Plazminiai Valytojai, Plazminiai ėsdintojai, kraujo plazmos Ashers ir Nusodinimo dulkinimo būdu (PVD) sistemas Glow mokslinių tyrimų. , Žara tyrimų gamina AutoGlow plazmos sistemas, OptiGlow plazmos sistemos ir SputterGlow. Nusodinimo dulkinimo būdu (PVD) sistemas. Žara Tyrimai perėmė kelis vyresnio amžiaus sistemų iš.. Nordson KOVO straipsnio Plasmod, Super Plasmod, PM-600, Jupiteris RIE) plazmoje dalių ir visame pasaulyje paramą ir stato naujus reaktorius įvairių reikalavimų ir dydžių plazmoje. Mes suprantame, kad dauguma laboratorijos ir žmonės, kurie perka plazmoje sistemas reikia daug pagalbos prieš ir po pardavimo. Mes turime galimybę paleisti savo pavyzdžius, ir padėti jūsų sistemos įrengimo. Žara Moksliniai tyrimai bus apdoroti nemokamus pavyzdžius klientams, kad gali nusipirkti mūsų sistemos.

Nurodykite tinkamą sistemą:

OptiGlow naudoja kambario orą, kaip proceso dujų, 50 W, 100 kHz, aliuminio kamera. Paviršiaus modifikavimo. Mūsų pigiausia sistema pagal $ 11,000 (apima vakuuminį siurblį).

OptiGlow 75 naudoti su deguonies arba argono ir kitų dujų), 75 Watts, 100 kHz, aliuminio kamera. Paviršiaus pakeitimo (modifikavimo), Plazminiai valymo, prebond gydymas.

OptiGlow AKF naudoti su deguonis, argonas ar fluoro (CF4) tipas dujų. Du dujų srauto, anoduoti aliuminio kamerinės. Kintamasis 10 iki 150 vatų 13,56 MHz RF generatorius, Automatinis pritaikymas. RIE arba plazmos apdorojimo. Aktyvinti, sudeginimas, valymo ir ofortas. Idealiai tinka šalinant sluoksnius analizės defektu, ofortas filmų įvairovė.

AutoGlow-Iki trijų dujos, deguonies, argono arba kitos dujos, kvarcas kamera, 6 "substratai, kintamasis 10 į 300 vatų 13,56 MHz RF generatorius, Automatinis pritaikymas. Talpinė susietos, mygtukas, automatinis veikimas. Naudojamas valymo plazmos, prebond, ėsdinimo filmų, pašalinančių organinių, pašalinant fotorezistui.

AutoGlow 200 gali apdoroti 200 mm substratai ar 8 "ir kalėdaičiai). RIE arba plazmos apdorojimo. Iki trijų dujos, deguonis, argonas ar fluoras (CF4.) Tipo dujų, kintamasis 10 iki 300 vatų 13,56 MHz RF generatorius, Automatinis pritaikymas, anoduoto aliuminio kamera. Naudota, plazmos valymas, aktyvinimo, prebond, ofortas, pašalinti organinės, pašalinti fotorezistui.

AutoGlow Plazminiai sistema

Plazminiai valiklis. Šioje lentelėje viršų sistema gali būti naudojamas 10 vatų arba iki 300 vatai, 13,56 MHz kietojo generatorius, automatinis reguliavimas, slėgio skaityti iš, azoto prapūtimo, minkštu ventiliacines, trijų dujų įėjimai ir yra pažymėti CE ženklu, mažos galios. AutoGlow ateina su 24 mėnesių garantija. Puikiai gydyti PDMS, organinių medžiagų pašalinimas ar foto atsispirti pašalinimas. Turi kvarcinis kamerą ir gali apdoroti iki 6 "(150 mm), padėklų.

Plazma sistema AutoGlow gamybos fabriką, taip pat laboratorijos sukurta siekiant suteikti medicinos, mokslo, švietimo ir mikroelektronika bendruomenę su plazmos technologiją nedidelėmis išlaidomis. 2 metų garantija.

