재건 시스템

글로우 연구는 Tegal, 3 월 및 R & D 플라즈마 시스템 전문. 개축 Tegal 901e와 903e 시스템은 재고가 보통입니다.

글로우 연구는 플라즈마 월 시스템즈 (3 월 Plasmod, 슈퍼 Plasmod, PM-600과 목성 RIE 시스템)에서 기존의 플라즈마 시스템의 여러 가지에 대해 세계적 부품 및 서비스 지원을 점령했다.

이 계약은 발광 연구를 우리의 재건 월 시스템에서 보증을 제공하는 기능을 수 있습니다.

최근 Tegal 901e 고객의 코멘트 :

"우리는 발광 연구에서 Tegal 901e 시스템을 구입했습니다. 웹 사이트에서 한분의 고객이 우리를 언급하시기 바랍니다. "....... 에릭 Weis, PanJit 미주, 주식 회사

 

월 Plasmod
March Plasmod 6" 월 150 와트, 13.56 MHz의 생성기로 Plasmod. Pyrex 5.8과 배럴 타입 플라즈마 시스템 "(디아) × 7"(깊은) 챔버. Pyrex 챔버 도어는 쉬운 접근과 처리를 위해 정문 안쪽에 마운트됩니다. 쉽게 처리 매칭 네트워크의 자동 튜닝을하고 있습니다. 아날로그 패널 미터. 115V, 60분의 50 [...]

월 AP-1000
Excellent Shape, Looks New 재건 월 AP-1000, S / N 제조 P100199 : 2005년 3월 고급 에너지 ACG6B, 600w RF 발생기, 13.56 MHz의, 2 질량 흐름 컨트롤러 (포터)를 자동 검색 임피던스와 솔리드 스테이트 13.56 MHz의 전원 공급 장치, 250 sccm, 500. sccm 라이트 타워 Leybold Trivac 펌프 모델 D65BCS, Fomblin 타입 오일 알카텔 오일 미스트 제거기, OME 40 준비 [...]

3 월 CS-1701
MARCH CS-1701 (Rebuilt) 3 월 CS-1701 시스템이 여전히 Nordson 3 월 및 발광 연구소가 지원하는 3 월 CS-1701 RIE 시스템은 최고 수준에이 시스템을 재건하고있다. 판매 지원 Nordson 년 3 월 전세계와 계약 수 후. 설치 지원이 글로 연구소에 의해 지원됩니다. 뚜껑 리프트의이 새로운 스타일의 3 월 CS-1701는 업데이 트했습니다 가스 매니폴드 [...]

플라즈마 클리너
Plasma Cleaner AutoGlow 플라즈마 청소기와 아셀. 10-300 와트, 자동 조정, 진단, 160 밀리미터 디아. 석영 챔버, 압력 표시, 타이머 끄기, CE는 capacitively 결합, 24 개월 보증 기간을 표시했습니다. , 청소 유기물을 ashing하거나 제거하는 플라즈마에 아주 좋아.

월 목성
march-jupiter 월 목성 II RIE. AE 600 와트 RF 발생기, 넷 매스 플로우 컨트롤러, 자동 튜닝, 타이머, 엔드 포인트 감지기, Baratron 압력 제어, 엔드 포인트 제어 및 마이크로 프로세서 제어합니다. 4 ", 6". 전체 지원, 재건, 30 일 보증. 에칭 준비!

Tegal 903e
tegal-903e 카세트 대 카세트 인라인 싱글 웨이퍼 플라즈마 식각 장치. 에칭 비아와 주소록 기능. 이산화 규소, 실리콘 nitrides 및 polyamides을 식각하십시오. 시스템은 적절한 촉진 및 작동에 대한의 상담과 함께 판매됩니다. 시스템 운영하며 메사, 애리조나에있는 고객 지원 센터에서 시연 수 있습니다. 다양한 업그레이 드를 사용자의 특정 요구에 맞게 사용할 수 있습니다. [...]

Tegal 901e
tegal-901e 카세트 대 카세트 폴리 실리콘 / 실리콘 질화물 플라즈마 식각 장치. 시스템이 작동하고 증명 할 수 있습니다. 현재 (100mm) 웨이퍼에 4 구성. ENI 1,000 와트 13.56 MHz의 RF 생성기. 20 공정 요리법 기능 프로세스 가스 TYLAN MFC의 비 마찰 주걱 딸과 장소 웨이퍼 수송에 의해 제어. Leybold D65 산소 서비스 펌프 Tegal은 루프 온도 제어기 차트 레코더 [...] 휴관