AutoGlowの特長

チャンバー内にガスdistrubutionチューブに注意してください - これは、プロセスの均一性に役立ちます。

AutoGlowプラズマシステムは、ソリッド·ステート·エレクトロニクス、更新されたガス供給のオプションと、世界中のユーザーと安全担当者の両方が期待されている技術を持っています。 チャンバーサイズは186.94ミリメートルの深によって直径(7.36で)(5.68)で144.27ミリメートルであり、高純度石英で作られています。 システム室は、他のテーブルトップのプラズマシステムに比べて均一性と再現性を高めるために設計されています。 大きな室も可能です。

AutoGlowプラズマシステムは、 変数10〜300ワット 、AutoGlowプラズマシステム市場でのその種の最も効率的なシステムとなって13.56 MHzのソリッド·ステート·ジェネレータを備えた低消費電力または高電力動作のどちらかのために設計されました。

  • 小型、卓上型システム
  • 穏やかなまたはより積極的な処理のために13.56 MHzで変数10から300ワット
  • 高純度石英製のチャンバー
  • ソリッド·ステート·エレクトロニクスないチューブ
  • 迅速なチューニングのための独自の固体状態検出器
  • 効率的なプラズマ処理のための自動チューニング
  • 圧力は容易に処理するために読み出す
  • タイマー
  • フォワード電源とRFのセットポイントを反映しているディスプレイ
  • 改良された稼働時間のAutoTell診断カード
  • 改良された均一性のための室内楽ガス分布
  • 圧力バーストを防ぐために、柔らかい通気孔
  • 3つのガスの入力までの任意のガス制御モジュール
  • 迅速かつ効率的な結果を得るために均一なプラズマ
  • 独自のRFジェネレータにかかわらず、電源設定の最小反射電力のネットワークを一致させる
  • 高速チューニングのためのSimpleMatchマッチングネットワーク
  • 正面のドアに組み込まれた紫外線保護
  • 再現性のある結果を得るために完全に特徴付けられるシステム
  • 動作するように、簡単に理解しやすい
  • すべてのエレクトロニクスは、簡単に修理できるようにボードの2つのプラグインにあります
  • 立ち上げ支援
  • スタートアップビデオ
  • 完全なマニュアルとドキュメント
  • 24ヶ月保証
AutoGlowの設計は、システムで使用されるシートメタルから始まります。 金属は、亜鉛めっきとなり

シートメタルは、適切なRFが正しい電気的に接触した塗料の適切な接合を確保するためにdesign.cured確保するために扱われ、マスクされます。 金属製のキャビネットは金属接触を増加させるようにマスクされている... RFリークを排除する。 これはAutoGlowにかかわらず、サンプルの負荷、すぐにプラズマを打つことを意味します。 適切なRFのチューニングは、キャビネットの設計から始まります。 AutoGlowはモジュラーである。 RFジェネレータは、容易にシステムの背面から削除することができます。 商工会議所は簡単に取り外すことができます。 システム·エレクトロニクスのすべてが1交換ボード(前面表示パネルに接続されている)にあります。 必要な唯一の接続は、電気、真空、ガス(すべて表示)のためのものです。 単にACプラグのプラグインは、真空ポンプとガスをconect ...そして、あなたのサンプルを処理する準備が整いました。

 

 

 

 

 

 

のRF整合ネットワークは、高速なコンデンサはAutoGlowにかかわらず、処理チャンバの内部負荷の非常に高速にチューニングすることができます360度、非常に有効にされています。

上部電極に電源が供給されており、下部電極は接地されている、化学プロセスを生成します。 AutoGlowは、穏やかな処理のために10ワットと低く、またはより積極的な処理のための300ワットと同じくらい高いから実行できます。

典型的なプラズマグロー。 石英チャンバーのドアは、新しい安全基準を満たすために、UV保護を備えています