Plazmas Cleaners, Plazmas Etchers, plazmas Ashers un izsmidzināšanas pārklāšanas (PVD) sistēmas nodrošina Glow Research. Svelme Pētniecība ražo AutoGlow plazmas sistēmas, OptiGlow plazmas sistēmas un SputterGlow izsmidzināšanas pārklāšana (PVD) sistēmas. Svelme Pētījumi ir pārņēmusi daļu un pasaulē Atbalstu vairākiem vecākiem plazmas sistēmu no Nordson martā (Plasmod, Super Plasmod, PM-600, Jupiters Rie) un būvē jaunus plazmas reaktorus dažādām prasībām un izmēriem. Mēs saprotam, ka lielākā daļa laboratoriju un cilvēki, kas pērk plazmas sistēmas prasa lielu palīdzību, pirms un pēc pārdošanas. Mums ir iespēja palaist savu paraugu, un palīdzēt ar uzstādīšanu savā sistēmā. Svelme Pētniecība apstrādāt bezmaksas paraugus Klientiem, kas varētu vēlēties iegādāties mūsu sistēmu.

Izvēle tiesības sistēma:

OptiGlow lietojumi istabas gaisu kā procesa gāzes, 50 vati, 100 kHz, alumīnija kameru. To virsmas modificēšanai. Mūsu zemāko cenu sistēmu, saskaņā ar 11.000 $ (ietver vakuuma sūkni).

OptiGlow 75-izmantošanai ar skābekli un argonu (un citas gāzes), 75 vati, 100 kHz, alumīnija kameru. Uz virsmas pārveidošana, plazmas tīrīšana, prebond ārstēšana.

OptiGlow AKE lietošanai ar skābekli, argonu vai fluoru (CF4) tipa gāzes. Divi gāzes caurplūdes mērītājus, anodēta alumīnija kamera. Mainīgs 10-150 vatu 13,56 MHz RF ģenerators, autotune. Rie vai plazmas apstrādes. Aktivācijai, pārpelnošanas, tīrīšanas un kodināšanas. Ideāls noņemšanai slāņi par kļūdu analīzei, etching dažādas filmas.

AutoGlow-Līdz trim gāzes-skābekļa, argona vai citas gāzes, kvarca kamera, 6 "substrāti, mainīgs 10-300 vatu 13,56 MHz RF ģenerators, autotune. Capacitive saistītais, spiediet pogu automātiskā darbība. Izmanto plazmas tīrīšana, prebond, kodināšanas filmas, atceļot organisko, noņemot photoresist.

AutoGlow 200-var apstrādāt 200 mm substrāti (vai 8 "vafeles). Rie vai plazmas apstrādes. Līdz trim gāzes un skābekļa, argona vai fluoru (CF4) tipa gāzes, mainīgā 10-300 vatu 13,56 MHz RF ģenerators, autotune, anodēta alumīnija kamera. Izmanto plazmas tīrīšanai, aktivācijas, prebond, oforts, novēršot organisko, noņemot photoresist.

AutoGlow Plazmas sistēma

Plazmas Apkopēja. Šī galda sistēma var tikt izmantota ar zemu jaudu 10 vati vai līdz 300 Watts, 13.56 MHz cietvielu ģenerators, automātisko ieregulēšanu, spiediens lasīt ārā, slāpekļa tīrīšana, mīksto ventilācijas, trim gāzes ieejas un ir CE marķējums. AutoGlow nāk ar 24 mēnešu garantiju. Ideāls ārstēšanai PDMS, organisko noņemšanas vai foto pretoties izvešana. Ir kvarca kamerā un var apstrādāt līdz pat 6 "(150 mm) pamatnēm.

AutoGlow plazmas sistēma tiek izmantota ražošanas rūpnīcās, kā arī laboratorijas izstrādāta, lai sniegtu medicīnisku, zinātnisku, izglītojošu un mikroelektronika sabiedrību ar plazmas tehnoloģiju mērenā izmaksām. Ietilpst 2 gadu garantija.

