SputterGlowの特長

  • 反応は、Si 3 N 4またはその他の薄膜のスパッタ蒸着
  • シランガスの必要性を排除
  • ラボで容易にするために、簡単に、有害なガスは必要ない
  • 最大3つのターゲットへの
  • 預金誘電体または金属
  • 200mmウェーハ(またはそれ以下)または156ミリメートル×156ミリメートル太陽電池
  • 暖房オプション(最大400℃)
  • 1200ワット、13.56MHzのRFジェネレータ
  • 自動同調
  • ターボとバッキングポンプ
  • 水は、マグネトロンスパッタ法を冷却
  • ステッピング制御基板の取り扱い
  • コンピュータまたはゲージの手動制御
  • ガスのMFCコントロール
  • LED診断

オプション

  • 基板バイアス
  • RGA
  • ターゲットの冷却を循環
  • ビューポートのWindows

すべてのSputterGlowは、システムや操作の設定、適切なビデオ·オン、12ヶ月保証、取扱説明書が付属しています。 グローの研究は、システムのスタートアップのためのオンサイトフィールドサービスサポートを提供します。

詳細については、グローの研究米国480-621-8405に電話するか、してください私たちにメール