AutoGlowプラズマシステムは、ソリッド·ステート·エレクトロニクス、更新されたガス供給のオプションと、世界中のユーザーと安全担当者の両方が期待されている技術を持っています。 大きなチャンバーのサイズは6 "の基板を収容し、深い160ミリメートル（ID）径x 186.94ミリメートル（ID）であり、高純度石英で構成されていることができます。 システム室は、他のテーブルトップのプラズマシステムに比べて均一性と再現性を高めるために設計されています。
AutoGlowプラズマシステムは、 変数10〜300ワット 、AutoGlowプラズマシステム市場でのその種の最も効率的なシステムとなって13.56 MHzのソリッド·ステート·ジェネレータを備えた低消費電力または高電力動作のどちらかのために設計されました。 演算子は、10ワット以上の積極的な処理のための300ワットのように高温で処理を実行することができます。 電力は1ワット刻みで調整することができます。
診断カードは、すべてのモジュールが正しく動作していることを確認させていただきます。
のRF整合ネットワークは、高速なコンデンサはAutoGlowにかかわらず、処理チャンバの内部負荷の非常に高速にチューニングすることができます360度、非常に有効にされています。
上部電極に電源が供給されており、下部電極は接地されている、化学プロセスを生成します。 AutoGlowは穏やかな処理のためにわずか10ワットから実行するか、のようにできます。 より積極的な処理のための300ワットの高さ。
住所： 12014 S.第三十五のCt。 フェニックス、アリゾナ州。 85044 米国
電話番号： 480-621-8405
メールアドレス： customerservice@glowresearch.org
AutoGlowの特長
AutoGlowプラズマシステムは、ソリッド·ステート·エレクトロニクス、更新されたガス供給のオプションと、世界中のユーザーと安全担当者の両方が期待されている技術を持っています。 大きなチャンバーのサイズは6 "の基板を収容し、深い160ミリメートル（ID）径x 186.94ミリメートル（ID）であり、高純度石英で構成されていることができます。 システム室は、他のテーブルトップのプラズマシステムに比べて均一性と再現性を高めるために設計されています。
AutoGlowプラズマシステムは、 変数10〜300ワット 、AutoGlowプラズマシステム市場でのその種の最も効率的なシステムとなって13.56 MHzのソリッド·ステート·ジェネレータを備えた低消費電力または高電力動作のどちらかのために設計されました。 演算子は、10ワット以上の積極的な処理のための300ワットのように高温で処理を実行することができます。 電力は1ワット刻みで調整することができます。
診断カードは、すべてのモジュールが正しく動作していることを確認させていただきます。
のRF整合ネットワークは、高速なコンデンサはAutoGlowにかかわらず、処理チャンバの内部負荷の非常に高速にチューニングすることができます360度、非常に有効にされています。
上部電極に電源が供給されており、下部電極は接地されている、化学プロセスを生成します。 AutoGlowは穏やかな処理のためにわずか10ワットから実行するか、のようにできます。
より積極的な処理のための300ワットの高さ。