AutoGlow Plazminiai sistemos

AutoGlow plazmos sistema reaktoriaus stalviršis plazmos chemija, sukurta siekiant suteikti medicinos, mokslo, švietimo ir gamyba mikroelektronika bendruomenę su plazmos technologiją nedidelėmis išlaidomis. Sistema naudojama gamybai, taip pat MTTP centrai. Naudota argono plazmos, deguonies plazmos Plasma Coating, PDMS, deguonies plazmoje gydymo nuotrauka atsispirti valymas, FA paraiškas, Parylene pašalinimą, organinių medžiagų pašalinimas ir laboratorijos naudojimą.

Universitetams ir bendrovėms visame pasaulyje rasti AutoGlow plazmos sistema puikiai tinka jų kraujo plazmoje poreikius.

AutoGlow plazmos sistema yra veiksmingiausia sistema, jos rūšies rinkai, nes jos kintamojo 10 W iki 300 W, 13,56 MHz kietojo generatorius. AutoGlow plazmos sistema taip pat siekiama veiksmingai, suskirstymo sistema,, sukuriančio Reaktingųjų, kad bus greitai išvalyti arba pakeisti pavyzdžius skirtų dujų. Automatinis reguliavimas ir slėgio rodmenų. AutoGlow gali smogti plazmą mažiau kaip 10 vatų!!

Automatinis / mygtukinis operacija.

Žara tyrimų ėmėsi geriausius darbus senųjų sistemų, ir atnaujinamas plazmos, AutoGlow sistemą į esamas technologijas, įskaitant mūsų patentuota fazės dydžio detektoriumi ir SimpleMatch RF tinklu, leidžia efektyviai plazmos tuningas, ir suteikia galimybę greitai tvarkyti be problemų nuolat prisitaiko prie įvairių bandinio apkrovos. AutoGlow yra labai patikimas ir suteikia dvejų metų garantiją! Lengvai replaceble sistemos moduliai: RF generatorius, RD kėlinio tinklas, gaubtai modulis (žr. žemiau), kvarcas rūmai ir dujų valdymo modulis daugiau duomenų ir informacijos, prašome spausti "AutoGlow ypatumai" į dešinę šiame puslapyje. .

Štai ką neseniai Klientas turėjo pasakyti apie jų AutoGlow: "Viskas veikia gerai. Jis tiesiog chugs kartu taip, kaip turėtų. Aš sužavėtas, mes galime beveik visiškai pelenai AZ4620 atsispirti bent 125W per keletą minučių. Turiu kas nors taip pat naudojant jį apdorojus PDMS prieš klijuojant. Puikiai veikia, kad. "
 
Skirta sistema AutoGlow 200 iki 200 mm paviršius arba 8 plokštelių, ir gali atlikti RIE ar plazmos perdirbimo priklausomai nuo to, kuris naudojamas pavyzdys vežėjas. Anoduoti aliuminio kamera gali accomidate,, standartinį O2, AR, ar CF4 tipo dujų už ofortas programas. Gerai įrodyta elektroninė RF generatorius, suderinti tinklą ir dujų kontrolė yra tas pats kaip aukščiau standartinio AutoGlow. Prašome susisiekti Glow Tyrimai Daugiau informacijos apie 200 AutoGlow.
AutoGlow 200 turi tą patį statusą diagnostikos kortelę kaip AutoGlow, kuris patvirtina, kad visi sub-moduliai veikia tinkamai. Teisės sistema
rodomas su papildomu azoto kameros ventiliacijos purge.
AutoGlow 200 gali būti naudojamas plazmos aktyvacija paraiškas Variety, valymas, organinės šalinimo, išankstinio nusėdimo valymo,   taip pat įvairių ėsdinimo paraiškas.
 
 
 
 
 

MTI turi AutoGlow Stata centro, kuris naudojamas įvairių biomedicinos ir micro-fluidics tyrimų. Nuotraukoje yra Geraldine Paulus, doktorantas, atsakingas už į AutoGlow 66 pastato MIT Landau, Statyba Lab »).

 
 
 

"Ryžiai universiteto turi, TRIUKŠMAS Research Lab AutoGlow. Sistema yra naudojama pašalinti, polimero atsispirdama paraiškų plasmonics ir fotonikos. Nuotraukoje yra Lisa Brown doktorantas, kuris naudoja AutoGlow parengti mėginių paviršiaus glaudesnio molekulinės spektroskopijos. "

Harvardo universiteto AutoGlow sistema Gordon McKay Lab ". Sistema naudojama organinių medžiagų pašalinimas, paviršiaus modifikavimo ir tarnauja keletas mokslininkų, dirbančių DNR moksliniams tyrimams ir žmogaus genomo iššifravimas poreikius. Nuotraukoje yra Gordonas Whitlock, Glow tyrimų Pirmininkas.

Nuotraukoje yra AutoGlow Microsystems Technology Lab MIT. Šis AutoGlow yra naudojamas fotorezisto šalinimo, valymo ir paviršiaus modifikavimo. Ši laboratorija atlieka tyrimus MEMS, BioMEMS, nanotechnologijų ir Fotoniki.