Plazmas Cleaners, Plazmas Etchers, Plazmas Ashers un uzputināšanu (PVD) sistēmu nosaka Glow Research. Glow Research neražo jauno AutoGlow plazmas tīrītājs / ofortists, OptiGlow plazmas sistēmu un SputterGlow uzputināšanu (PVD) sistēmām. Glow Pētniecībai ir arī pārņēmusi daļu un visā pasaulē atbalstu vairākiem vecākiem plazmas sistēmas no Nordson MARTA (Plasmod, Super Plasmod, PM-600, Jupiter RIE) un būvē jaunu plazmas reaktoru dažādas prasības un izmēriem. Mēs saprotam, ka lielākā daļa laboratorijas un cilvēki, kas pērk plazmas sistēmām nepieciešama liela palīdzība pirms un pēc pārdošanas. Mums ir iespēja palaist savu paraugus, un palīdzēt ar uzstādīšanu jūsu sistēmā. Glow Pētniecība process bezmaksas paraugus klientiem, varat iegādāties mūsu sistēmu.

AutoGlow Plazmas System

Plazmas Cleaner. Var tikt izmantots pie zemas gada 10 vati jaudas vai līdz 300 vati, 13,56 MHz cietvielu ģenerators, automātisko meklēšanu, spiediena nolasīšanas, slāpekļa caurpūšanas, mīksta ventilācijas, trīs gāzes ieejas, un ir CE marķējums. AutoGlow nāk ar 24 mēnešu garantija. Perfect ārstēšanai PDMS, organiskās aizvākšana vai foto pretoties izvešana.

AutoGlow plazmas sistēmu izmanto ražošanas rūpnīcām, kā arī laboratorijas, kas paredzēti, lai nodrošinātu medicīnas, zinātnes, izglītības un mikroelektronikai sabiedrību ar plazmas tehnoloģiju mērenu maksu. Ietilpst 2 gadu garantija.

Lielāki AutoGlow sistēmas ir pieejamas ar anodēta alumīnija kamerām, lai atbilstu klienta prasībām. AutoGlow sistēmas var apstrādāt 200 mm (8 ") plāksnēm.

Uzziniet vairāk par AutoGlow

SputterGlow uzputināšanu sistēmas

Lieliska izvēle, lai noguldījumu dielektriķa vai metāliem, līdz trīs mērķus. Sākotnēji paredzēti, lai deponētu Si ₃ N ₄ pretatstarošanās pārklājumu uz saules baterijām, kā alternatīvu PECVD-jo SputterGlow process neprasa bīstamas gāzes, piemēram, ₄ SiH par nitrīda uzkrāšanos. Sistēma ir Stepper robotika, apsildāmi stacijas, un tiek kontrolēts ar klēpja top datoru.

Patentētu Planar magnetrons rada plazmu ar zemu vai augstu jaudu atkarībā no Jūsu vajadzībām. SputterGlow tika izstrādāta, lai nodrošinātu procesa vakuuma integritāti un izmantot alumīnija kameras (lai saglabātu cenu uz leju).

Uzziniet vairāk par SputterGlow

OptiGlow Plazmas Systems

Izmanto Plazmas virsmas pārveidošanas un plazmas apstrāde, Virsmas aktivizēšana. Cena ar 10,500 $ (USD), izturīga, galda OptiGlow plazmas sistēma ir ideāli piemērota ražošanas vai lab programmas. Viegli izmantot. Displejs kameras spiedienu un moduļa statusu.

OptiGlow sistēma ir pirmā zemo cenu plazmas sistēmu, ko var izmantot, lai palielinātu mitrināmības un komfortu kontaktlēcu un dažādiem materiāliem. OptiGlow plazmas sistēma ir ideāli piemērots izmantošanai līdz pārklāšanas, laminēšanas un nogulsnēšanās procesu, un tas ir ļoti efektīvs, ārstējot plašu substrātu vai materiālus. Izmantots Bio MEMS un MicroFluidics.

OptiGlow 75 plazmas sistēma ir kā standarta OptiGlow, bet ar ar 75 vatu jaudu un iespēju izmantot līdz diviem ievades gāzes, piemēram, skābekļa vai argonu.

leaning or E tching at 13.56 MHz. OptiGlow ACE ir paredzēts veikt shing, C tieksme vai E tching pie 13,56 MHz. OptiGlow ACE ir paredzēta līdz diviem gāzes ieejas un to var izmantot ar CF4 tipa gāzēm. Anodēta alumīnija kameras un vai nu RIE vai plazmas nosacījumiem. Great ilgs process, un novēršot slāņu uz iesaiņojumiem vai pusvadītāju mikroshēmas.

OptiGlow ACE (Tīrīšana, pārpelnošanas, gravēšana ar kodināšanu)

Uzziniet vairāk par OptiGlow sistēmas

Pārbūvēta Systems

Glow Pētījumi ir pārņēmusi pasaules mēroga atbildība par daļas un serviss vairākus vecākiem vienībām Nordson MARTA (March Plasmod, martā Super Plasmod, March PM-600 un martā Jupiteru RIE sistēmas). Mēs palikt kopā ar savu pieredzi un piedāvāt pārbūvēta martā un Tegal plazmas sistēmām. Paņem aplūkot to, ko pārbūvēja sistēmas mums ir piedāvāt .