Tegal 903e

카세트 대 카세트 인라인 싱글 웨이퍼 플라즈마 식각 장치. 에칭 비아와 주소록 기능. 이산화 규소, 실리콘 nitrides 및 polyamides을 식각하십시오. 시스템은 적절한 촉진 및 작동에 대한의 상담과 함께 판매됩니다. 시스템 운영하며 메사, 애리조나에있는 고객 지원 센터에서 시연 수 있습니다. 다양한 업그레이 드를 사용자의 특정 요구에 맞게 사용할 수 있습니다.

3인치에서 인치 현재 웨이퍼 인치 4 구성된 6 웨이퍼를 처리할 수 있습니다.

  • 마이크로 프로세서 제어
  • 현재 4인치 (100mm) 웨이퍼에 대해 구성.
  • ENI 1,000 와트 13.56 MHz의 RF 생성기.
  • 20 프로세스 제조법 기능
  • Tylan MFC의에 의해 제어되는 공정 가스
  • 비 마찰 주걱은 선택과 장소 웨이퍼 수송.
  • Leybold D65 산소 서비스 펌프 (옵션 건식 펌프 사용 가능)
  • 두 Tegal 폐쇄 루프 온도 컨트롤러
  • 12월 모니터와 키보드
  • 비 마찰 주걱은 선택과 장소 웨이퍼 수송.
  • 매뉴얼 포함, 208 V, 50 / 60 Hz에서

(판매가 보류)