Pembersih plasma, Etchers Plasma, Ashers Plasma dan terbatuk-batuk Pemendapan (PVD) sistem yang disediakan oleh Penyelidikan Glow. Penyelidikan glow mengeluarkan plasma sistem AutoGlow, OptiGlow plasma sistem dan SputterGlow terbatuk-batuk pemendapan (PVD) sistem. Penyelidikan glow telah mengambil alih bahagian dan sokongan di seluruh dunia untuk sistem plasma beberapa yang lebih tua dari Nordson MAC (Plasmod, Super Plasmod, PM-600, Musytari Rie) dan membina reaktor plasma baru untuk memenuhi keperluan dan pelbagai saiz. Kami memahami bahawa kebanyakan makmal dan orang-orang yang membeli sistem plasma memerlukan banyak bantuan sebelum dan selepas jualan. Kami mempunyai keupayaan untuk menjalankan sampel anda, dan membantu dengan pemasangan sistem anda. Penyelidikan glow akan memproses SAMPEL PERCUMA untuk Pelanggan yang mungkin ingin membeli sistem kami.

Memilih Sistem yang Betul:

OptiGlow menggunakan udara bilik sebagai gas proses, 50 watt, 100 kHz, ruang aluminium. Bagi pengubahsuaian permukaan. Sistem harga terendah kami di bawah $ 11,000 (termasuk pam vakum).

OptiGlow 75 untuk kegunaan dengan oksigen atau argon (dan gas lain), 75 watt, 100 kHz, ruang aluminium. Untuk pengubahsuaian permukaan, pembersihan plasma, prebond rawatan.

OptiGlow ACE-untuk kegunaan dengan oksigen, argon atau fluorin (CF4) jenis gas. Dua flowmeters gas, ruang anodized aluminium. Pembolehubah 10 hingga 150 watt 13,56 MHz RF penjana, AutoTune. Rie atau pemprosesan plasma. Untuk pengaktifan, ashing, pembersihan dan punaran. Ideal untuk menghapuskan lapisan untuk Analisis Kegagalan, punaran pelbagai filem.

AutoGlow Sehingga tiga gas-oksigen, argon atau gas lain, ruang kuarza, 6 "substrat, pembolehubah 10 hingga 300 watt 13,56 MHz RF penjana, AutoTune. Kapasitif ditambah pula, operasi push butang automatik. Digunakan untuk pembersihan plasma, prebond, filem punaran, organik mengeluarkan, mengeluarkan photoresist.

AutoGlow 200-boleh memproses 200 substrat mm (atau 8 "wafer). Rie atau pemprosesan plasma. Sehingga tiga gas oksigen, argon atau fluorin (CF4) jenis gas, pembolehubah 10 hingga 300 watt 13,56 MHz RF penjana, AutoTune, aluminium ruang anodized. Digunakan untuk pembersihan pengaktifan plasma,, prebond, menggores, mengeluarkan organik, photoresist mengeluarkan.

Sistem AutoGlow Plasma

Cleaner plasma. Sistem-atas meja ini boleh digunakan pada tenaga rendah sebanyak 10 watt atau sehingga 300 watt, 13,56 MHz negeri pepejal penjana, penalaan automatik, tekanan membaca keluar, purge nitrogen, pembolongan lembut, tiga input gas dan ditandakan CE. AutoGlow datang dengan jaminan selama 24 bulan. Sempurna untuk merawat PDMS, penyingkiran organik atau foto menentang penyingkiran. Mempunyai ruang kuarza dan boleh memproses sehingga 6 "(150 mm) substrat.

Sistem AutoGlow plasma digunakan di kilang-kilang pengeluaran serta makmal-direka untuk menyediakan komuniti perubatan, sains, pendidikan dan mikroelektronik dengan teknologi plasma pada kos yang sederhana. Termasuk jaminan 2 tahun.

