SputterGlow Dulkinamasis nusodinimo sistema

Plona plėvele sistema, Dulkinamasis, PVD, Thin Film nusodinimas, vakuminiam, metalo ar dielektrine plona plėvele nusėdimas. , Žara tyrimų SputterGlow yra lankstus dulkinio nusodinimo sistema, skirta apdoroti plokštieji vafliai 200mm, 156mm x 156mm saulės elementų ar mažesnių plokštelių, įskaitant gabalus vafliams. SputterGlow gali turėti iki trijų keičiamų procesų stočių kiekviena stotis gali būti sukonfigūruota, šildymui, dulkinio nusodinimo ar dulkinamuoju ofortas). SputterGlow pradžių buvo sukurtas, deponuoti Si 3 N 4 antireflective dangos fotovoltinius elementus, ir gali būti naudojamas, dulkinio deponavimo platų dielektrikuose ar metalų.

Fotoelektriniai inžinieriai rado SputterGlow būti puiki alternatyva Plazma sustiprinto cheminio garų nusodinimo (PECVD), nes SputterGlow procesas nereikalauja silanas (SIH 4) nitrido nusėdimo.

Kartu su didžiulis sąnaudų taupymo nereikia brangios palengvinimo ar saugai, kliūtys, daugelis mokslininkai jaustis yra svarių privalumų naudojant dulkinimo būdu padengtą filmą per galutinį pasyvavimas / neatspindinčia danga, todėl aukštojo efektyvumo fotovoltinės ląstelių. SputterGlow buvo sukurtas John Reche. Dėl John Reche fone, spauskite "Apie mus" šioje svetainėje.

Lankstumas

Su tris kamerinių stočių, SputterGlow gali būti naudojamas įvairių apdorojimo poreikius. Individualūs stotys pakaitomis gali būti naudojama šildymo, apipurškiant arba, ėsdinimo su tinkamo pasirinkimo galimybių pirkti arba modifikuojamos vėliau. SputterGlow yra puikus pasirinkimas, mokslinių tyrimų ar mažos apimties gamybos programas.

Rūmai Sąžiningumas / sąnaudos

Dulkių testavimas

SputterGlow buvo sukurta siekiant užtikrinti proceso dulkių vientisumą ir panaudoti aliuminio kamera (išlaikyti kainos sumažėjo). Kamera buvo helio nutekėjimas išbandytas iki 6,5 x 10 -10 mbar visi prievadai blokuojami (4,8 x 10 -10 Torr).

Užsakymą suprojektuoti aliuminio kamera leidžia 3X kainų sumažinimo, palyginti su to paties kalibro nerūdijančio plieno kameroje. SputterGlow gali veikti labai mažos galios 25 vatų mažiau agresyvios perdirbimui), 1 kW agresyvesnis dulkinamąjį nusodinimą.

Užsakymą suprojektuoti aliuminio kamera leidžia 3X kainų sumažinimo, palyginti su to paties kalibro nerūdijančio plieno kameroje. Rūmai yra 34 "diametras x 11" aukščio.

Patentuotas dizainas

Nuosavybės plokštuminis magnetronas naudojamas generuoti plazmą. Šis dizaino ilgesnį gyvenimą dengimo tikslą ir pagerinti nusodinimo vienodumo dėl substrato. Žara tyrimų nuosavybės plokštuminis magnetronas taip pat bus sustiprintas dengimo greičio ir sumažinti šilumos perdavimą į substratą.

PC Kompiuterio valdymo

Rankinis arba juosmens Top Kompiuterių kontrolė

Integruotas mikroprocesorius kontroliuoja plokštelių transporto sistemos, vaflinių pjedestalo pozicijos, vakuumo ir dujų vožtuvų atidarymo varikliai, ir tt vartotojo kontroliuoja nusodinimo procesą atsisiųsti receptą iš savo asmeninio nešiojamojo kompiuterio komplekte nėra). Integruotas mikroprocesorius yra prijungtas prie nešiojamojo kompiuterio per USB prievadą. Vartotojas gali pritaikyti savo procesą su Glow tyrimų patentuotą sekos programą, arba pasirinkti bet kurį iš anksto nustatytą procesą, buvo atsisiųsti į savo kompiuterį.

Maitinimo šaltiniai

SputterGlow gali būti konfigūruojamas su RF, DC ar pulsuojančios nuolatinės srovės maitinimo šaltiniai. SputterGlow deponuoti gali būti naudojamos įvairios medžiagos ... dielektrikų, puslaidininkių, metalų ir magnetinių medžiagų. Impulsinis srovės gali būti naudojamas vietoj RF tiekimo su pašalinant tuningas tinklą pranašumą. Nuolatinės srovės šaltinis gali nurodyti, jei metalais arba magnetinėmis medžiagomis būti tik dulkių.