Чистачите плазма, плазма Etchers, плазма Ashers и ломотене крстот (PVD) системи се обезбедени од вжарена истражување. Сјај истражување произведува AutoGlow плазма системи, OptiGlow плазма системи и SputterGlow ломотене навредување (PVD) системи. Сјај Истражувањата направени во текот на делови и во светот поддршка за неколку постари плазма системи од Nordson март (Plasmod, супер Plasmod, PM-600, Јупитер Rie) и гради нов плазма реактори за различни барања и големини. Ние разбираме дека повеќето лаборатории и луѓе кои ги купите плазма системи бараат голем дел од помош, пред и по продажбата. Имаме можност да се кандидира на вашиот примероци, и да им помогне со инсталација на вашиот систем. Сјај истражување ќе ги обработува бесплатни примероци за клиенти кои можеби ќе сакате да купите нашите системи.

Избор на вистинскиот систем:

OptiGlow-користи собниот воздух, како и процесот гас, 50 вати, 100 kHz, алуминиум комора. За површинска промена. Нашите најниската цена систем под 11.000 $ (вклучува вакуум пумпа).

OptiGlow 75-за употреба со кислород или аргон (и други гас), 75 вати, 100 kHz, алуминиум комора. За површинска промена, плазма чистење, prebond третман.

OptiGlow АКЕ-за употреба со кислород, аргон или флуор (CF4) тип гас. Две гас дебитомери, елоксирани алуминиумски комора. Променлива 10-150 вати 13,56 MHz RF генератор, autotune. Rie или плазма обработка. За активација, ashing, чистење и гравирање. Идеален за отстранување на слоеви за анализирање на грешката, офорт различни филмови.

AutoGlow-до три гасови-кислород, аргон или други гасови, кварц комора, 6 "супстрати, променлива 10-300 вати 13,56 MHz RF генератор, autotune. Капацитивни заедно, едно притискање на копчето автоматско работење. Се користи за плазма чистење, prebond, офорт филмови, отстранување на органските, отстранување фотоотпорни.

AutoGlow 200-може да процесира 200 mm супстрати (или 8 "оспорува). Rie или плазма обработка. До три гасови-кислород, аргон или флуор (CF4) тип гас, променлива 10-300 вати 13,56 MHz RF генератор, autotune, елоксирани алуминиумски комора. Се користи за плазма чистење, активирање, prebond, бакропис, отстранување на органските, отстранување фотоотпорни.

AutoGlow Плазма систем

Плазма почисто. Оваа табела-топ систем може да се користи во ниска моќност од 10 вати или до 300 вати, 13,56 MHz цврста состојба генератор, автоматско подесување, притисок за читање надвор, азот чистка, меки вентилациски, три гас влезови и е CE обележани. На AutoGlow доаѓа со 24 месеци гаранција. Совршен за лекување на PDMS, органски отстранување или фото-спротивстави на отстранување. Има кварц комора и може да процесира до 6 "(150 мм) супстрати.

На AutoGlow плазма систем се користи во производството фабрики, како и лаборатории-дизајниран за да обезбеди медицински, научни, образовни и микроелектрониката заедница со плазма технологијата на умерено цена. Вклучува 2 години гаранција.

Поголемите AutoGlow системи се достапни со елоксирани алуминиумски комори за да ги собере побарувањата на клиентите (Rie или плазма обработка). На фотографијата подолу е AutoGlow 200. Наменета за до 200 mm (8 ") супстрати или оспорува, CF4, О2 или Ар гас, системот може да се користи за Rie или плазма обработка во зависност од примерокот превозникот кој го користите. Таа има елоксирани алуминиумски комора и може да се користи за гравирање, ashing или површински modificaiton.

Дознајте повеќе за AutoGlow

OptiGlow Плазма системи  

shing, C leaning or E tching at 13.56 MHz. На OptiGlow АКЕ е дизајниран за вршење на Плазма А ctivation, А shing, Ц наклонета или Е tching во 13,56 MHz. На OptiGlow АКЕ има две бензински влезови и може да се употреби со воздух, кислород, или CF4 тип гасови. Таа има елоксирани алуминиумски комора и може да се користи за било Rie или плазма обработка. Одлична за долг процес и отстранување на слоеви на пакети или полупроводници чипови. Се користи за анализирање на грешката, отстранување фотоотпорни, чистење органски, офорт Parylene, површинска обработка и мноштво на други апликации.

Стандард OptiGlow систем се користи за плазма површина модификација и плазма лечење, Површинска активација. Цена под 10.500 $ (УСД), на здрав, маса-топ OptiGlow плазма систем не е совршен за производство или лабораторија апликации. Лесен за употреба со дисплеј за камерна притисок и модул статус.

На системот OptiGlow е првиот ниска цена плазма систем кој може да се користи за зголемување на wettability и удобноста на контактни леќи. На OptiGlow плазма систем е идеален за употреба пред премачкување, ламиниране и таложење процеси, и е многу ефикасна во лекувањето на широк спектар на супстрати или материјал.

На OptiGlow 75 плазма систем е сличен на стандард OptiGlow и има поголем алуминиум комора, 75 вати електрична енергија и можноста да се користи и до две влез гасови, како што кислород или аргон. Може да се користи за органско отстранување и одземање на фотоотпорни.

SputterGlow ломотене Симнувањето систем

Одличен избор да се депонира на широк опсег на диелектрици или метали, со до три цели. Првично наменета за депонира Si 3 N 4 анти-рефлективен обвивките на соларни ќелии како алтернатива за користење на PECVD-бидејќи процесот SputterGlow не бара опасни гасови, како што се SiH 4 за нитрид навредување. Системот има stepper роботиката, загреан станици, и е контролиран со лап-топ компјутер.

Комерцијален рамни магнетронно генерира плазма со ниска или висока моќност, во зависност од вашата потреба. На SputterGlow беше дизајниран за да обезбеди процесот на вакуум интегритет и користат една алуминиумска комора (за да се задржи цената надолу).

Дознајте повеќе за SputterGlow

Обновил системи

Сјај Истражувањата направени во текот на целиот свет одговорноста за делови и сервис за неколку постарите единици од Nordson март (март Plasmod, март Супер Plasmod, март PM-600 и март Јупитер Rie системи). Ние остануваме со нашата експертиза и понуда обновил март и Tegal плазма системи. Погледнете што обновил системи што имаат да понудат .