Плазма Чистачите, плазма Etchers, плазма Ashers и ломотене крстот (PVD) системи се предвидени со Glow истражување. Glow истражување произведува нови AutoGlow плазма почиста / etcher, на OptiGlow плазма системи и SputterGlow ломотене таложење (PVD) системи. Glow Истражувањето, исто така има преземено во текот на делови и во светот поддршка за неколку постари плазма системи од Nordson март (Plasmod, супер Plasmod, премиерот-600, Јупитер Rie) и гради нов плазма реактори за различни барања и големини. Ние разбираме дека повеќето лаборатории и луѓе кои ги купите плазма системи бараат голем дел од помош, пред и по продажбата. Имаме можност да се кандидира на вашиот примероци, и да им помогне со инсталација на вашиот систем. Glow истражување ќе процесот на бесплатни примероци за клиенти кои можеби ќе сакате да купите нашите системи.

AutoGlow Плазма систем

Плазма почисто. Може да се користи во ниска моќност од 10 вати или до 300 вати, 13,56 MHz цврста состојба генератор, автоматско подесување, притисок за читање надвор, азот чистка, меки вентилациски, три гас влезови и CE обележани. На AutoGlow доаѓа со 24 месеци гаранција. Совршен за лекување на PDMS, органски отстранување или фото-спротивстави на отстранување.

На AutoGlow плазма систем се користи во производството фабрики, како и лаборатории-дизајниран за да обезбеди медицински, научни, образовни и микроелектрониката заедница со плазма технологијата на умерено цена. Вклучува 2 години гаранција.

Поголемите AutoGlow системи се достапни со елоксирани алуминиумски комори за да ги собере побарувањата на клиентите. AutoGlow системи можат да процес 200 mm (8 ") оспорува.

Дознајте повеќе за AutoGlow

SputterGlow ломотене Симнувањето систем

Одличен избор за депозит диелектрици или метали, со до три цели. Првично наменета за депозит Si _{3 4} N анти-рефлективен обвивките на соларни ќелии како алтернатива за користење PECVD-бидејќи процесот SputterGlow не бара опасни гасови, како што SiH ₄ за нитрид навредување. Системот stepper роботиката, загреана станици, и е контролиран со лап-топ компјутер.

Комерцијален рамни магнетронно генерира плазма со ниска или висока моќност во зависност од вашата потреба. На SputterGlow е дизајниран да обезбеди процесот на вакуум интегритет и користат на алуминиум комора (за да се задржи цената надолу).

Дознајте повеќе за SputterGlow

OptiGlow Плазма системи

Се користи за плазма површинско Измена и плазма лечење, површинско активација. Цена под 10.500 $ (УСД), на здрав, маса-топ OptiGlow плазма систем не е совршен за производство или лабораторија апликации. Лесен за користење. Покажи за камерна притисок и модул статус.

Системот OptiGlow е првиот ниска цена плазма систем кој може да се користи за зголемување на wettability и удобноста на контактни леќи и различни материјали. Плазма OptiGlow систем е идеален за употреба пред слој, ламиниране и таложење процеси, и е многу ефикасна во лекувањето на широк спектар на супстрати или материјал. Се користи во Био MEMS и MicroFluidics.

На OptiGlow 75 плазма систем е како стандард OptiGlow, но со со 75 вати електрична енергија и можноста да се користи до две влез гасови, како кислород или аргон.

leaning or E tching at 13.56 MHz. На OptiGlow АКЕ е дизајниран за вршење на Shing, Ц потпирајќи се или Е tching во 13,56 MHz. На OptiGlow АКЕ е наменета за до две гасови влезови и може да се користи со CF4 тип гасови. Елоксирани алуминиумски Комората и за било услови Rie или плазма. Одлична за долг процес и отстранување на слоеви на пакети или полупроводници чипови.

OptiGlow ACE (чистење, Ashing, гравирање)

Дознајте повеќе за OptiGlow системи

Обновил системи

Glow Истражувањата направени во текот на целиот свет одговорноста за делови и услуги за неколку постарите единици од Nordson март (март Plasmod, март Супер Plasmod, март PM-600 и март Јупитер Rie системи). Ние остануваме со нашата експертиза и нудат обновил март и Tegal плазма системи. Погледнете што обновил системи го имаат да понудат .