムは、標準OptiGlow似ていますが、電力や酸素やアルゴンのような二つの入力ガス、まで使用してオプションの75ワットとある。
leaning or E tching at 13.56 MHz. OptiGlow ACEは誠、C寄りまたは13.56MHzのEの tchingを実行するように設計されています。 OptiGlow ACEは、最大2つのガス入力用に設計されており、CF4種類のガスを使用することができます。 RIEまたはプラズマ条件のいずれかの酸化皮膜処理されたアルミニウム製のチャンバーと。 パッケージや半導体チップ上に長いプロセスと除去層のための素晴らしい。
OptiGlow ACE（クリーニング、アッシング、エッチング）
OptiGlowシステムをご覧下さい
グローの研究は、ノードソンMARCH（月Plasmod、月スーパーPlasmod、月PM - 600と月木星RIEシステム）からいくつかの古いユニットのための部品とサービスの世界的な責任を引き継いだ。 我々は、3月とテガルプラズマのシステム再構築のノウハウとオファーをご利用いただけます。 我々が提供しなければならないものを再構築システムを見てみましょう 。
住所： 12014 S.第三十五のCt。 フェニックス、アリゾナ州。 85044 、米国
電話番号： 480-621-8405
メールアドレス： customerservice@glowresearch.org
プラズマクリーナー、プラズマエッチャ、プラズマAshersと蒸着（PVD）システムをスパッタは、グローの研究によって提供されます。 グローの研究は、新しいAutoGlowのプラズマクリーナー/エッチャー、OptiGlowプラズマシステムを製造し、SputterGlowは堆積（PVD）システムをスパッタ。 グローの研究はまた、ノードソンMARCH（Plasmod、スーパーPlasmod、PM - 600、木星RIE）からいくつかの古いプラズマシステム用の部品と世界的なサポートを引き継ぎ、様々な要件や大きさのための新しいプラズマ反応器を構築しています。 我々は、プラズマのシステムを購入するほとんどのラボと人々は販売する前と後の援助の多くを必要とすることを理解しています。 私達はあなたのサンプルを実行する能力を持って、そしてあなたのシステムのインストールを支援する。 グローの研究では、当社のシステムを購入したい場合がありますお客様のために無料サンプルを処理します。
AutoGlowプラズマシステム
プラズマクリーナー 。 低10ワットの電力または最大300ワット、13.56MHzのソリッドステートジェネレータ、自動チューニング、圧力読み出し、窒素パージ、柔らかいベント、3つのガスの入力で使用することができ、CEがマークされます。 AutoGlowは24ヶ月保証が付属しています。 PDMS、有機物除去やフォトレジストの除去を治療するための完璧な。
AutoGlowプラズマシステムは、 生産工場では同様に中程度のコストでプラズマ技術と、医学、科学、教育、マイクロエレクトロニクスのコミュニティを提供するために、ラボ設計のように使用されます。2年間の保証を含む 。
大きなAutoGlowシステムは、お客様の要件に合うように陽極酸化アルミのチャンバーで使用可能です。 AutoGlowシステムは200mm（8"）ウェハを処理することができます。
AutoGlowの詳細をご覧ください
SputterGlowは、成膜装置のスパッタ
最大3つのターゲットへと誘電体または金属を堆積させるために最適。 もともと使用する代わりに、太陽電池のSi 3 N 4反射防止膜を堆積するように設計さPECVDを-ためSputterGlowプロセスは窒化物の析出のためのそのようなSiH 4のような危険なガスを必要としない 。 システムは、ステッピングロボット、加熱ステーションを持っており、ラップトップコンピュータで制御されます。
独自のプレーナマグネトロンは、あなたの必要性に応じて、低または高電力でプラズマを生成します。 SputterGlowは、プロセス真空の整合性を確保し、（コストを抑えるために）アルミチャンバーを利用するように設計されました。
SputterGlowの詳細をご覧ください
OptiGlowプラズマシステム
プラズマ表面改質とプラズマ処理、表面活性化のために使用。 10500ドル（USD）で価格、頑丈な、テーブルトップOptiGlowプラズマシステムは、生産や研究室のアプリケーションに最適です。 使いやすい。 チャンバ圧力とモジュールのステータスを表示します。
OptiGlowシステムは、コンタクトレンズと様々な材料の濡れ性と快適性を高めるために使用することができる初の低価格プラズマシステムです。 OptiGlowプラズマシステムは、コーティング前に使用するために理想的です、ラミネートや蒸着プロセス、および基板や材料の広い範囲の治療で非常に効果的です。 バイオMEMSとマイクロ流体に使用する。
OptiGlow 75プラズマシステムは、標準OptiGlow似ていますが、電力や酸素やアルゴンのような二つの入力ガス、まで使用してオプションの75ワットとある。
leaning or E tching at 13.56 MHz. OptiGlow ACEは誠、C寄りまたは13.56MHzのEの tchingを実行するように設計されています。 OptiGlow ACEは、最大2つのガス入力用に設計されており、CF4種類のガスを使用することができます。 RIEまたはプラズマ条件のいずれかの酸化皮膜処理されたアルミニウム製のチャンバーと。 パッケージや半導体チップ上に長いプロセスと除去層のための素晴らしい。
OptiGlow ACE（クリーニング、アッシング、エッチング）
OptiGlowシステムをご覧下さい
リビルトシステム
グローの研究は、ノードソンMARCH（月Plasmod、月スーパーPlasmod、月PM - 600と月木星RIEシステム）からいくつかの古いユニットのための部品とサービスの世界的な責任を引き継いだ。 我々は、3月とテガルプラズマのシステム再構築のノウハウとオファーをご利用いただけます。 我々が提供しなければならないものを再構築システムを見てみましょう 。