Влегувам на фоторезист

На AutoGlow плазма систем може да се користи за одземање на фоторезист. Повеќето корисници користат кислород плазма да се отстрани фотоотпорни од различни оспорува видови (силикон, GaAs, силициум карбид, силициум нитрид супстрати). Автоматски дизајн на AutoGlow плазма систем ќе ви овозможи лесно и без надзор операција.

Ниска температура ashing е ефикасно средство за подготвување на мостри за широк спектар на аналитички методи. На кислород плазма нежно ќе оксидираат органски материјал оставајќи inorganics зад себе. Примероци како што се растителните или животинските ткива може да се ashed напуштање на три димензионална структура недопрена за анализа микроскоп. Ashing стапки се околу еден грам на час, па на плазма AutoGlow систем авто-мелодија функција е добро прилагодени за надзор операција. На AutoGlow плазма систем може да се користи за чистење на пренос на ќелиите, прозорци и микроскоп слајдови.