플라즈마 청소기, 플라즈마 Etchers, 플라즈마 Ashers 및 증착 (PVD) 시스템을 스퍼터는 발광 연구에 의해 제공됩니다. 글로우 연구는 새로운 AutoGlow 플라즈마 클리너 / 에칭, OptiGlow 플라즈마 시스템을 제조하고 SputterGlow는 증착 (PVD) 시스템을 스퍼터. 글로우 연구는 또한 Nordson MARCH (Plasmod, 슈퍼 Plasmod, PM - 600, 목성 RIE)에서 몇 가지 이전 플라즈마 시스템을위한 부품 및 전세계 지원을 점령하고 다양한 요구 사항과 크기에 대한 새로운 플라즈마 반응기를 구축하고 있습니다. 우리는 플라즈마 시스템을 구입 대부분의 실험실 사람들이 판매 전후에 도움이 큰 거래를 필요로한다는 점을 잘 알고 있습니다. 저희는 귀하의 샘플을 실행할 수있는 능력을 가지고 있고, 시스템의 설치를 도와드립니다. 글로우 연구는 우리 시스템을 구입할 수 있습니다 고객을위한 무료 샘플을 처리합니다.

AutoGlow 플라즈마 시스템

플라즈마 클리너. 낮은 10w의 전력이나 최대 300w, 13.56 MHz의 고체 발생기, 자동 튜닝, 압력 읽기 아웃, 질소 퍼지, 부드러운 방출, 세 가스 입력에서 사용할 수 있으며 CE가 표시됩니다. AutoGlow은 24 개월 보증이 제공됩니다. PDMS, 유기 제거 또는 사진 - 저항 제거 치료를위한 완벽한.

AutoGlow 플라즈마 시스템은 생산 공장에서뿐 아니라 적당한 비용으로 플라즈마 기술, 의료 과학, 교육 및 마이크로 일렉 트로닉스 커뮤니티를 제공하기 위해 실험실 설계로 사용됩니다. 2 년 보증을 포함합니다.

큰 AutoGlow 시스템은 고객의 요구에 맞게 알루 알루미늄 챔버와 함께 사용할 수 있습니다. AutoGlow 시스템은 200mm (8 ") 웨이퍼를 처리할 수 있습니다.

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SputterGlow는 증착 시스템을 스퍼터

최대 세 목표와 절연체 또는 금속을 입금 완벽한 선택. 원래 사용하는 대안으로 태양 전지에시 3 N 4 반사 방지 코팅을 입금하기위한 PECVD - 때문에 SputterGlow 과정 질화물 증착을위한 같은 SiH 4와 같은 위험한 가스가 필요하지 않습니다. 이 시스템은 스테퍼 로봇, 온수 방송국을 가지고 있으며, 무릎 - 최고 컴퓨터와 제어됩니다.

독점 평면 마그네트론은 필요에 따라 낮거나 높은 힘을 가진 플​​라즈마를 생성합니다. SputterGlow는 프로세스 진공 무결성을 보장하고 (비용을 유지하는) 알루미늄 챔버를 활용하도록 설계되었습니다.

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OptiGlow 플라즈마 시스템

플라즈마 표면 변경 및 플라즈마 처리, 표면 활성화를 위해 사용됩니다. 1만5백달러 (USD)에 따라 가격, 견고한, 테이블 상단 OptiGlow 플라즈마 시스템은 생산 또는 실험실 어플 리케이션에 적합합니다. 사용하기 쉽습니다. 챔버 압력 및 모듈 상태 표시합니다.

OptiGlow 시스템은 콘택트 렌즈와 다양한 재료의 wettability과 편의를 높이기 위해 사용할 수있는 최초의 저렴한 비용으로 플라즈마 시스템입니다. OptiGlow 플라즈마 시스템은 라미네이팅 및 증착 공정, 코팅 이전에 사용에 이상적입니다, 그리고 기판이나 재료의 광범위한 치료에 매우 효과적입니다. 바이오 MEMS 및 MicroFluidics에 사용됩니다.

OptiGlow 75 플라즈마 시스템은 표준 OptiGlow 같은 있지만, 권력과 같은 산소 또는 아르곤과 같이 두 개의 입력 가스를 사용할 수있는 옵션의 75w와 함께.

leaning or E tching at 13.56 MHz. OptiGlow ACE는 아성, C 기울고 또는 13.56 MHz의에서 전자 tching을 수행하도록 설계되었습니다. OptiGlow ACE는 최대 두 가스를 입력하기 위해 설계 및 CF4 형식 가스와 함께 사용할 수 있습니다. RIE 또는 플라즈마 조건 중 하나에 대한 알루 알루미늄 챔버합니다. 패키지 또는 반도체 칩에 긴 프로세스 및 제거 레이어에 아주 좋아.

OptiGlow ACE (청소, Ashing, 에칭)

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재건 시스템

글로우 연구 Nordson MARCH (3 월 Plasmod 월 슈퍼 Plasmod 월 PM - 600 3 월 목성 RIE 시스템)에서 몇 가지 오래된 단위 부품 및 서비스에 대한 전세계 책임을 점령했다. 저희는 월 및 Tegal 플라즈마 시스템을 재건의 전문 지식과 제공과 함께 있어요. 우리가 제공하는 어떤 재건 시스템을 좀 봐 .