AutoGlowプラズマシステム

AutoGlowプラズマシステムは、適度なコストでプラズマ技術で、医療、科学、教育、製造、マイクロエレクトロニクスのコミュニティを提供するように設計卓上プラズマ化学反応器である。 システムは、生産だけでなく、R＆Dセンターで使用されています。 アルゴンプラズマ、酸素プラズマ、プラズマコーティング、PDMS、酸素プラズマ処理に使用され、写真はストリッピング、FAアプリケーション、パリレンの除去、有機物除去とラボの使用に耐える。

大学や企業は、世界中のAutoGlowプラズマシステム、そのプラズマのニーズに完璧にフィット見つける。

AutoGlowプラズマシステムは、その変数が10ワット〜300ワット 、13.56MHzのソリッド·ステート·ジェネレータの市場では、その種の最も効率的なシステムです。 AutoGlowプラズマシステムは、迅速にサンプルをクリーンアップまたは変更され反応種を作成するシステムを導入し効率的に分解ガスに設計されています。 自動チューニングおよび圧力読み出しが含まれています。 AutoGlowは10ワットな限り低くプラズマを打つことができる！

自動/プッシュボタン操作。

グローの研究では、古いシステムの最高のデザインをとって、効率的なプラズマのチューニングを可能にし、常に様々なサンプルに調整の手間なく、素早く処理を提供する当社独自の位相振幅検出器とSimpleMatch RFネットワークを含む、現在の技術でAutoGlowプラズマシステムを更新しましたロードされます。AutoGlowは非常に信頼性が高く、2年間の保証があります！ システムで簡単にreplacebleモジュールは、次のとおりです。RFジェネレータ、RFマッチング·ネットワーク、フェイスプレートモジュール（下記参照）、石英チャンバーとガス制御モジュールより多くのデータや情報は、このページの右側に"AutoGlow機能"をクリックしてください。 。

ここ最近のお客様は、そのAutoGlowについて言わなければならなかったものです： "すべてが正常に動作しています。 それはそれとして必要に沿ってすべてうまく行きます。 私は、我々がほぼ完全に灰AZ4620数分で125Wで抵抗することができ感動しています。 私は誰にも接着する前にPDMSの前処理のためにそれを使用して、持っている。 そのための素晴らしい作品。 "
 
AutoGlow 200システムは、200 mmの基板や8 "ウェーハに用に設計されており、RIEまたはプラズマを行うことができます これに使用されるサンプルのキャリア上の処理-異なります。 陽極酸化アルミニウムチャンバーは、アプリケーションをエッチングするための標準O2、ArやCF4型ガスをaccomidateことができます。 実績のある電子、RFジェネレータ、ネットワークとガス制御を一致させる上記の標準AutoGlowと同じ​​です。 AutoGlow 200の詳細については、グローの研究にお問い合わせください。
AutoGlow 200はすべてのサブモジュールが正常に動作していることを確認しAutoGlowと同じ​​状態診断カードを持っています。 右側にシステムが
任意の窒素チャ​​ンバーベントパージで表示。
AutoGlow 200は、有機物除去、事前に堆積クリーニング、クリーニング、プラズ​​マ活性化からのアプリケーションの様々なソフトウェアに使用することができます   同様にエッチングの様々なアプリケーションとして。
 
 
 
 
 

MITは、様々な生物医学およびマイクロフルイディクスの研究に使用されるスタータ·センターでAutoGlowを持っています。 写真は、ジェラルディン·パウルス、MITビル66（ランダウビル·ラボ）でAutoGlow担当の博士課程の学生です。

 
 
 

"ライス大学は、ハラス·リサーチ·ラボでAutoGlowを持っています。システムはポリマーの除去プラズモニクスとナノフォトニクスへの応用のために抵抗するために使用されます。写真は、リサ·ブラウン、表面増強分子分光のためのサンプルを準備するAutoGlowを使用して博士課程の学生です。 "

ゴードン·マッケイラボでハーバード大学のAutoGlowシステム。 システムは、有機物除去、表面改質とDNAの研究とヒトゲノムシークエンシングに取り組んでいくつかの研究者のニーズに応えるために使用されます。 写真は、ゴードン·ホイットロック、グロー·リサーチの社長です。

写真は、MITのマイクロシステム技術研究所でAutoGlowです。 このAutoGlowは、フォトレジスト除去、洗浄および表面改質に使用されます。 このラボでは、MEMSの研究、バイオMEMS、ナノテクノロジーとフォトニクスを行います。