OptiGlowプラズマシステム

グローの研究はOptiGlowプラズマシステムの3つの異なるタイプが用意されています。

  • OptiGlow:最低価格。 プロセスガスとして空気を使用して表面改質、一つ流量計、100 kHzの、50ワット、アルミチャンバー不要、チューニング、自動タイマーのために。 内部の真空ポンプを内蔵しています。 プッシュボタン、自動運転。
  • OptiGlow 75:プラズマ洗浄については、PDMS処理は、 処理のために空気、酸素、アルゴンまたは窒素を使用してアクティベーション、表面改質は、2流量計、100 kHzの、75ワット、不要チューニング、自動タイマーとアルミニウムチャンバを持っています。 外部の真空ポンプ(酸素処理のためのフォンブリンオイルをお勧めします)。 プッシュボタン、自動運転。
  • leaning, E tching (ACE). OptiGlow ACE:誠/アクティベーション、C寄り、E tching(ACE)の場合。 アルマイト室、10〜150ワット、自動チューニング13.56MHzで、二つの流量計、 プラズマまたは酸素、アルゴンまたはCF4化学とRIEスタイルの処理 理想的な ICパッケージや他のエッチング/クリーニングapplicaitonsをエッチングする。 2つの棚を使用してサンプルホルダー... RIE、プラズマ処理のためのボトムシェルフの一番上の棚を持っています。 長い処理時間をプッシュボタン、自動運転のために設計されています。

OptiGlow ACEは、故障解析のためのICから残留プラスチックを除去するために使用することができます。 ここに私達の顧客、JHTインスツルメンツ、LLCからいくつかのデータです。

以下の条件での処理時間の1.5時間後 :JHTインスツルメンツ、LLCからのコメント 試料ホルダー、100mTのチャンバ圧力、100W前進のパワーのトップ"棚"のユニット。 LSOは、IPAとのユニットの表面を掃除した。 以下の画像は死ぬクリアし、所望の表面までのパッケージユニットからのプロセスを示しています。 ACEは、効果的な非常に"ユーザーフレンドリー"であると思われる。

(軽く目に見える死ぬ)後研磨:左へ
権利:ポスト1.5時間アッシング、100ワット、
トップ(RIE)棚の上。
 
OptiGlow:

エアプラズマ、プラズマ処理用に設計され、レンズ処理の増加、濡れ性、表面処理および一般的なプラズマシステムにお問い合わせください。 は、頑丈なテーブルトップOptiGlowプラズマシステムは、生産やラボ·アプリケーションに最適です。 OptiGlowプラズマシステムは、コンタクトレンズの濡れ性と快適さのレベルを増加させるために設計された初の低コストのプラズマ·システムです。 OptiGlowも前のコーティング、ラミネートまたは蒸着の素材を扱うために使用され、基板や材料の広い範囲の治療に非常に効果的です。 材料の増加表面エネルギーは、それによって改善されたボンディング、接着、markability、塗装、および塗工を可能にする、その接着特性を向上させます。

  • 親水性の表面処理
  • 密着性と毛細管効果を高める
  • マイクロチャネルの親水化処理
  • バイオMEMSとマイクロ流体工学で使用されている
  • 表面特性の制御
  • 様々な材料の電気浸透流(EOF)を向上させる
  • PDMSの治療
  • いくつかの材料のためのタンパク質や細胞をはじく特性を付与する
  • プロセスをラミネートまたは蒸着、コーティング前に使用するための理想的な
  • 洗浄、印刷、接着する前にアクティブに

疎水性:OptiGlowプラズマ処理なしのコンタクトレンズ材料。

OptiGlowプラズマシステムは、アルミチャンバーと信頼性の高い100KHzの低周波数のRFジェネレータを提供しています。 ポンプは、システムに組み込まれています。 単にOptiGlowプラズマシステムのプラグインとは、処理する準備が整いました。 OptiGlowプラズマシステムは、プロセスガスとして室内の空気を使用するように設計されています。

10500ドル(USD)の下で価格、OptiGlowプラズマシステムは、光学ラボに適しており、それは完璧な彼らのプラズマのニーズにフィットと同様に、それらの予算を見つけるレンズメーカーや大学にお問い合わせください。

親水性:OptiGlowプラズマ処理で向上しwebabilty。

ガスプラズマ処理は、コンタクトレンズや様々なポリマーや材料の表面改質のために高速で効率的な方法を提供します。 OptiGlowプラズマ処理は、濡れ性を向上させる潤滑性を向上させ、生体適合性材料の堆積を可能にすることができます。 コンタクトレンズプラズマ処理は、レンズの表面はタンパク質の沈着に耐性のある親水性のレンズ面を作成するために酸化される一般的なアプリケーションです。 プラズマプロセスは改善された快適性とより長い摩耗を可能にします。

ハイグレード6061-Tアルミ製プラズマ室は、化学物質と清掃が容易に耐性があります。 電力は、RFフィードスルーを介して上部電極に供給され、アルミチャンバーは、均一なプラズマ処理のためのグランド·許可の役割を果たしています。

システムの制御モジュールのモニター室の圧力、事前に設定電力と実際の消費電力。 任意のプラズマプロセスのために、それは適切かつ繰り返し可能なプロセスを確保するためにチャンバ圧力を知ることが重要です。 相対的なチャンバの圧力は、システムの前面に表示されます。

プロセス制御

流量計は、簡単にガスの調整および表示を行うためにOptiGlowプラズマシステムの前面に装着されている。 プロセスがタイムアウトした後に内部のソレノイドは、ガスを遮断します。 これは継続的に、後続のプラズマ処理のガス流量を調整することなく、再現性の生産処理のためにできるようになります。 チャンバの圧力は、チャンバへのガスの流れによって制御されます。 安全保護として、プロセスガスは、すべてのインターロックが確認されている場合反応チャンバにで流れるように許可されています。

電源およびマッチングネットワーク

OptiGlowプラズマシステムは100 kHz、50ワットの低周波発生器とユニットのマッチングビルトイン装備されています。 全くチューニングは必要ありません、強い、堅牢なプラズマの輝きは、自動的にすべての実行で生成されます。

安全性

標準機能は、RFパワー、ガスflow.Safetyインターロックは、RF電源とチャンバーのドアが開いているか、カバーが取り外されている場合であるガス流の活性化を防止するため終了ボタンが含まれています。 OptiGlowプラズマシステムは厳しいテストに合格し、CEマークされています。 米国や国際電力(110または230 VAC)に設計されています。