Sistem AutoGlow yang lebih besar boleh didapati dengan dewan aluminium yang anodized kepada sesuai dengan keperluan Pelanggan (Rie atau Plasma pemprosesan). Gambar di bawah adalah 200 AutoGlow. Direka untuk sehingga 200 mm (8 ") substrat atau wafer, CF4, O2 atau Ar gas, sistem ini boleh digunakan untuk Rie atau pemprosesan plasma bergantung kepada pembawa sampel yang anda gunakan. Ia mempunyai ruang anodized aluminium dan boleh digunakan untuk punaran modificaiton, pengabuan atau permukaan.

Dapatkan maklumat lanjut mengenai AutoGlow

OptiGlow Plasma Systems  

shing, C leaning or E tching at 13.56 MHz. ACE OptiGlow direka untuk melaksanakan Plasma A ctivation, shing A, C berhaluan atau E tching pada 13,56 MHz. ACE OptiGlow mempunyai dua input gas dan boleh digunakan dengan oksigen udara, atau CF4 gas jenis. Ia mempunyai ruang anodized aluminium dan boleh digunakan untuk pemprosesan sama ada Rie atau Plasma. Hebat untuk proses yang panjang dan membuang lapisan pakej atau cip semikonduktor. Digunakan untuk Analisis Kegagalan, yang mengeluarkan photoresist, pembersihan organik, yang menggores Parylene, rawatan permukaan dan pelbagai aplikasi lain.

Sistem OptiGlow standard digunakan untuk Pengubahsuaian Permukaan Plasma dan Rawatan Plasma, Pengaktifan Permukaan. Berharga di bawah $ 10,500 (USD), yang kukuh, atas meja OptiGlow plasma sistem yang sempurna untuk permohonan pengeluaran atau makmal. Mudah untuk digunakan dengan paparan untuk ruang tekanan dan status modul.

Sistem OptiGlow plasma kos rendah pertama sistem yang boleh digunakan untuk meningkatkan kebolehbasahan dan keselesaan kanta lekap. Sistem OptiGlow plasma juga sesuai untuk digunakan sebelum salutan, proses laminating dan pemendapan, dan amat berkesan untuk merawat pelbagai substrat atau bahan.

OptiGlow 75 sistem plasma adalah serupa kepada OptiGlow standard dan mempunyai aluminium ruang yang lebih besar, 75 watt kuasa dan pilihan untuk menggunakan sehingga dua gas input, seperti oksigen atau argon. Boleh digunakan untuk penyingkiran organik dan photoresist pelucutan.

SputterGlow terbatuk-batuk Sistem Pemendapan

Satu pilihan yang tepat untuk mendepositkan pelbagai dielektrik atau logam, dengan sehingga tiga sasaran. Asalnya direka untuk mendepositkan Si 3 N 4 anti-mencerminkan salutan pada sel-sel solar sebagai alternatif untuk menggunakan PECVD kerana proses SputterGlow tidak memerlukan gas berbahaya seperti SIH 4 untuk pemendapan nitrida. Sistem mempunyai pelangkah robotik, stesen dipanaskan, dan dikawal dengan komputer riba atas.

Satah proprietari magnetron menjana plasma dengan kuasa yang rendah atau tinggi, bergantung kepada keperluan anda. SputterGlow telah direka untuk memastikan proses integriti vakum dan menggunakan lurang aluminium (untuk menjaga kos).

Dapatkan maklumat lanjut mengenai SputterGlow

Dibina semula Sistem

Penyelidikan glow telah mengambil alih tanggungjawab di seluruh dunia bagi alat ganti dan servis untuk unit yang lebih tua beberapa daripada Nordson MAC (Mac Plasmod, Mac Super Plasmod, Mac PM-600 dan Mac Musytari Rie sistem). Kami tinggal dengan kepakaran dan tawaran kami membina semula sistem Mac dan Taman plasma. Sila lihat pada sistem apa yang dibina semula kami tawarkan .