チャンバー内にガスdistrubutionチューブに注意してください - これは、プロセスの均一性に役立ちます。
AutoGlowプラズマシステムは、ソリッド·ステート·エレクトロニクス、更新されたガス供給のオプションと、世界中のユーザーと安全担当者の両方が期待されている技術を持っています。 チャンバーサイズは186.94ミリメートルの深によって直径(7.36で)(5.68)で144.27ミリメートルであり、高純度石英で作られています。 システム室は、他のテーブルトップのプラズマシステムに比べて均一性と再現性を高めるために設計されています。 大きな室も可能です。
AutoGlowプラズマシステムは、 変数10〜300ワット 、AutoGlowプラズマシステム市場でのその種の最も効率的なシステムとなって13.56 MHzのソリッド·ステート·ジェネレータを備えた低消費電力または高電力動作のどちらかのために設計されました。
シートメタルは、適切なRFが正しい電気的に接触した塗料の適切な接合を確保するためにdesign.cured確保するために扱われ、マスクされます。 金属製のキャビネットは金属接触を増加させるようにマスクされている... RFリークを排除する。 これはAutoGlowにかかわらず、サンプルの負荷、すぐにプラズマを打つことを意味します。 適切なRFのチューニングは、キャビネットの設計から始まります。 AutoGlowはモジュラーである。 RFジェネレータは、容易にシステムの背面から削除することができます。 商工会議所は簡単に取り外すことができます。 システム·エレクトロニクスのすべてが1交換ボード(前面表示パネルに接続されている)にあります。 必要な唯一の接続は、電気、真空、ガス(すべて表示)のためのものです。 単にACプラグのプラグインは、真空ポンプとガスをconect ...そして、あなたのサンプルを処理する準備が整いました。
のRF整合ネットワークは、高速なコンデンサはAutoGlowにかかわらず、処理チャンバの内部負荷の非常に高速にチューニングすることができます360度、非常に有効にされています。
上部電極に電源が供給されており、下部電極は接地されている、化学プロセスを生成します。 AutoGlowは、穏やかな処理のために10ワットと低く、またはより積極的な処理のための300ワットと同じくらい高いから実行できます。
典型的なプラズマグロー。 石英チャンバーのドアは、新しい安全基準を満たすために、UV保護を備えています
住所: 12014 S.第三十五のCt。 フェニックス、アリゾナ州。 85044 米国
電話番号: 480-621-8405
メールアドレス: customerservice@glowresearch.org
AutoGlowの特長
チャンバー内にガスdistrubutionチューブに注意してください - これは、プロセスの均一性に役立ちます。
AutoGlowプラズマシステムは、ソリッド·ステート·エレクトロニクス、更新されたガス供給のオプションと、世界中のユーザーと安全担当者の両方が期待されている技術を持っています。 チャンバーサイズは186.94ミリメートルの深によって直径(7.36で)(5.68)で144.27ミリメートルであり、高純度石英で作られています。 システム室は、他のテーブルトップのプラズマシステムに比べて均一性と再現性を高めるために設計されています。 大きな室も可能です。
AutoGlowプラズマシステムは、 変数10〜300ワット 、AutoGlowプラズマシステム市場でのその種の最も効率的なシステムとなって13.56 MHzのソリッド·ステート·ジェネレータを備えた低消費電力または高電力動作のどちらかのために設計されました。
シートメタルは、適切なRFが正しい電気的に接触した塗料の適切な接合を確保するためにdesign.cured確保するために扱われ、マスクされます。 金属製のキャビネットは金属接触を増加させるようにマスクされている... RFリークを排除する。 これはAutoGlowにかかわらず、サンプルの負荷、すぐにプラズマを打つことを意味します。 適切なRFのチューニングは、キャビネットの設計から始まります。 AutoGlowはモジュラーである。 RFジェネレータは、容易にシステムの背面から削除することができます。 商工会議所は簡単に取り外すことができます。 システム·エレクトロニクスのすべてが1交換ボード(前面表示パネルに接続されている)にあります。 必要な唯一の接続は、電気、真空、ガス(すべて表示)のためのものです。 単にACプラグのプラグインは、真空ポンプとガスをconect ...そして、あなたのサンプルを処理する準備が整いました。
のRF整合ネットワークは、高速なコンデンサはAutoGlowにかかわらず、処理チャンバの内部負荷の非常に高速にチューニングすることができます360度、非常に有効にされています。
上部電極に電源が供給されており、下部電極は接地されている、化学プロセスを生成します。 AutoGlowは、穏やかな処理のために10ワットと低く、またはより積極的な処理のための300ワットと同じくらい高いから実行できます。
典型的なプラズマグロー。 石英チャンバーのドアは、新しい安全基準を満たすために、UV保護を備えています