AutoGlow 기능 | 발광 연구 플라즈마 시스템

챔버에서 가스 distrubution 튜브 참고 -이 절차 균일성를 도와 주실 겁니다.

AutoGlow 플라즈마 시스템은 고체 전자, 업데이트된 가스 배달 옵션 및 전세계 사용자와 안전 요원 모두가 예상되고 기술을 가지고 있습니다. 챔버 크기는 186.94mm 깊이 (에서 7.36)의 직경 (에서 5.68) 144.27mm이며 고순도 석영으로 구성되어 있습니다. 시스템과 챔버는 다른 테이블 상단 플라즈마 시스템에 비해 균일 성과 repeatability을 높이기 위해 설계되었습니다. 대형 챔버도 가능합니다.

AutoGlow 플라즈마 시스템 변수 10-3백w, AutoGlow 플라즈마 시스템 시장에서 이러한 종류의 가장 효율적인 시스템을 만들기 13.56 MHz의 고체 발생기와 저전력 또는 고전력 작업 중 하나를 위해 설계되었습니다.

소형, 테이블 탑 시스템
부드러운 이상의 적극적인 처리를 위해 13.56 MHz로 가변 10-300 와츠
상공 회의소는 고순도 석영으로 만들어진
고체 전자 공학 노 튜브 없음
빠른 튜닝을위한 독점적 고체 검출기
효율적인 플라즈마 처리를위한 자동 튜닝
압력이 쉽게 처리를 위해 읽기
타이머
전달 및 전원 및 RF 세트 포인트를 반영 디스플레이
향상된 가동 시간에 대한 AutoTell 진단 카드
향상된 균일 대한 상공 회의소 가스 분포
압력 파열을 방지하기 위해 소프트 배출구
세 기체 입력까지있는 선택적 가스 제어 모듈
신속하고 효율적인 결과에 대한 균일한 플라즈마
에 관계없이 전원 설정의 최소한의 반영 권력에 대한 독점적 RF 발생기 및 검색 네트워크
빠른 튜닝을위한 SimpleMatch 매칭 네트워크
프론트 뷰 도어에 내장된 자외선 차단
반복적인 결과에 대해 전적으로 특성화 시스템
작동 이해 쉽게 쉽게
모든 전자 제품은 쉽게 수리를 위해 보드에있는 두 플러그인에 있습니다
시작 - 업 지원
시동 동영상
완전한 매뉴얼 및 설명서
24개월 보증

AutoGlow의 설계는 시스템에서 사용되는 금속판으로 시작합니다. 금속은 아연 코팅이며

시트 금속 처리하고 적절한 RF가 정확한 전기적 접촉 페인트의 적절한 결합을 보장하기 design.cured 보장하기 위해 마스크됩니다. 금속 캐비닛은 금속 대 금속 접촉 ... RF 누설을 제거하기 위해 증가하는 등의 방법으로 숨겨있다. 이것은 AutoGlow에 관계없이 샘플로드, 신속 플라즈마를 공격할 것을 의미합니다. 적절한 RF 튜닝은 캐비닛 디자인으로 시작합니다. AutoGlow는 모듈입니다. RF 발생기 쉽게 시스템의 뒷면에서 제거할 수 있습니다. 상공 회의소는 쉽게 제거할 수 있습니다. 시스템 전자의 모든 하나 교체 보드 (전면 디스플레이 패널에 부착된)에 있습니다. 필요한 유일한 연결은 전기, 진공 및 가스 (모든 그림 참조)입니다. 간단히 플러그 AC 플러그에 진공 펌프 및 가스를 conect ... 그리고 자신에 샘플을 처리할 준비가되어 있습니다.