SputterGlow Brosur
SputterGlow terbatuk-batuk Sistem Pemendapan
Sistem OptiGlow Plasma
Berharga di bawah $ 10,500 (USD), yang kukuh, atas meja OptiGlow plasma sistem yang sempurna untuk permohonan pengeluaran atau makmal. Dapatkan maklumat lanjut .Sistem AutoGlow Plasma
Sistem AutoGlow plasma adalah plasma tabletop sistem yang paling berkesan seumpamanya di pasaran kerana watt ubah 10-300, 13,56 MHz negeri pepejal penjana. Dapatkan maklumat lanjut .Pengujian dan Sampel
Penyelidikan glow akan berjalan sampel secara kontrak atau bagi pelanggan yang berminat dalam pembelian akhirnya sistem baru atau dibina semula. Hubungi kami untuk maklumat lanjut.Hubungi Kami
Alamat:
12014 S. Ct 35.
Phoenix, Az. 85044
Amerika SyarikatTelefon:
480-621-8405Penterjemah
Penterjemah
SputterGlow terbatuk-batuk Sistem Pemendapan
Sistem untuk Filem Nipis, terbatuk-batuk, PVD, Filem Pemendapan nipis, Vacuum Coating, Logam atau dielektrik Pemendapan Filem Nipis.
Glow. Penyelidikan SputterGlow yang fleksibel terbatuk-batuk pemendapan sistem yang direka untuk memproses wafer 200mm, 156mm x 156mm sel solar atau kecil wafer termasuk keping daripada wafer. SputterGlow yang boleh mempunyai sehingga tiga proses stesen yang ditukar ganti (setiap stesen boleh dikonfigurasi untuk pemanasan, terbatuk-batuk pemendapan atau terbatuk-batuk punaran). SputterGlow pada asalnya direka untuk mendepositkan Si 3 N 4 salutan antireflective pada sel fotovolta dan boleh digunakan untuk terbatuk-batuk deposit pelbagai dielektrik atau logam.
Jurutera fotovoltaik telah ditemui SputterGlow untuk menjadi alternatif terbaik untuk Plasma Enhanced Pemendapan Wap Kimia (PECVD) kerana proses SputterGlow tidak memerlukan silana (SIH 4) untuk pemendapan nitrida.
Bersama-sama dengan kos yang sangat besar simpanan-tidak memerlukan pemudahan mahal atau keselamatan penyelidik halangan-ramai berasa ada kelebihan yang kuat untuk menggunakan filem sputtered untuk pempasifan akhir / salutan anti-mencerminkan, menyebabkan sel fotovoltaik kecekapan yang lebih tinggi. SputterGlow telah direka oleh John Reche. Untuk latar belakang pada John Reche sila klik pada "Mengenai Kami" di laman web ini.
Fleksibiliti
Dengan tiga stesen ruang, SputterGlow yang boleh digunakan untuk pelbagai keperluan pemprosesan. Stesen-stesen individu boleh silih berganti digunakan untuk pemanasan, pemercikan atau menggores dengan pilihan yang betul opsyen di beli, atau retrofitted pada satu tarikh kemudian. SputterGlow adalah pilihan yang tepat untuk penyelidikan atau aplikasi pembuatan jumlah yang rendah.
Integriti Dewan / kos
Ujian vakum
SputterGlow telah direka untuk memastikan proses integriti vakum dan menggunakan lurang aluminium (untuk menjaga kos). Dewan itu telah bocor helium yang diuji kepada 6.5 x 10 -10 mbar dengan semua pelabuhan disekat, (4.8 x 10 -10 Torr).
Aluminium ruang adat yang direka membolehkan penurunan harga 3X berbanding ruang keluli tahan karat yang berkaliber yang sama. SputterGlow boleh beroperasi dari kuasa yang sangat rendah sebanyak 25 watt (untuk pemprosesan kurang agresif), 1 kW untuk lebih agresif terbatuk-batuk pemendapan.
Aluminium ruang adat yang direka membolehkan penurunan harga 3X berbanding ruang keluli tahan karat yang berkaliber yang sama. Dewan adalah 34 "diameter x 11" tinggi.
Rekabentuk proprietari
A proprietari planar magnetron digunakan untuk menjana plasma. Ini keputusan reka bentuk dalam jangka hayat yang lebih panjang untuk sasaran pemercikan, dan keseragaman pemendapan yang lebih baik pada substrat. Glow Penyelidikan proprietari planar magnetron juga akan meningkatkan kadar pemercikan dan pemindahan haba yang lebih rendah kepada substrat.
Kawalan PC Komputer
Manual atau Kawalan Komputer Lap-Top
Mikropemproses yang tertanam mengawal motor sistem pengangkutan wafer, kedudukan pedestals wafer, pembukaan injap vakum dan gas, dan sebagainya pengguna mengawal proses pemendapan dengan memuat turun resipi dari komputer riba peribadi mereka (tidak dibekalkan). Mikropemproses terbenam disambungkan ke laptop melalui port USB. Pengguna boleh menyesuaikan proses mereka sendiri dengan program penjujukan Penyelidikan proprietari Glow, atau memilih mana-mana proses pratetap yang telah dimuat turun ke komputer mereka.
Sumber Elektrik
SputterGlow boleh dikonfigurasikan dengan RF, DC atau berdenyut bekalan kuasa DC. SputterGlow yang boleh digunakan untuk mendeposit pelbagai bahan ... dielektrik, semikonduktor, logam dan bahan-bahan magnet. Berdenyut DC boleh digunakan selain bekalan RF dengan kelebihan menghapuskan rangkaian penalaan. Bekalan DC boleh dinyatakan jika logam atau bahan-bahan magnet akan sputtered secara eksklusif.