AutoGlow 기능 | 발광 연구 플라즈마 시스템

AutoGlow 플라즈마 시스템은 고체 전자, 업데이트된 가스 배달 옵션 및 전세계 사용자와 안전 요원 모두가 예상되고 기술을 가지고 있습니다. 대형 챔버 크기는 6 "기판을 수용하고 160mm (ID) 직경 X 186.94 mm (ID) 깊게 고순도 석영으로되어 있습니다. 시스템과 챔버는 다른 테이블 상단 플라즈마 시스템에 비해 균일 성과 repeatability을 높이기 위해 설계되었습니다.

AutoGlow 플라즈마 시스템 변수 10-3백w, AutoGlow 플라즈마 시스템 시장에서 이러한 종류의 가장 효율적인 시스템을 만들기 13.56 MHz의 고체 발생기와 저전력 또는 고전력 작업 중 하나를 위해 설계되었습니다. 연산자는보다 적극적인 처리를 위해 300w만큼 높은 10w에서 프로세스를 실행하거나 수 있습니다. 전력은 1 와트 단위 조정할 수 있습니다.

소형, 테이블 탑 시스템
부드러운 이상의 적극적인 처리를 위해 13.56 MHz로 가변 10-300 와츠
상공 회의소는 고순도 석영으로 만들어진
고체 전자 공학 노 튜브 없음
빠른 튜닝을위한 독점적 고체 검출기
효율적인 플라즈마 처리를위한 자동 튜닝
압력이 쉽게 처리를 위해 읽기
타이머
전달 및 전원 및 RF 세트 포인트를 반영 디스플레이
향상된 가동 시간에 대한 AutoTell 진단 카드
향상된 균일 대한 상공 회의소 가스 분포
압력 파열을 방지하기 위해 소프트 배출구
세 기체 입력까지있는 선택적 가스 제어 모듈
신속하고 효율적인 결과에 대한 균일한 플라즈마
에 관계없이 전원 설정의 최소한의 반영 권력에 대한 독점적 RF 발생기 및 검색 네트워크
빠른 튜닝을위한 SimpleMatch 매칭 네트워크
프론트 뷰 도어에 내장된 자외선 차단
반복적인 결과에 대해 전적으로 특성화 시스템
작동 이해 쉽게 쉽게
모든 전자 제품은 쉽게 수리를 위해 보드에있는 두 플러그인에 있습니다
시작 - 업 지원
시동 동영상
완전한 매뉴얼 및 설명서
24개월 보증

AutoGlow의 설계는 시스템에서 사용되는 금속판으로 시작합니다. 시트 금속은 치료와 적절한 RF 설계를 보장하기 위해 마스크됩니다.

금속 캐비닛은 금속 대 금속 접촉 ... RF 누설을 제거하기 위해 증가하는 등의 방법으로 숨겨있다. 이것은 AutoGlow에 관계없이 샘플로드, 신속 플라즈마를 공격할 것을 의미합니다. 적절한 RF 튜닝은 캐비닛 디자인으로 시작합니다.

AutoGlow는 모듈입니다. RF 발생기 쉽게 시스템의 뒷면에서 제거할 수 있습니다. 상공 회의소는 쉽게 제거할 수 있습니다. 시스템 전자의 모든 하나 교체 보드 (전면 디스플레이 패널에 부착된)에 있습니다. 필요한 유일한 연결은 전기, 진공 및 가스 (모든 그림 참조)입니다. 간단히 플러그 AC 플러그에 진공 펌프 및 가스를 연결 ... 그리고 자신에 샘플을 처리할 준비가되어 있습니다.

진단 카드는 모든 모듈이 올바르게 작동하는지 확인합니다.