SputterGlow Įranga

  • Reaktyvinį dulkinamąjį nusodinimą, Si 3 N 4 ar kitų filmų
  • Pašalinami reikia silanas dujų
  • Lengva, Palengvinti laboratorijoje, Pavojingi Dujos Reikalingi
  • Iki trijų tikslų
  • Indėlių dielektrikai arba Metalai
  • 200 mm Vafliai arba mažesni), arba 156 mm x 156 mm saulės elementai
  • Šildymo parinktys iki 400 º C)
  • 1200 W, 13,56 MHz RF generatorius
  • Automatinis reguliavimas
  • Turbo ir Viršutinis Siurblio
  • Vandeniu aušinama magnetroninio dulkinimo būdu
  • Žingsniniai Kontroliuojama Substratas kėlimas
  • Matuokliai Kompiuterių arba Rankinis valdymas
  • MFC dujų kontrolė.
  • LED diagnostika

Funkcijos

  • Substratas paklaidos
  • RGA
  • Recirkuliaciniai Tikslinė aušinimas
  • Peržiūros sritį Windows "

Visi SputterGlow sistemos ateina su 12 mėnesių garantija, savininko vadovą vaizdo tinkamai nustatyta sistema ir eksploatavimo. Žara Moksliniai tyrimai taip pat suteiks vietoje lauko aptarnavimo, pradėti sistemos.

Dėl papildomos informacijos prašome skambinti Glow tyrimų JAV 480-621-8405 arba Parašykite mums .