テガル903e

カセット·ツー·カセットインライン枚葉プラズマエッチング。 エッチングビアとコンタクトする機能。 二酸化ケイ素、窒化ケイ素、及びポリアミドをエッチングする。 システムは、適切なファシリテーションと操作上のからの相談で販売されています。 システムが操作可能であるとメサ、アリゾナ州のカスタマーサポートセンターで実証することができます。 様々なアップグレードは、特定のニーズに合わせて用意されています。

3インチからインチ現在、ウェハ4インチのために設定6にウェーハを処理することができます。

• マイクロプロセッサ制御
• 現在4インチ（100ミリメートル）ウエハ用に設定。
• ENI千ワット13.56MHzのRFジェネレータ。
• 20プロセスレシピ機能
• Tylan MFCのによって制御されるプロセスガス
• 非摩擦スパチュラピックアンドプレースウェーハの輸送。
• ライボルトD65酸素·サービス·ポンプ（使用可能なオプションのドライポンプ）
• 二テガル閉ループ温度コントローラ
• 12月モニターとキーボード
• 非摩擦スパチュラピックアンドプレースウェーハの輸送。
• マニュアルは含まれており、208 V、50/60 Hzの

（販売中）