SputterGlow 특징

• 반응은 시를 ₃ N ₄ 또는 기타 필름 증착의 스퍼터
• 실란 가스에 대한 필요성을 제거
• 실험실에서 촉진하기 쉽고, 어떤 유해 가스가 필요하지
• 최대 세 가지 목표를
• 보증금 절연체 혹은 금속
• 200mm 웨이퍼 (혹은 작게) 또는 156mm X 156mm 태양 전지
• 난방 장치 옵션 (최대 400 학위 C)
• 1,200 와트, 13.56 MHz의 RF 발생기
• 자동 튜닝
• 터보와 백킹 펌프
• 물은 마그네트론 스퍼터링을 냉각
• 스테퍼 제어 기판 처리
• 컴퓨터 또는 게이지의 수동 제어
• 가스의 MFC 컨트롤
• LED 진단

옵션

• 기판 바이어스
• RGA
• 대상 냉각 순환
• 뷰포트 윈도우

모든 SputterGlow 시스템은 시스템 및 작업의 설정 적당한에서 12 개월 보증, 설명서, 비디오와 함께 제공됩니다. 이 시스템의 시작을위한 글로우 연구는 또한 현장 현장 서비스 지원을 제공합니다.

자세한 내용은 발광 연구 미국 480-621-8405로 전화 하시거나주십시오 저희에게 이메일을 보내십시오 .