Lielāki AutoGlow sistēmas ir pieejamas ar anodēta alumīnija kamerām, lai ietilptu Klienta prasībām (Rie vai plazmas apstrādes). Attēlā zemāk ir AutoGlow 200. Paredzētas līdz 200 mm (8 ") pamatnes vai vafeles, CF4, O2 vai Ar gāzi, sistēma var tikt izmantoti Rie vai plazmas apstrādes Atkarībā no parauga pārvadātājam jūs izmantojat. Tā ir anodēta alumīnija kamerā un var tikt izmantota kodināšanu, pārpelnošana vai virsmas modificaiton.

Uzzini vairāk par AutoGlow

OptiGlow Plazmas sistēmas  

shing, C leaning or E tching at 13.56 MHz. OptiGlow AKE ir paredzēts veikt Plazmas A ctivation, kas Shing, C noliekšanas vai E tching pie 13,56 MHz. OptiGlow ACE ir divas gāzes ieejas un var izmantot ar gaisu, skābekli, vai CF4 tipa gāzes. Tā ir anodēta alumīnija kamerā un var tikt izmantots vai nu Rie vai plazmas apstrādes. Liels ilgstošs process, un noņemšanai slāņi par iepakojumu vai pusvadītāju mikroshēmas. Izmanto neveiksmes analīzei, novēršot photoresist, tīrīšanas organiskās, etching Parylene, virsmas apstrāde un vairākas citas lietojumprogrammas uzņēmējā.

Standarta OptiGlow sistēma tiek izmantota Plazmas virsmas modificēšanai un plazmas apiešanos Virsmas aktivizācijas. Cena ar 10,500 $ (USD), izturīga, galda OptiGlow plazmas sistēma ir ideāli piemērota ražošanas vai laboratorijas pieteikumiem. Viegli lietot ar displeja kameras spiedienu un moduļa statusu.

OptiGlow sistēma ir 1. zemo izmaksu plazmas sistēma, kas var tikt izmantoti, lai palielinātu mitrināmības un komfortu kontaktlēcu. OptiGlow plazmas sistēma ir ideāls lietošanai pirms pārklāšanas, laminēšana un uzklāšanas procesu, un ir ļoti efektīvs izturoties pret plašu substrātu vai materiālus.

OptiGlow 75 plazmas sistēma ir līdzīga standarta OptiGlow un ir lielāku alumīnija kameru, 75 vatu jaudu un iespēja izmantot līdz diviem ieejas gāzēm, piemēram, skābekļa vai argonu. Var izmantot bioloģiskajā noņemšanai un noņemšanā photoresist.

SputterGlow izsmidzināšanas pārklāšanas sistēmas

Perfekta izvēle noguldīt plašu dielektriķa vai metāla, ar līdz pat trim mērķiem. Sākotnēji paredzēts deponēt Si ₃ N ₄ pret atstarojošiem pārklājumiem uz saules šūnas, kā alternatīvu izmantojot PECVD-jo SputterGlow process neprasa bīstamas gāzes, piemēram, ₄ SiH par nitrīda uzklāšanai. Sistēma ir Stepper robotika, el stacijas, un tiek kontrolēts ar klēpja top datoru.

Patentētu plakana magnetrons rada plazmu ar zemu vai augstu jaudu, atkarībā no Jūsu vajadzībām. SputterGlow tika izstrādāta, lai nodrošinātu procesa vakuuma integritāti un izmantot alumīnija kameras (lai saglabātu lētāki).

Uzzini vairāk par SputterGlow

Pārbūvētiem sistēmas

Svelme Pētījumi ir pārņēmusi pasaules atbildības daļu un apkalpošanas uz vairākiem vecākiem vienībām no Nordson martā (martā Plasmod, marts Super Plasmod, marts PM-600 un martā Jupiters Rie sistēmas). Mēs paliksim ar mūsu pieredzi un piedāvāt pārbūvētu martā un Tegal plazmas sistēmām. Veikt apskatīt to, kas pārbūvēta sistēmu mums ir piedāvāt .