Didesnės AutoGlow sistemos su anoduoto aliuminio rūmų atitiktų klientų reikalavimus RIE arba plazminis apdorojimas). Nuotraukoje žemiau AutoGlow 200. Skirtas iki 200 mm (8 ") substratai ar lakštų, CF4, O2 arba Ar dujos, sistema gali būti naudojamos RIE ar plazmos mėginio vežėjui, kurį naudojate, priklausomai nuo apdorojimo. Ji turi anoduoti aliuminio kamerą, ir gali būti naudojama ėsdinimo, deginimo arba paviršius modificaiton,.

Sužinokite daugiau apie AutoGlow

OptiGlow Plazminiai sistemos  

shing, C leaning or E tching at 13.56 MHz. OptiGlow AKF skirta atlikti Plazminiai, A ctivation, Shing, C pakraipos arba E tching 13,56 MHz. OptiGlow AKF turi du dujų sąnaudas ir gali būti naudojami oro, deguonies,, ar CF4 tipo dujų. Ji anoduotas aliuminio kamerą ir gali būti naudojamas arba RIE ar plazminio apdorojimo. Puikiai tinka ilgo proceso ir pašalinti sluoksnių ant pakuotės arba puslaidininkių lustų. Naudojamas analizės atsisakymą, pašalinant fotorezistui, valymo organinės,, ofortas Parylene, paviršiaus apdorojimas ir daugybę kitų programų.

Standartinė OptiGlow sistema naudojama plazminio paviršiaus modifikavimo ir plazmos elgesį, Paviršiaus aktyvinimas. Kaina po 10.500 $ (JAV dolerių), tvirtas, stalo viršų OptiGlow, plazma sistema yra puikus gamybos arba laboratorijoje. Lengva naudoti ekrane kameros slėgis ir modulio statusą.

OptiGlow sistema yra pirmoji pigių plazmos sistema, kuri gali būti naudojama kontaktinių lęšių, didinant suvirinamumui ir komfortą. OptiGlow plazmos sistema yra taip pat idealiai tinka naudoti prieš danga, laminavimo ir garinimu, ir yra labai veiksmingas gydant platų substratais arba medžiagos.

OptiGlow 75 plazmos sistema yra panaši standartinio OptiGlow ir turi didesnį aliuminio kamera, 75 vatų galios ir galimybė naudoti iki dviejų įvesties dujų, pavyzdžiui, deguonies ar argonas. Gali būti naudojamas organinių medžiagų pašalinimas ir desorbavimu fotorezisto.

SputterGlow Dulkinamasis nusodinimo sistema

Puikus pasirinkimas deponuoti platų dielektrikuose ar metalų, su trijų tikslų. Iš pradžių suprojektuotas, deponuoti Si ₃ N ₄ ir neatspindinčia dangų saulės elementų kaip alternatyvą PECVD nes SputterGlow procesas nereikalauja pavojingų dujų, pavyzdžiui SIH ₄ nitrido nusėdimo. Sistema turi Stepper robotų, šildomi stotys ir reguliuojamas juosmens viršų kompiuteryje.

Nuosavybės plokštuminis magnetronas sukuria plazmą mažos ar didelės galios, priklausomai nuo jūsų poreikį. SputterGlow buvo sukurta siekiant užtikrinti proceso dulkių vientisumą ir panaudoti aliuminio kamera (išlaikyti kainos sumažėjo).

Sužinokite daugiau apie SputterGlow

Atstatytas sistemos

Žara Tyrimai perėmė pasaulinę atsakomybę už kelių vyresnio amžiaus vienetų iš Nordson KOVO kovo Plasmod kovo Super Plasmod, kovo PM-600 ir kovo, Jupiteris RIE sistemos). Dalys ir aptarnavimas Mes sustabdyti mūsų patirtį ir pasiūlyti atstatytas kovo ir Tegal plazmoje sistemos. atrodo Paimkite turime pasiūlyti ką atstatytas sistemų .