재건 시스템

월 Plasmod
월 150 와트, 13.56 MHz의 생성기로 Plasmod. Pyrex 5.8과 배럴 타입 플라즈마 시스템 "(디아) × 7"(깊은) 챔버. Pyrex 챔버 도어가 쉽게 접근하여 처리를 위해 정문의 내부에 마운트됩니다. 쉽게 처리에 대한 검색 네트워크의 자동 튜닝을하고 있습니다. 아날로그 패널 미터. 115V, 60분의 50 Hz에서, [...]

연구실 플라즈마 시스템
월 115 VAC, 13.56 MHz의 RF 발전기, 수동 튜닝, 석영 내부 챔버와 외부 챔버를 Plasmod .. 수동 튜닝. 외부 챔버 직경 4.5이다 ","내부 챔버 직경 4.25입니다 "와 챔버 깊이는 6.2입니다. 완전히 재건 및 테스트. 30 일 보증과 함께 판매. 가격 4,000달러입니다. 그것은 당신이 가진 것이 좋습니다 [...]

월 AP - 1000
2005년 3월 고급 에너지 ACG6B, 600w RF 발생기, 13.56 MHz의, 고체 2 질량 흐름 컨트롤러 (포터)와 일치하는 자동 임피던스와 13.56 MHz의 전원 공급 장치, 250 sccm 500 :. 제조 월 AP - 1000, S / N P100199, 재건 sccm 라이트 타워 Leybold Trivac 펌프 모델 D65BCS, Fomblin 입력 오일 오일 미스트 제거기 알카텔, OME 40 준비 [...]

MARCH CS - 1701
MARCH CS - 1701 RIE 시스템 진군 CS - 1701 시스템이 여전히 Nordson 행진 발광 연구는 최고 수준에이 시스템을 재건이 지원됩니다. 판매 지원 Nordson MARCH 전세계와 계약을 체결한 후 수 있습니다. 설치 지원은 발광 연구에 의해 지원됩니다. MARCH CS - 1701은 뚜껑 리프트와 함께 가스 매니폴드를 업데이 트했습니다이 새로운 스타일의 [...]

플라즈마 클리너
AutoGlow 플라즈마 청소기와 아셀. 10-300 와트, 자동 조정, 진단, 160mm의 디아. 석영 챔버, 압력 표시, 타이머 24 개월 보증, capacitively 결합, CE로 표시, 차단. 플라즈마에 대한 그레이트 유기물을 ashing 또는 제거, 청소.

Tegal Plasmod (4.5 "외부 챔버)
115 VAC, 13.56 MHz의 RF 발전기, 수동 조정, Pyrex 챔버, 하나 가스 입력. 외부 챔버 직경 4.5이다 ","내부 챔버 직경 4.25입니다 "와 챔버 깊이는 6.2입니다. 완전히 재건 및 테스트. 30 일 보증과 함께 판매.

월 목성
월 목성 II RIE. AE 600 와트 RF 발생기, 네 질량 흐름 컨트롤러, 자동 튜닝, 타이머, 종점 감지기, Baratron 압력 제어, 엔드 포인트 제어 및 마이크로 프로세서 제어합니다. 4 "또는 6 '. 전체 지원, 재건, 30 일 보증. 에칭 준비!

Tegal 903e
카세트 대 카세트에 온라인 싱글 웨이퍼 플라즈마 식각 장치. 에칭 비아스 및 연락처 기능​​. 이산화 규소, 실리콘 nitrides 및 polyamides 에칭하십시오. 시스템은 적절한 촉진 및 작동에의 상담과 함께 판매됩니다. 시스템 운영하고 있으며 아리조나, 메사 우리의 고객 지원 센터에서 시연 수 있습니다. 다양한 업그레 이드 사용자의 특정 요구에 맞게 사용할 수 있습니다. [...]

Tegal 901e
카세트 - 투 - 카세트 폴리 실리콘 / 실리콘 질화물 플라즈마 식각 장치. 시스템 운영되고 증명하실 수 있습니다. 현재 (100mm) 웨이퍼의 4 구성. ENI 1000 와트 13.56 MHz의 RF 발생기. 20 프로세스 제조법 기능 프로세스 TYLAN MFC의 비 마찰 주걱의 선택과 장소 웨이퍼 운송에 의해 제어되는 가스. Leybold D65 산소 서비스 펌프 Tegal 폐쇄 루프 온도 제어기 차트 레코더 [...]