SputterGlow Ciri-ciri

  • Reaktif terbatuk-batuk Pemendapan Si 3 N 4 atau Filem Lain-lain
  • Menghapuskan keperluan untuk Gas silana
  • Mudah Pemudahcara di Makmal 1, Tiada Gas Berbahaya Diperlukan
  • Sehingga Tiga Sasaran
  • Dielektrik deposit atau Logam
  • 200 wafer mm (atau kecil) atau 156 mm x 156 mm Sel Suria
  • Pilihan pemanasan (sehingga 400 Darjah C)
  • 1200 Watt, 13,56 MHz RF Generator
  • Penalaan Automatik
  • Pam turbo dan Backing
  • Air Penyejukan magnetron sputtering
  • Substrat Pengendalian Kawalan pelangkah
  • Komputer atau Kawalan Manual Tolok
  • Kawalan MFC gas
  • LED Diagnostik

Pilihan

  • Bias substrat
  • RGA
  • Peredaran Cooling Sasaran
  • Viewport Windows

Semua sistem SputterGlow datang dengan manual, video jaminan, pemilik 12 bulan pada sesuai ditubuhkan sistem dan operasi. Penyelidikan glow juga akan menyediakan khidmat sokongan bidang di tapak untuk memulakan sistem.

Untuk maklumat lanjut, sila hubungi Glow Penyelidikan Amerika Syarikat 480-621-8405 atau E-mel kami .